Способ калибровки газовых печей

(51) 4 (3 01 М 30 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ВИДЕТЕЛЬСТВ У К АВТОРСКО словия нанение конАЗОВЪХ бласти изпозволяет калибруеГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(57) Изобретение относится к омерения малых потоков газа иобеспечить расширение диапазона мых течей и повышение точности измерений путем создания газовых потоков с малыми эталонными концентрациями пробного газа и поддержание одинаковой газовой нагрузки на течеискатель при подаче пробного газа в него. В масс-спектрометрический течеискатель 8 подают равные потоки пробного газа от калибруемой течи 9 и от натекателя 2. Эталонный поток через натекатель 2 создают из смеси пробного газа с технологически заданной концентрацией. Газовую нагрузку на течеискатель 8 при подаче потока от калибруемой течи 9 поддерживают равной газовой нагрузке от эталонного потока с помошью вентиля-натекателя 12. 1 ил.1323888 Формула изобретения 30 Составитель В. ЧерноусовРедактор Н. Слободяник Техред И. Верес Корректор А. ОбручарЗаказ 2955/45 Тираж 776 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открьппй1 3035, Москва, Ж 35, Рау шская наб., д. 4/511 ронзводственно.полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике, а именно к области измерения малых потоков газа при калибровке контрольных течей, используемых при контроле герметичности.Целью изобретения является расширение диапазона калибруемых течей и повышение точности путем обеспечения возможности создания газовых потоков с малыми эталонными концентрациями пробного газа и поддержания одинаковой газовой нагрузки на течеискателе при подаче пробного газа в него.На чертеже приведена схема устройства для осуществления способа.Устройство состоит из мановакууметра 1, установленного на входе натекателя 2. Трехходовой клапан 3 соединен с выходом натекателя 2, с входом клапана 4 и одним коленом трубки масляного дифференциального манометра 5, другое колено трубки которого соединено с входом клапана 6. Один конец трубопровода 7 соединен с массспектрометрическим течеискателем 8, другой - с выходами клапанов 4 и 6. Калибруемая течь 9 соединена с входом клапана 10, выход которого соединен с трубопроводом 7. Вакуумный датчик 11, вентиль-натекатель 12 и клапан 13 соединены с трубопроводом 7.Способ калибровки газовых течей осуществляется следующим образом.В устройство устанавливают калибруемую течь 9, открывают клапан 1 О, подают поток пробного газа в течеискатель 8 от калибруемой течи 9 и измеряют показания по течеискателю 8, Затем закрывают клапан 1 О, открывают клапан 4, с помощью трехходового клапана 3 и через патекатель 2 подакт в течеискатель 8 поток эталонной смеси газа, равный по величине потоку газа от калибруемой течи 9. Величину потока эталонной смеси газа с известным содержанием пробного газа определяют, например, накопителем в известном объеме и измерением возрастания давления масляным дифференциальным манометром 5. Малая концентрация пробного газа в относительно большом потоке эталонной смеси газа в пределах 10 в .1 ОВт 11010 л.мкм рт. ст./с) обеспечивает сравнение с потоком газа от калибруемой течи 9 относительно малой величины в пределах 10.10Вт 110 10-л. мкм рт. ст./с). Вырав нивание газовой нагрузки на масс-спектрометре течеискателя 8 при раздельной регистрации потока пробного газа калибруемой течи 9 и эталонной смеси газа осуществляется вентилем-натекателем 12. Кон троль величины газовой нагрузки осуществляется с помощью вакуумного датчика 11.Контрольные течи с потоками газа в пределах 10 1 ОВт (10 10 л. мкм рт. ст./с) сравниваются с эталонными потоками газа 100%-ной концентрации.15 Различные концентрации пробного газав эталонной смеси газа могут быть получены с точностью 12%.Поток газа калибруемой течи (;) определяют по формуле20Я = паЯ Вт л. мкм рт.ст.1 с),где Яэ - эталонный поток контрольного газа, Вт;С - концентрация пробного газа в эта донной смеси, /о.Применение предлагаемого способа нетребует наличия сложных установок для калибровки газовых течей. Способ калибровки газовых течей, заключающийся в том, что в масс-спектрометрическую камеру течеискателя поочередно подают поток пробного газа от калибруемой течи и эталонный поток пробного газа, измеряют сигналы на течеискателе и определяют величину калибруемой течи путем их сравнения, отлицающийея тем, что, с целью расширения диапазона калибруемых течей и повышения точности, поток пробного газа от калибруемой течи создают из смеси пробного газа с технологическим и подают в массспектрометрическую камеру в составе этой смеси, величину этого потока пробного газа выбирают равной величине эталонного потока, а при подаче потоков пробного газа поддерживают одинаковую газовую нагрузку на течеискателе.