Устройство для резки хрупких материалов

(51)4 В 28 Р 5 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ИЗОБРЕТЕ Я ВТОРСКОМУ ЕТЕЛЬСТВУ(71) Ворошиловградский машиностроительный институт(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕЗКИ ХРУПКИХМАТЕРИАЛОВ(57) Изобретение относится к механической обработке твердых хрупкихнеметаллических материалов, а именврилока ОПИСАНИ 80150757 но для разделения полупроводниковыхматериалов на пластины на станкахмноголезвийной резки,и может бытьиспользовано в электронной промьпппенности, Цепью изобретения являетсяповышение производительности. Устройство содержит шарнирный параллелограмм 8, позволяющий подавать монокристаллу одновременно два движения; возвратно-поступательное и колебательное, что приводит к уменьшению длины линии контакта инструмента с монокристаллом. Это позволяет увеличить нагрузку на единичное алмазное зерно и, таким образом,повысить его диспергирующие возмож"ности. 1 ил.150757 Формула изобретения35 Устройство для резки хрупкихматериалов, содержащее каретку сосмонтированным на ней механизмомподачи слитка, слиткодержатель сприводом и многолезвийную пилу, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности,механизм подачи слитка выолнен в виде шарнирного параллелограмма, на одной стороне которого консольно за-,креплен слиткодержатель, а противоположная сторона одним концом связана с приводом, а другим соединена скареткой при помощи кулисы,Составитель В.Мои Техред М.Ходанич сеев Редактор А.Маковская Корректор С Лекмар Заказ 5500/ 19 Тираж 519 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 Производственно-издательский комбшат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101 Изобретение относится к механической обработке твердых хрупкихнеметаллических материалов, а именно к разделению полупроводниковых ма 5териалов на пластины на станках многолезвийной резки, и может быть использовано в электронной промышленности,Целью изобретения является повышение производительности,На чертеже представлена кинематическая схема устройства.Устройство содержит привод возв-,ратно-поступательного перемещенияслиткодержателя, состоящий из двигателя с редуктором 1, ходового винта 2, к которому при помощи гайки сшарниром 3 присоединен нижний (посхеме) конец кулисы 4. Верхний конец кулисы входит в ползун 5, соединенньп шарниром с кареткой 6, которая может перемещаться по направляющей 7 и фиксироваться относительно нее. К кулисе 4 прикреплен шарнирный параллелограмм 8На сторонепараллеограмма, противоположнойкулисе 4, укреплен слиткодержатель9 с монокристаллом 10. Груз 11 необходим для создания усилия прижимамонокристалла 10 к многолезвийнойплите 12, которая установлена наупругих элементах 13 и соединена свибратором 14.Устройство работает следующимобразом,Привод возвратно-поступательногоперемещения слиткодержателя с помощьюшарнира 3 сообщает возвратно-поступательное движение нижнему (по схеме) концу кулисы 4, которая двигается относительно ползуна 5, при,соединенного шарниром к каретке6, зафиксированной относительнонаправляющей 7. Кулиса 4 передает движение шарнирному параллелограмму 8,45который сообщает слиткодержателю 9с прикрепленным к нему монокристаллом 10 возвратно-поступательное иколебательное движения относительномноголезвийной пилы 12, установлен 9 4ной на упругих элементах 13 и получающей возвратно-поступательноедвижение от вибратора 14 . Груз 12обеспечивает необходимый прижим монокристалла 10 к многолезвийнойпиле 12. Фиксирование каретки 6 вразличных положениях относительнонаправляющей 7 позволяет изменятьамплитуду колебаний слиткодержателя 9. Если каретка 6 зафиксированав верхнем (по схеме, изображеннойна чертеже) положении, то в этомслучае обеспечивается встречная обработка монокристалла, если оназафиксирована в нижнем (по схеме)положении, то обработка монокристалла - попутная. Применение встречной обработки предпочтительно прирезке монокристаллов, сапфира, ГГГ,т.е. обладающих высокой твердостью,а попутной - при обработке монокристаллов СаАз и других менее твердых монокристаллов,Прчменение устройства для резкитвердых и хрупких материалов многолезвийной пилой повышает производительность резки монокристаллов засчет снижения длины линии контактаинструмента с монокристаллом, чтоприводит к увеличению нагрузки наединичное алмазное зерно, котороев этом случае более эффективно разрушает материал в зоне обработки,