Интерферометр для измерения линейных размеров объектов

Номер патента: 1328666

Авторы: Зейгман, Леонов, Перунов

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСК 286 СПУБЛИК И 9 4 9/02 ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ(57) Изобрете ной технике и ния линейных р ти диаметров ров. Цель изо ности измерени мещения отра линии измерен сится к измеритель значено для измереобъектов, в частнос ольких десятков мет- повышение точ т независимого перенепосредственно по не нарушает принцип ие отн предна азмеров до неск ретения я за сче жателейя, что ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИ ТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ ОБЪЕКТОВн о Аббе, Перед измерением линейных размеров объекта 8 отражатели 4, 6 интерферометра перемещают по оси до соприкосновения друг с другом, при этом на фоторегистраторе 7 вводится нулевой отсчет. Затем отражатели 4, 6 разводят один относительно другого по оси на расстояние, соизмери-.мое с измеряемым размером объекта 8. При этом на фоторегистраторе 7 производится автоматический счет интерференционных полос, соответствующий расстоянию между отражателями 4 и 6, Контролируемый объект 8 вводят между отражателями 4 и 6 так, что линия измерения совпадает с осью, на которой находятся отражатели 4 и 6. Отражатели 4 и 6 перемещают по оси до соприкосновения с контролируемыми точками поверхности объекта 8. После этого фикси руют отсчет на фоторегистраторе 7, соответствующий линейному размеру объекта 8. Цф 1 ил.1328666 Формула изобретения Составитель Л. ЛобзоваРедактор О. Юрковецкая Техред И. Верее Корректор Л. ЗимокосовЗаказ 3474/43 Тираж 676 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж - 35, Раугиская наб., д. 4/5Производственно. полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерениялинейных размеров объектов, в частностидиаметров до нескольких десятков метров.Цель изобретения - повышение точности измерения линейных размеров объектови расширение диапазона измерения за счетнезависимого перемещения отражателейнепосредственно по линии измерения, чтоне нарушает принцип Аббе,10На чертеже изображена оптическаясхема интерферометра для измерения линейных размеров объектов,Интерферометр содержит осветитель 1,дающий параллельный световой поток, разделяющийся на светоделительной пластине 152. Проходящая светоделительную пластину2 часть светового потока зеркалом 3 направлена на отражатель 4, затем посредством зеркала 3, светоделительной пластины 2 и зеркала 5 - на отражатель 6, откуда посредством зеркала 5 направлена насветоделительную пластину 2, где совмещена с частью светового потока, отраженного от светоделительной пластины 2, и направлена на фоторегистратор 7. Отражатели 4 и 6 расположены параллельно другдругу на одной оптической оси и в однойветви.Интерферометр работает следующимобразом.Перед измерением линейных размеровобъекта 8 отражатели 4 и 6 интерферометра перемещаются по оси до соприкосновения друг с другом, при этом на фоторегистраторе 7 вводится нулевой отсчет. Затем отражатели 4 и 6 разводят друг относительно друга по оси на расстояние, соизмеримое с измеряемым размером объекта 8. При этом на фоторегистраторе 7 производится автоматический счет интерференционных полос, соответствующий расстоянию между отражателями 4 и 6. Контролируемый объект 8 вводят между отражателями 4 и 6 так, что линия измерения совпадает с осью, на которой находятся отражатели 4 и 6. Последние перемещают по оси до соприкосновения с контролируемыми точками поверхности объекта 8. После этого фиксируют отсчет на фоторегистраторе 7, соответствующий линейному размеру объекта 8. Интерферометр для измерения линейных размеров объектов, содержащий осветитель, светоделительную пластину, предназначенную для деления светового потока на две ветви, зеркала, отражатели и фото- регистратор, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерения, отражатели установлены в одной ветви на одной оптической оси с возможностью перемещения вдоль нее, а светоделительная пластина расположена так, что ее светоделительная поверхность параллельна этой оси.

Смотреть

Заявка

3838295, 07.01.1985

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4605

ПЕРУНОВ ЕВГЕНИЙ НИКОЛАЕВИЧ, ЗЕЙГМАН ЛЕВ ЛЕОНИДОВИЧ, ЛЕОНОВ ВЛАДИСЛАВ ВАЛЕНТИНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 11/02, G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, объектов, размеров

Опубликовано: 07.08.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1328666-interferometr-dlya-izmereniya-linejjnykh-razmerov-obektov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интерферометр для измерения линейных размеров объектов</a>

Похожие патенты