Способ измерения ширины линий рисунка на объектах, содержащих прозрачные и непрозрачные зоны
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(51) 5 с О 1 В 11/02 ОСУДАРСТВЕННЫО ИЗОБРЕТЕНИЯМРИ ГКНТ СССР КОМИТЕТОТКР ЫТИЯМ емцев 06.93, Бюл. Р 228018/2802.87Куликов и С.А. И 46) 15 21) 41 22) 24 72) В,"пискгойеи "ЗсСИса епзеп 1 епяЬ оез а ес(:го(57) Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения ширины линийрисунка иа объектах, например в литограФии. Цель - повьппение точности 1Изобретение относится к измерительной технике иможет быть исполь " зованодля измерения ширины линий рисунка на объектах, например на фотошаблонах в литографии.Цель изобретения - повышение тоЧ- ности иэмерения.Способ осуществляется следующим образом.Объект, содержащий прозрачные и непрозрачные эоны, освещают пучком линейно поляризованного оптического излучения, собирают прошедшее через объект излучение, например, объективом микроскопа и Лорнируют изображение измеряемой линии, Затем реГист рируют продвинь распределения интея- -7-89 измерения " достигается путем умень"шения погрешности измерения, вызванной неправильным выбором поляризации. Объект освещают пучком линейнополяризованного оптического излучения, собирают прошедшие объект иэлу". чения, Формируют изображение измеряемой линии, регистрируют профиль распределения интенсивностй в иэображении по ширине, и по ширине регистрируемого профиля .определяют ширинулинии, При измерении Юирины прозрач"ной линии пучок ориентируют так,чтовектор магнитной напряженности параллелен границам линии, а при измерении.ширины непрозрачной линии пучок ориентируют так что вектор электрической напряженности параллелен границам линии. сивности в изображении по"ширине линии и по ширине регистрируемого про Филя и определяют ширину измеряемой линии. При измерении ширины прозрачной линии пучок ориентируют так, что вектор магнитной напряженности парад лелен границам линии, а при измерении ширины непрозрачной линии пучок ориентируют так, что вектор электрической напряженности параллелен границам линни.Использование при измерении ль- нейно поляризованного оптического излучения с указанными вьппе свойствами позволяет получить прямоугольное рас" пределение интенсивности в плоскости объекта. В,этом случае теория Формн"Составитель В. КлимоваТехред А.Кравчук, Корректор О, Кравцова Редактор А. Кондрахина аеаеем йвюВ ЮВФФВФВЭВЗаказ 2374 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитата пб изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Рауаская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат оПтент", г.ужгород, ул,-Гагарина, 101 1461125 4 .ронания изображений в оптическом излучения, собирают прошедщее через микроскопе указывает что границам объект излучение, формируют изобра-, ликии соответствуют точки, имеющие в жение измеряемой линии, регистрируют иэображении интенсивность, составляю профиль распределения интенсивности щую одну и ту же долю интенсивности в изображении по ширине линии и по от интенсивности падающего пучка,что ширине регистрируемого профиля между позволяет определить. ширину линии точками, соответствующим границам по измерению ширины профиля распреде- линии, определяют ширину линии,о т, ления интенсивности в иэображении ли О .л и ч а ю щ и й с я тем, что, с нии между точками, интенсивность в целью повышения точности измерения, которых однозначнО определяется сте- объект освещают линейно поляриэованпенью когерентности йспольвуемого иэ ным излучением, при измерении проз" лучения. рачной линии пучок излучения. ориен- , Ф о р.и у л а и з о б р е- т е и и й 18 тируют так, что вектор магнитной напряженности параллелен границам лиСпособ измерения ширины линий ри" нии,. а при измерении непрозрачной лиСунка наобъектах,содержащих прозрачные нии пучок излучения ориентируют так, :н непрозрачные зоны, заключающийся втои, . что вектор электрической напряженнос что объектосвещают пучкомоптического 20 ти параллелен границам линии.
СмотретьЗаявка
4198018, 24.02.1987
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3562
КУЛИКОВ В. А, ИНОЗЕМЦЕВ С. А
МПК / Метки
МПК: G01B 11/02
Метки: зоны, линий, непрозрачные, объектах, прозрачные, рисунка, содержащих, ширины
Опубликовано: 15.06.1993
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1461125-sposob-izmereniya-shiriny-linijj-risunka-na-obektakh-soderzhashhikh-prozrachnye-i-neprozrachnye-zony.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения ширины линий рисунка на объектах, содержащих прозрачные и непрозрачные зоны</a>
Устройство для измерения углового отклонения объекта
Номер патента: 1270560
Опубликовано: 15.11.1986
МПК: G01B 11/26
Метки: объекта, отклонения, углового
...4 и 6 и ориентированащелью перпендикулярно направлениюспектра источника излучения.,Одно из зеркал интерферометраМайкельсона имеет возможность. возвратно-поступательного перемещения.Устройство работает следующим образом,Источник излучения излучает световой пучок с пространственно изменяющимся спектром излучения вдоль оцнойиз координат, например вдоль оси Х,Световой пучок, пройдя марку 2 иобъектив 3, выходит из него сформированным впараллальный пучок, Сформированный пучок направляют в объектив4, скрепленный с объектом контроля(не показан) . 5 0 15 20 25 30 35 40 Объектив 4 Фокусирует излучение на щелевой диафрагме 5, вырезающей из пространственно изменяющегося спектра, сфокусированного.на ней узкую спектральную линию дЪ,; Часть...
