Способ измерения толщин, например, пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 149230
Автор: Денисов
Текст
) ссср ФЗОБРетений ОПиСАни ОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ АВТ Подписная группа1 б 4 ф, П. Денис ЕР П ОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОДЩИН) НАП Министров СССР"а 74661и СовеЗаявлено 3 октября 1961 г. з в Комитет по делам изобретений и открытий15 за 1962 г Опубликовано в Бк)ллетене изобрете например тонких пленок,описываемого способа состределяют по соотношению овностей в пленке-образце и енок частицния актив Способы измерения толщин,известны.Отличительная особенность оит в том, что толщину пленк)и-образца оп дновремвнно измеренных наведенных акти пленке-эталоне известной толщины.Такой способ повышает точность измерения толщин тонких пленок.Сушность описываемого способа основывается на известной закономерности, связывающей количество радиоактивных атомов, образовавшихся при действии ядерных излучений на вещество, с количеством исходного вещества, т. е. с его толщиной при неизменных остальных пар а метр ах.Образец-пленка, толщину которой необходимо измерить, и контрольный эталон известной толщины, изготовленный из того же материала, одновременно в одних и тех же геометрических условиях облучаются в пучке активирующего излучения (протоны, нейтроны,;-кванты). Толщина пленки определяется по отношению образовавшихся в результате облучения активностей в образце-пленке и контрольном ее эталоне.После облучения активности образца и эталона пленки измеряются на одинаковых установках.В случае использования для активизации пл большои энергии необходимо учитывать эффект выбива ированных ядер отдачи из образца и эталона пленки.Для этого образец и эталон пленки необходимо заключить между двумя фольгами, улавливающими вылетающие ядра отдачи.При этом должна быть определена активность материала пленок,149230Предмет изобр етенияСпособ измерения толшин, например пленок, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью:повышения точности измерения толщии тонких пленок, измеряют одновременно наведенную активность в пленке-образце и пленке-эталоне известной толщины и по их соотношению определяют толщину пленки-образца.Составитель описания М. А. ХесинРедактор 3. А. Москвина Техред А А. Кудрявицкая Корректор С Ю. ЦверинаПодп, к печ. 2,Ч 1-62 г. Формат бум 70 Х 108/иб Объем 0,18 изд. л,Зак. 6746 Тираж 750 Цена 4 коп,ЦБТИ Комитета по делам изобретений н открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6.Типография ЦБТИ, Москва Петровка, 14,
СмотретьЗаявка
746615, 03.10.1961
Денисов Ф. П
МПК / Метки
МПК: G01B 15/02, G01D 5/50
Метки: например, пленок, толщин
Опубликовано: 01.01.1962
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-149230-sposob-izmereniya-tolshhin-naprimer-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения толщин, например, пленок</a>
Предыдущий патент: Регулятор границ сортировки
Следующий патент: Устройство для измерения толщины материала при помощи поглощения бета-лучей
Случайный патент: Резиновая смесь для автокамер на основе бутилкаучука