Многоцелевая термовакуумная установка

) 5.ена ч сосом ижняя з венс кат из поглов зазо камере насыодукта тся ре- него огрева. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИ ОПИСАНИЕ ИЗОБР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(56) Авторское свидетельство СССРВ 700681, кл. У 04 В 37/08 1978.(54) МНОГОЦЕЛЕВАЯ ТЕРМОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА(57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет зкономитькриопродукт. Внутри корпуса 1 с образованием зазора 9 выполнена криогенная камера (КК) 8, соединенная скамерой 2 посредством промежуточнойполости (ПП) 10. В зазоре 9 установлен криосорбционный насос (КНВерхняя часть 11 ПП 10 соедирез вентили с форвакуумным н6 и верхней частью 15 КК 8.часть 16 ПП 1 О соединена чертили с нижней частью 21 КК 8калами 3 и с КН 5. КриопродуКК 8 подается в КН 5, которыищает газы в полости корпусаре 9, поддерживая давление в2 на заданном уровне. По мерщения КН 5 поступление криоп. в него прекращается и проводигенерация КН 5 путем подачитеплоносителя из системы 7 о1 ил.6852 2 на заданном уровне. По мере насыщения криосорбционного насоса 5 закрывается вентиль 20 и отключается по" 5дача криопродукта в криосорбционныйнасос 5, закрываются вентили 4 и 12и проводится регенерация криосорбционного насоса 5 путем подачи в неготеплоносителя из системы 7 отогрева.Удаление выделяемых при этом газовпроизводят форвакуумным насосом б.Затем вновь повторяется цикл откачки камеры 2,Испытание объекта при высокихтемпературах в вакууме осуществляютзакрытием вентилей 12, 17 и 14, открытием вентилей 20, 19, 18, 13 и 4и подачей теплоносителя из системы7 отогрева в промежуточную полость8 и каналы 3 при работающем форвакуумном насосе 6. Ф о р м у л а изобретения Установка работает следующим образом.После загрузки объекта в камеру 2 открываются вентили 4 и 12 и откачивается полость корпуса. 1, камера 2 и промежуточная полость 10 форвакуумным насосом 6. Криогенная камера 8 заполняется криопродуктом, откуда он подается в криосорбционный насос 5 через вентили 17 и 20, а также в каналы 3 через вентиль 19 и промежуточную полость 10 через вентиль 18. Криосорбционный насос 5 поглощает газы в полости корпуса 1 и в зазоре 9, поддерживая давление в камере 2 Составитель Г.СоломоновРедактор А.Ворович ТехредА,Кравчук Корректор И.Муска Заказ 5108/35 Тираж 570 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР. по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5.Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4. 1 134Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к термовакуумным установкам,Цель изобретения - экономия криопродукта.На чертеже представлена схема установки.Многоцелевая термовакуумная установка содержит корпус 1 с концентрично расположенной в его полости камерой 2, охватываемой каналами 3 исвязанной с полостью корпуса 1 черезвентиль 4, криосорбционный и форвакуумный насосы 5 и б, систему 7отогрева, причем установка снабженакриогенной камерой 8, выполненнойвнутри корпуса 1 с образованием зазора 9 и соединенной с камерой 2 посредством дополнительно выполненнойпромежуточной полости 10, а криосорбционный насос 5 установлен в зазоре9, при этом верхняя часть 11 промежуточной полости 10 соединена черездополнительно установленные вентили12-14 с форвакуумным насосом б,верхней частью 15 криогенной камеры8, а нижняя часть 16 промежуточнойполости 10 соединена через дополнительно установленные вентили 17-20с нижней частью 21 криогенной камеры8, с каналами 3 и с криосорбционнымнасосом 5. 25 ЗО 35 40 45 Многоцелевая термовакуумная установка, содержащая корпус с концентрично расположенной в его полости камерой, охватываемой каналами и связанной с полостью корпуса через вентиль, криосорбционный и форвакуумный насосы, систему отогрева, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью экономии криопродукта, она снаб" жена криогенной камерой, выполнен-, ной внутри корпуса с образованием зазора и соединенной с камерой посредством дополнительно выполненной промежуточной полости, а криосорбци" онный насос установлен в зазоре, при этом верхняя часть промежуточной полости соединена через дополнительно установленные вентили с форвакуумным насосом, верхней частью криогенной камеры, а нижняя часть промежуточной полости соединена через дополнительно установленные вентили с нижней частью криогенной камеры, с каналами и с криосорбционным насосом.