Способ изготовления поверностных

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 143088 СОюз Соеетскиз Социелистинескиз Республинорите Комитет по деламзабретений и открытийпри Совете Министрсв публиковано 17.Ч 11,1968. Б ь 2 ия 19,1 Х,1968 аявител НИЯ ПОВЕРНОСТНЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИ СОПРОТИВЛЕНИЙ ПОСОБ ИЗГОТ Известен спосоо изготовления поверхностйых электрических сопротивлений, получаемых возгонкой сплавов в вакууме,Чтобы увеличить удельное электрическое сопротивление и удельную мощность рассеяния при малой величине температурного коэффициента сопротивления, осажденный на ту или иную подкладку сплав из металлов, легко восстанавливаемыхи элементов, трудно восстанавливаемых, подвергают, нагревая в соответствующей атмосфере, частичному или полному окислению, а затем - частичному восстановлению.В результате такой обработки первоначально нанесенный на подкладку слой приобретает такое объемное сочетание металлического сплава и различных окислов в виде двух взаимно переплетенных сеток, которое обеспечивает получение сопротивления, характеризующегося значительным удельным электрическим сопротивлением и большой удельной мощностью рассеяния при малой величине температурного коэффициента сопротивления,Для получения тонкослойных сопротивлений по предлагаемому способу могут быть использованы различные композиции, в частности состоящие из алюминия, кремния и титана (или бора) в разных пропорциях, При возгонке в вакууме сплава кремния с теми или иными металлами получается тонкий чроводящий слой металлосилиция, обладающего относи гельно небольшой величиной удельного сопротивления и отрицательным значением ТКС. Под электрической нагрузкой сопротивление такого слоя приобретает большое необратимое изменение своей величины.Для получения требуемых электрических характеристик изоляционное основание с нанесенным на него металлосилициевым слоем под вергают кратковременной (в течение нескольких минут) прокалке при температуре 700 - 800 С в окисляющей воздушной среде.В процессе прокалки происходит формирование проводящего слоя, состоящее в том, что 15 часть кремния переходит в его двуокись и моноокись, играющих роль изолирующей фазы своеобразного микрокомпозиционного проводника. Появление в проводящем слое металлосилиция изолирующей фазы сопровождается 20 ростом величины его электрического сопротив.ления, а обогащение проводящей фазы металлосилиция металлом путем окисления кремния приводит к более положительному значению ТКС.25 Теплота экзотермической реакции, возникающей между кремнием и входящими в сплав металлами 1 например, никелем, железом и др.), может быть эффективно использована для снижения температуры обработки 30 сплава,143088 Предмет изобретения Техред Л, К. Малова Корректор О. Б. Тюрина Редактор Т. П. Ларина Закал 2823 Ч Тираж 530 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр, Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, 2 1. Способ изготовления поверхностных электрических сопротивлений, получаемых путем .юзгонки сплавов в вакууме, отличающийся тем, что, с целью обеспечения большого удель. ного электрического сопротивления и большой удельной мощности рассеяния при малой величине температурного коэффициента сопротивления, осажденный на ту или иную под. кладку сплав из металлов, легко восстанавливаемых, и элементов, трудно восстанавливаемых, подвергают посредством нагрева в соответствующей атмосфере частичному или полному окислению, а затем - частичному восстановлению,2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью получения заданных электрических параметров проводящего Члоя, применяют в различных пропорциях алюминий, кремний, титан (или бор), переходящие при термической обработке нанесенного, слоя частично или полностью в различные комбинации соответствующих окислов.3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с 5 целью упрощения и удешевления технологического процесса термической обработки нанесенного поверхностного слоя, применяют композицию кремния с металлом, например с железом, в которой в результате нагрева на песенного слоя в окисляющей среде происходит реакция окисления-восстановления, вследствие чего кремний частично переходит в двуокись кремния, остальные же металлы, входящие в сплав, дают только примесь к этому 15 окислу, оставаясь в основном неокисленными.4. Способ по пп. 2 и 3, отличающийся тем,что, с целью снижения температуры обработ.ки сплава, используют дополнительную теплоту экзотермической реакции, возникающей 20 между кремнием и металлами, например, никелем, железом и др., входящими в сплав.