Способ изготовления металлостеклянных изделий

. СОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК А 1 4 С 03 С 29/О ВСГ1 ц,". АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ П ВТОШалимоей и А8.8)73021,лочко М.: ектронис, 180 83 ТАЛЛОся к микрок изготовов. Изобрет СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) Патент США Яф 35кл. 65-43, 1971.Б.Роус. Стекло вСоветское радио, 19(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯСТЕКЛЯННЫХ ИЗДЕЛИЙ(57) Изобретение относитэлектронике, в частностилению проходных изолятор ние позволяет повысить качество пр ходных изоляторов. Для этого вывод и основания собирают в специальную пресс-форму со строго заданным объемом и отвечающим требуемой конструкции корпуса, затем методом литья под давлением 3-4 атм места соединения металлических деталей заполняют шлио кером на основе стекла при 65-70 С, т.е. формируют внешний вид проходного изолятора; а затем при термообработке, которую проводят без замкнутого объема, формируют слой и получают требуемые геометрические размеры проходных изоляторов. Проходные изоляторы трещин отлипаний не имеют, герметичны,обладают высокой механической прочностью.1377253 Составитель С.ВелобоковаТехред А,Кравчук Редактор А.Лежина Корректор И.Шароши Тираж,425ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Заказ 812/16 Подписное Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная,4 Изобретение относится к формированию проходных изоляторов и нх соединений с металлической арматурой вкорпусах микросхем.Целью изобретения является повышение качества проходных изоляторов.Изготовление проходных изоляторовосуществляют следующим образом.Выводы и основания собирают в специальную пресс-форму со строго заданным и отвечающим требуемой конструкции корпуса объемом, затем методомлитья под давлением (3-4 атм) местасоединения металлических деталей заполняют шликером при 65-70 С, т.е.формируют внешний вид проходногоизолятора, При этом шликер подается втребуемые места под давлением, в результате уменьшается вероятность образования незаполненных объемов,вследствие чего повышается надежностькорпуса.Шликер может быть приготовлен из87 мас.Х .стеклянного порошка, раэмолотого в шаровой мельнице в течение16 ч, 12,5 мас.Х парафина и 0,5 мас.Холеиновой кислоты.После охлаждения сформированногоузла последний подвергают термообработке для удаления технологическойсвязки,При последующей термообработке проводят формирование спая, а также геометрических размеров проходного изолятора, Удаление связки производят на воздухе при постепенном подъеме температуры от комнатной до температуры спекания черепка, которую выбирают на 20-30 С выше температуры наочала размягчения применяемого стекла . Спаивание стекла с металлом ведут при 970-990 С, при этом геометрические размеры проходного изолятора создаются без строго заданного объема,45 что позволяет отказаться от применения графитовых кассет. П р и м е р 1. Выводы и основание из ковара подвергают обезжириванню и травлению. Производят сборку их в специальную разъемную форму, затем методом литья под давлением 4 атм заполняют основание шликером на основе стекла С 52-1 при 65-70 С. Затем изоляторы извлекают иэ формы, помещают в адсорбент (А 1 Оэ) и на воздуо хе в интервале температур 20-600 С подвергают термообработке. Скоростьоподъема температуры 30 /ч. Спаивание изоляторов осуществляют в конвейерной печи СКв среде азота при 990 С с выдержкой. в зоне максимальной температуры 15 мин. Спаивание проводят в металлических кассетах для фиксации выводов.П р и м е р 2. Подготовительные операции те же, что и в примере 1.о Спаивание осуществляют при 970 С с выдержкой в зоне максимальной температуры 20 мин.Изготовленные согласно предлагае мому способу проходные изоляторы не имеют. трещин, отлипаний и натекания-з -4 гелия. Узлы герметичны 110 м Па с имеют высокую механическую прочность и выдерживают испытание на термоциклирование 10 циклов. формула и э о б р е т е н и я Способ изготовления металлостеклянных изделий путем формирования стеклянной детали, изготовления металлостеклянной сборки и последующей термообработки, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения качества проходных изоляторов, изготов" ление металлостеклянной сборки ведут, одновременно с изготовлением стеклянной детали, размещая в замкнутом объ- еме металлические детали и заливая затем в него под давлением шликер из. стеклопорошка, а затем производят термообработку беэ замкнутого объемае