Интерференционный способ определения геометрических размеров объектов

СОЮЗ СОВЕТСКИСОЦИАЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИК 1)4 601 В 11 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ И К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) Богуславский М. Г. и Цейтлин Я. М. Приборы и методы точных измерений длины и углов. М., 1976, с. 235.Оптические приборы в машиноПод ред. Н. П. Заказнова. М.: Маш ние, 1974, с, 102.(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ РАЗМЕРОВ ОБЪЕКТОВ(57) Изобретение относится к измерительной технике, к определению геометрических размеров объектов оптическими методами,строении/ иностроея к измерительн етение относит определению ъектов оптичес изобретения азмеров прозр совместного и в монохромаеских разодами.ение опреими мет обеспеч ных объектов п ия интер- и белом спользов тическом устройства, пособ; на ции в моно(вверху) фиг. 1 приведена схема зуюшая предложенный - эпюры полос интерфере тическом (внизу) и бело Устроиств рометра Май 1 монохромат 2 белого (.3., рых располож 3, эталон 4 Фкало 5, счетчПеро и рефер Изобр технике к меров об Цель деления р средством ференции свете. На реали фиг. 2 хрома свете.о выполнено по схеме интерфекельсона и содержит источник ического ( А ) света, источник ) света, по ходу лучей котоены светоделительный элемент абри-Перо, референтное зерик 6 полос. Эталон 4 Фабриентное зеркало 5 находятся в ЯО 14832 Цель изобретения - ооеспечение определения размеров прозрачных объектов посредством совместного использования интерференции в монохроматическом , белом свете. Способ осуществляется следующим образом. Устанавливают объект измерения в рабочем плече интерферометра. перемещают объект параллельно его оси фиксируют начало и конец измерений по возникновению ахроматической интерференционной картины в белом свете, производят счет ннтерференционных полос монохроматического излучения, укладывающихся в промежутке между сигналами в белом свете, определяют размер объекта по общему количеству полученных интерференционных полос монохроматического излучения.з.п. ф-лы, 2 ил. референтном плечеект 7 - в рабочемИзобретение осуобразом.Устанавливают объект 7 измерения в рабочем плече интерферомстра фнг. 1). Перемешают объект 7 измерения параллельно его оси. Фиксируют начало и конец измерений по возникновению ахроматической интерференционной картины в белом свете (фи г. 2) . Производят счет сигналов (интерференционных полос) монохроматнческого излучения, укладываюцихся в промежутке между сигналами в белом свете (фиг. 2) . Определяют размер объекта по общему количеству полученных интерференционных полос монохроматического излучения.При необходимости измерения объектов 7 с размерами, превышающими размер референтного плеча интерферометра, используется многократное отражение луча бело1483249 формула изобретения 1 2 став ител редИ,В аж 683 по изоб - 35, Р инат П Редактор И. СегляниЗаказ 2814/36ИИПИ Государствен113035Производственно.изда го света от полупрозрачных плоских зеркал эталона 4 Фабри-Перо, что увеличивает дискретно оптическую длину референтного плеча на величину, кратную размеру эталона 4 Фабри-Перо. 1. Интерференционный способ определения геометрических размеров объектов, заключающийся в том, что объект помещают в рабочее плечо интерферометра, направляют в интерферометр монохроматический свет и по количеству полуволн света, укладывающихся в размеры объекта, определяют его размеры, отличающийся тем, что, с целью Со к Тех Тир ного комитета Москва, Ж тельский комбобеспечения определения размеров прозрачных объектов, дополнительно направляют в интерферометр белый свет, объект перемещают вдоль направления луча света а количество полуволн монохроматического света определяют между импульсами белого света, соответствующими ахроматическим интерференционным картинам, образованным границами объекта. 102, Способ по п. 1, отличающийся тем, что,с целью обеспечения определения размеров объектов, превышающих длину референтного плеча интерферометра, увеличивают длину референтного плеча посредством размещения в нем эталона Фабри-Перо. ь Б. Евстратоверес Корректор Э. ЛончаковаПодписноеретениям и открытиям при ГКНТ СССРаушская. наб., д. 4/5атент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 10