Устройство для измерения линейных перемещений объектов
Номер патента: 1174745
Опубликовано: 23.08.1985
Авторы: Копоть, Мотуз, Никульшин, Попов
МПК: G01B 21/00
Метки: линейных, объектов, перемещений
...интерференционной илимуаровой полосы с величиной светового потока, падающего на фотоприемник. Сравнение значения постояннойсоставляющей напряжения сигнала,снимаемого в текущий момент с фотоприемника, с величиной напряжения,соответствующего положению рабочей45 55 точки на середине линейного участка передаточной характеристики выбранного фотоприемника, позволяет более точно настроить центр границы раздела светочувствительной поверхности выбранного фотоприемника линейки 2 на место сканирования границы раздела интерференционной полосы и устранить искажение сигнала, снимаемого с выхода этого фотоприемника при измерении малых виброперемещений объекта, амплитуда колебаний которого не превышает величины линейного участка...
Устройство для измерения геометрических размеров объекта
Номер патента: 1310628
Опубликовано: 15.05.1987
Авторы: Близнюк, Богатырев, Вячин, Немтинов, Штандель
МПК: G01B 11/06
Метки: геометрических, объекта, размеров
...изображена принципиальная схема устройства для измерения геометрических размеров объекта.Предлагаемое устройство содержит источник когерентного излучения (на чертеже не показан), две одинаковые измерительные головки, первая . из которых включает последовательно установленные по ходу излучения освещающий световод 1, Фурье-преобразующий объектив 2, анализатор 3 пространственно-частотного спектра, приемный световод 4 и приемник 5 излучения и датчик б линейного перемещения, а вторая головка включает послеИзобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении линейных размеров протяженных объектов, в частности для бесконтактного оптического контроля геометрической толщины та.ких оптических деталей, как линзы...
Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта
Номер патента: 1416861
Опубликовано: 15.08.1988
МПК: G01B 9/02
Метки: интерферометр, линейных, объекта, перемещений
...Грани выполнен прозрачным длялуча света и имеет длину, равнуюребру, и ширину, определяемю поФормуле45= -Д(2-ьд)Для того,чтобы не внести искажений вход луча света в световозвращающей системе, ширина зеркал 22 (23)и 24 (25) не должна превышать четырех расстояний 3,Фотоэлектронный блок 14 фиг. 4)содержит фотоприемники 26 и 27, входы которых оптически связаны соответственно с поляроидами 10 и 11,а выходы электрически связаны с входом блока 28 определения направления перемещения, а выход фотоприемника 26 также связан с одним из вхоцов реверсивного счетчика 29, второйзвход которого связан с выходом блока 28. Выход реверсивного счетчика 29 является выходом интерферометра,Интерферометр работает следующим образом.Луч от источника, 1...
Устройство для измерения линейных размеров объектов
Номер патента: 1479822
Опубликовано: 15.05.1989
Авторы: Баринов, Томашевский
МПК: G01B 11/02
Метки: линейных, объектов, размеров
...расстояния Ь между двумя первыми. Она содержит последовательно установленные вплоскости сканирования коллиматор 15,диафрагму, выполненную в виде двухшторок 16 и 17, одна из которых 16установлена неподвижно, а другая 17скреплена с основанием 14, и фотоприемник 18 с конденсором 19. Выходыфотоприемников 10, 11 и 18 черезэлектронные измерительные блоки 2022 подключены к сумматору 23 с инди 1479катором 24. Генератор 25 иммульсовсвоими выходами подключен к приводу4 узла сканирования и к электроннымизмерительным блокам 20 - 22,Устройство работает следующим образом.Излучение от источника 1 черезсистему 2 зеркал попадает на отражатель 3, который приводится во вращение приводом 4, запитываемым импульсами от генератора 25, Отраженное излучение...
Предыдущий патент: Способ извлечения иридия из промышленных растворов
Следующий патент: Выхлопное устройство двигателя внутреннего сгорания
Случайный патент: Устройство для оповещения о приближении поезда