Способ изготовления интерференционного узкополосного фильтра
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
1476420 фильтр необходимого диаметра так, чтобы центр его рабочего диаметра совпадал с центром выбранной зоны,Формула изобретения 1 к ф 1.Романенк ррект каз 2153/47 Тир дписн ИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101 со средним слоем из Та 0 толщинойЯ/2,В качестве катодов используютметаллический тантал марки Т или ТВЧн поликристаллический кремний, изготовленный по методу Чохральского,Катоды имеют форму дисков диаметром"150 мм,Контроль толщины слоев в центреподложки в процессе нанесения осуществляют с помощью фотометров ФМ и ФМ, выполненных в виде насадокдля вакуумной Камеры СМили ЭВ 88 М (в промежутках между периодамираспыления). Периоды распыления продолжают до тех пор, пока толщинаслоя не достигнет необходимой величины.При этом фильтры (в центре заготовки) контролируют излучением с дли-,нои волны 3, -(1,001-1,003)д.После напыления производят сплошной зонный спектрофотометрическийконтроль. Диаметр светового пучка в 25этом случае 15 мм, т.е, примерноравный рабочему диаметру фильтра.После анализа полученных результатов, выбирают и отмечают зону с максимумом пропускания на рабочей длиневолны Яр и вырезают из заготовки Способ изготовления интерференци-,онного узкополосного фильтра, заключающийся в нанесении на плоскуюпрозрачную подложку чередующихсяслоев диэлектрических материалов свысоким и низким показателями преломления путем катодного распыленияв кислороде, с контролем каждого изслоев по центру подложки на контрольной длине волны, а т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения точности положения максимума пропускания фильтра относительно рабочей длины волны рв до величины + 11, нанесение слоев производят на подложку диаметром Р, опредеГяют и вырезают зону с диаметромдрщ, центр которой совпадает с максимальным значением пропускания надлине волнырр р при этом Я=1,0011,003) Я р Р46 дв, причем определение зоны с диаметром Йр производят методом сплошного зонного спектрофотометрического контроля,
СмотретьЗаявка
4111253, 23.06.1986
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5827
ДОНЕЦ ВЛАДИМИР ВЛАДИМИРОВИЧ, СОБОЛЬ ВАЛЕРИЙ ПЕТРОВИЧ, ВЕЛИГУРА ВИКТОР ИВАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G02B 5/28
Метки: интерференционного, узкополосного, фильтра
Опубликовано: 30.04.1989
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1476420-sposob-izgotovleniya-interferencionnogo-uzkopolosnogo-filtra.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления интерференционного узкополосного фильтра</a>
Предыдущий патент: Способ определения содержания ртути в породах с примесью органики
Следующий патент: Оптический волновод
Случайный патент: Цифровой измеритель мощности