Способ определения прочности сцепления покрытия с подложкой

(51) 4 С 01 И 19/04 ОПИСАНИ К АВТОРСКОМУ БРЕТЕНИЯ ЕЛЬСТВ испытак способамИзобретение относится ьной технике, а имени ния по ытий с подложками. Целью изобретения вляется повышеия путем обесвздутий покрыие точности определ ечения четкой грани от подложки.Способ осуществляю т едующим образо е н з л н ия, и довоя. Получено образоварытия с подри облучена гр ице раздела потий покрытия. ожкой в ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР,тия е 4301099/25-2824,08.8715.04,89. Бюл, У 14Харьковский государственныйрситет им. А.М.ГорькогоЮ.Н,Борисенко и В.Т.Грицына620.179.4(088.8),Авторское свидетельство СССР179, кл. С О 1 Н. 19/04, 1980.водская лаборатория, 1986,с. 55-56СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОЧНОСТИЕНИЯ ПОКРЫТИЯ С ПОДЛОЖКОЙИзобретение относится к испыьной технике, предназначено длеления прочности сцепления покрподложкой и позволяет повысить пределения прочности с Поверхность подложки, предназнач ую для.нанесения испытуемого поытия, облучают ионами инертных га в. На облученную поверхность под" жки наносят испытуемое покрытие од м из известных способов, например етодом вакуумного испареят покрытие до отверждениое соединение нагревают д,801472810 А 1 точность определения путем обеспечениячеткой границы вздутий покрытия от подложки. Перед нанесением испытуемогопокрытия поверхность подложки облучают ионами инертных газов, которыевнедряются в материал поверхностногослоя подложки. При нагревании подложки с покрытием накапливаемая газомэнергия давления, преодолевая силысцепления покрытия с подложкой, отрывает покрытие, образуя вздутия счеткой границей, Температура нагреване оказывает влияния на изменениеструктуры покрытия и не приводит кего окислению, По измеренным параметрам покрытия определяют прочностьего сцепления с подложкой. 1нии подложки ионы газа внедряются в материал поверхностного слоя подложки и при нагревании накапливаемая газом энергия давления, преодолевая силы сцепления покрытия с подложкой, отрывает покрытие от подложки, образуя вздутия с четкой границей. Предварительное облучение поверхности подложки требует незначительных темпера- ффффф 3:тур нагрева соединения, которые не приводят к окислению и изменению структуры материала покрытия. Измеряют параметры вздутий покрытия, например, на интерферометре Линника и по ним определяют прочность сцепления покрытия с подложкой. ю ЗвП р и м е р. Микроскопные покровные стекла, используемые в качестве подложек, облучали с помощью ионного ускорителя ионами Аг с энергией1 б 40 кэВ интегральным потоком 2 1010 Сила отрыва и энергия адгезии составили: Е=10,8 Н м ; И=0,46 Дж м1 Формула изобретения Составитель В.СвиридовТехред М,Дидык Коррек тор С. Патрушева Редактор А,Лежнина Заказ 1702/43 Тираж 788 Подписное,Э ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 3 14728 110" см . Облучение ионами инертных газов практически не модифицирует поверхность подложки. Затем подложки размещали в вакуумной камере и мето 5 дом вакуумного испарения на их поверхность наносили пленки серебра толщиной 200 нм. Испарение проводилось в масляном вакууме при давлении 110 Па. Затем образцы помещали в 10 печь, и производили их прогрев при 100 С в течение 1 ч приводящий к образованию на границе раздела газовых пузырей диаметром не менее 10 мкм, На интерферометре Линника исследовали 15 газовые пузыри и их интерферограммы, Расчет адгезионных характеристик тонкопленочной системы проводили по формулам: 2 Е Р 20=ббпр +- -- )9 31-ч 4ДЯз2. Е 2у- (6 +- - -- ); Я=г/Н.,4 ф 3 1- 4где 1 п - сила отрыва на единицу длины контура пузыря; 25И - энергия адгеэии;д. - толщина пленки;г - радиус пузыря;К - радиус кривизны пузыря; 4б - внутреннее растягивающее напряжение в пленке (в предлагаемом примере определено спомощью методики рентгеновской тензометрии и равно4 110 Ы м );Е - модуль Юнга материала пленкиф - коэффициент Пуансона. Способ определения прочности сцепления покрытия с подложкой, по которому на поверхность подложки наносят испытуемое покрь 1 тие, доводят его до отверждения, полученное соединение нагревают до образования вздутий покрытия и измеряют площадь вздутий, по которой определяют прочность сцеп" ления, о т л и ч а ю щ и й с я темУ что, с целью пощашения точности оп ределения, поверхность подложки пе 4 ред нанесением покрытия облучают ионами инертных газов.