Диффузионный насос

(51)4 Г 04 Г 9/О ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ( ИСАНИЕ ИЗ АВТО 36/25-06(54) ДИФФУЗИОННЫЙ (57) Изобретение ной технике и по гетические затра бильность работы НАСОС мои тносится к вакуумоляет снизить эн ы и повысить ста насоса. Электрон(21) 399 (22) 20. (46) 15. (71) Инс (72) А,Д В.Ф.Маза (53) 621 (56) 11 ей умные на с.254-25 У СВИДЕТЕЛЬСТ 8.87, Бюл.У 30итут металлофизики АНСоловьев, П.Г.Яковенкко и С.Я.Харитонский527.8(088.8)лин А.Б. Пароструйныеосы.М.-Л.: Энергия, 1 греватель 6 размещен в экранирующем кожухе, выполненном в виде вакуумно плотной рубашки 7 с установленной в ней герметичной перемычкой 8. После няя отделяет полость рубашки 7 от полости водяной рубашки 3. Вакуум- провод 9 рубашки 7 соединяет через фланец 5 ее полость с выпускным патрубком 4. Стенка рубашек 7 и 3 выполнена зацело. В результате ул ется теплоизоляция корпуса 1 от ш ней срецы и уменьшаются тепловые по терн от нагревателя 6 и прогревае нижней части корпуса в окружающую среду, повышается стабильность работы насоса, 1 ил.1)с.тд)логленЙ, Гсрогреие 11, снаб,г)ядКОЛ 1 О,ЦЬГМОЕ РДЗЪЕМЦЕ УЫ)ТНЕ:1 )К СгЦ О Е М Е Т сллп И 1 Е С )1 Э 11 Р О К с)бесг 1 ечпцдет )лдежц,-:с Вакуумггую срцлнцевое уплотен:е:редназцачецс ;)ЕН ЗДМЕНЫ Цд )ЛЕКгО .Л Г РЕВ Дт ЕЛЕ б,С.," ЬМ В ЭКд )цЛ ЭуЮщсм )сеСН г. И,; ) цГ)К")сруНЭШ 1 М С;1 д)лщд Кор)уСд) " .Т1 3с Ю щ Гй С я ТЕ.ЧТО,1,К Сьг 1) с 1, с згц; 1-, . С к г г СОС.:)ВитЕЛЬ;,К Иц Г ИцксгРедактор Э,Слиган Тахр д В, Кггдяс) Заказ 356337 Тирл)к 5,ч ПОдгцлс ГС. ВНИИПИ Государстве 1 Г) О комитГ гд СССР пс делам изэ бре 1 .И)й ц: ткрьггий3035, сГскцс), .К, ,Рлу)скля цаб. г Гг,5ПРоизводственцо-полигРафическое пР: г)И) ")е г 1, УжОРГД.,ц. РО: кдц Д Изобретение относится к влкуумнойтехнике, а именно к конструкциям дФфузионных насосов,Целью изобретения являетсц сгЛже -ние энергетическ)1 х затрат и поць)цение стабильности работы.На чертже схемдтиче ски и.)Г)брдсев диффузионный насос.Диффузионный насос содержит вергикальный корпус 1 с днищем 2 водянугд рубашку 3, охватываюус верхнюю охлаждаемую часть корпуса и нижнюю часть, снабженную выпускным пдтрубком г с фланцем 5 и электронагревате.ем 6 размещенным в экранирующем кожухе выполненном в виде вакуумно-плотной рубашки 7 с установленной в ней герметичнол перемычкой 8, Отделяющей ее полость от полости водяной рубашки 3, и снабженным вакуум- проводом 9, соединяющим через флднецполость вакуумно-плотной рубашки 7 с Вь: - пускным пагрубком с, Стенка Вдкуумноплотной и Водяной рубяпек Выполнена зацело. Кроме того, в нижней части вакуумно-плотной рубашки 7 расположено прогревдемое., разъемное, мета:. - лической прокладкой 10 флянцевсе уплотнение 11, где на съемном гермегнг" зирующем флапце 2 установлены Вакуум: ные электропроводы 3 и при помоши направляющего пгтока 1 Й и пру:к)лн 1 15 подвижно закреглен электроцягэевдтель 6, контакт)лрующий с поверхнос тью днища 2.Диффузионный насос работает спецу ющим образом.Перед началом работы в гОпость, заключенную между водяцой рубашкой 3 и верхней частью корпуса 1, подают охлаждающую воду Папе чер з псцссединительный фланец 5 Выпускцогс пятрубка 2 откачивают внутреГний Объем вертикального корпуса . Одцэвреме- но с этим через вакуум-провед 9 ведется Откачка внутренней вакуумной ПОЛО С ТИ ) 3 ЯКЛЮЧЕ ИНОЙ МгЖДУ Ч И)КН С:- Й ЧаСтЬЮ КОРПУСаИ ВДСУМ-ПГОТНг)Й рубашксй 7, После пед;здритепьцой ст качки системы через Вагкуумць е элек-. -г)тцость Ге)1, етиз 1 р)ющя 51 рсдзделиТЕЛЬЦДЯ ПЕРЕМЫ 1)гя. 8 РДЗД:.ЛЯЕТ ВНУТ -ренццй с)бьем, с)хпяжгдемыВодой вЦЕРКВЕЙ ОХЛЛХг,ЛЕМО 1 ДСТ КОРПУС Яс) Вс)кУУме 1 ОЙ 10110 ст 1 3 ц)жцеЙ ИРОГР 1.сс ц,1 я)(им Обг)д с)м э д-итег)ь 5 гэ гг.гчд)д. г с 5 ТЕПЛС)ИЗЭ.я 1;И)1 КОЭГЧСс 1 1 ОТ БИЕШ 1 Г 1 Г Рсс) В 1 И У 3 ЧЬШД( 1 Я ГС)ПЛОВЦЕ ПОге)и От цягреля геля б и прог)евдемойгпс)ней части:,Орпусд 1 В Г)кр )жяющую г 1;ДУ, ТО ХаРЯКГЕ,)сЗУЕт:Я С)И)СЕНИЕМ .;с РГ ОЗЛтРЛГ, О,:тсОВРЕМЕГ О ПОВЫШаЕТстяби)ьнос рлэ. ты длффузиоцногс)гфСУЗ О 1 сЦД - " Г ЭЦЕ ). ИЙ )" ЭГКД.1 ЬНП): ,Р:)УС С ДЦ Н;ЕМ, ВОД 5 НУ)О ) УгздКУ г ОХВД ".; ВЯЮЩ К ВЕ ВХЦЮЮ ОХЛД)С 1 ГСГ 1 уш .:1 С Ь 5 О р:)ГС Г 1 ц1 жцюС Чс СТ 1 цбжецую вы 1, "кпЛс 3 т;)гбком сгВ),1;1:;ЕЬ И ЭлдктрОцдГр; Вд ГЕ;)С" ГЛЗМЕ, )ОВЬП)ЕПИ 5 С дЭ".ГсЭ 1 г КожуХ цьВЛГЕ Г д с укцо - г -Г)ТВОИг)ЦГГКС С ЪСТЯ)ЦС 3.1 ЕЦЛЭЛ В 1 ЕЙ . Е;)МЕТИЧ