Чувствительный элемент преобразователя давления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1312414
Авторы: Гиленко, Карагеоргий-Алкалаев, Лейдерман, Овсянников, Пел, Сандлер
Текст
СООЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК А 1 09) 01) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Авторское свидетельство СССР У 1079123, кл. Н 01 Ь 29/82, 1982.Авторское свидетельство СССР У 455634, кл. С 01 Ь 9/04, 1973,(54) ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении гидростатичес,ких давлений. Цель изобретения увеличение чувствительности устройства. Резистор, используемый в качестве чувствительного элемента преобразователя, изготовлен иэ полупроводниковой структуры с изотипным переходом на основе компенсированного полупроводникового материала, содержащего примеси с глубокими уровнями. При воздействии на резистор внешнего напряжения возникает биполярный дрейф неравновесных носителей в и-базе в+сторону и-п перехода и встречного биполярного диффузионного потока. При некотором напряжении, приложенном к переходу, изменения встречных потоков взаимно погашаются, В этом случае полный ток через резистор слабо зависит от приложенного напряжения,14 2вольт-амперной характеристики ПР падение напряжения на нем может бытьзаписано Чехр(А 3) где А 4 ехр (-)ЕГсТ Е - энергия активации глубоких компенсирующих центров; - плотность тока через ПР,При этом величина Е зависит от внешнего приложенного давления, например гидростатического. Изменение давления др приводит кизменению падения напряжения ЛЧна ПР/дЧ- Ча, - -д дрдр где а - параметр, характеризующийполупроводниковый материал;ы - ширина базовой и-области,Ч,= Ч(др=0)Коэффициент чувствительностипри этом определяется выражением аж д.ддр Формула изобретения Составитель В.естакТехред Л, Олийнык Корректор С.Черни Редактор А.Сабо Заказ 1964/40 Тираж 777 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, ЖРаушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 1 13124Изобретение относится кизмерительной технике, в частности к технике измерений гидростатических давлений.Цель изобретения - повышение чувствительности преобразователя давления.Поставленная цель достигается тем, что в качестве чувствительного элемента преобразователя давления используется полупроводниковый резис О тор, изготовленный иэ полупроводниковой структуры с изотипным и-и+ или+р-р переходом, на основе полупроводника, компенсированного глубокими примесями, например, кремния, ком пенсированного золотом.При наложении на такой полупроводниковый резистор внешнего напряжения возникает положительное смеф щение на и-области и вблизи и-и пе рехода развивается эффект накопления неравновесных носителей. Зто приводит к возникновению бипблярного дрейфа неравновесных носителей в и-базе в сторону и-и+ перехода и встречного биполярного диффузионного потока,Благодаря наличию глубоких примесей величина скорости биполярного дрейфа определяется заполнением глубоких примесей захваченными носи- ЗО телями. Степень заполнения глубоких примесей зависит от тока, вследствие чего скорость биполярного дрейфа возрастает с током (или с величиной приложенного напряжения). При определен ном напряжении, приложенном к переходу, наступает момент, когда изменения встречных диффузионного и дрейфового потоков взаимно погашаются, Вследствие этого полный ток через 40 полупроводниковый резистор (ПР) становится слабо зависящим от приложенного напряжения. На этом участке Чувствительный элемент преобразователя давления в виде полупроводникового резистора,о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью увеличения чувствительности, он выполнен из полупроводниковой структуры с изотипным переходом на основе компенсированного полупроводникового материала, содержащего примеси с глубокими уровнями.
СмотретьЗаявка
3864186, 12.03.1985
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1257, ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. СТАРОДУБЦЕВА
ГИЛЕНКО МАРК САМУИЛОВИЧ, КАРАГЕОРГИЙ-АЛКАЛАЕВ ПАВЕЛ МИХАЙЛОВИЧ, ЛЕЙДЕРМАН АДА ЮЛЬЕВНА, ОВСЯННИКОВ ВЯЧЕСЛАВ ДМИТРИЕВИЧ, ПЕЛЬ ЭДУАРД ГРИГОРЬЕВИЧ, САНДЛЕР ЛЕВ САМУИЛОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01L 9/04
Метки: давления, преобразователя, чувствительный, элемент
Опубликовано: 23.05.1987
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1312414-chuvstvitelnyjj-ehlement-preobrazovatelya-davleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Чувствительный элемент преобразователя давления</a>
Скважинный преобразователь давления
Номер патента: 676721
Опубликовано: 30.07.1979
МПК: E21B 47/06
Метки: давления, скважинный
...давление скважины через отверстие передается в манометрическую камеру 13 и компенсируется растяжением измерительной пружины 5 до тех пор, пока кольцевой выступ штока 6 не дойдет до стопорных шариков 7, 8. Дальнейшее приращение давления вызывает перемещение поршня 2, линейно-поступательное движе676721 изобретен Формх разователь давлени поршень, шток, дат мпенса 1 ционный узел ину, электромагнит Скважинныи прео одержащий корпус, ик перемещений, к змерительную пруж) 3 И, Карбачииска 1 хамь 1 шйикова Составитель Техред А Корректор Е. Осипова озона едактор Подписноетений и открытий Изд435сударственйого ком ит 113035, Москва. ЖТираж 658 та СССР по делам изо 5, Раушская наб., д. 4/5 аз 15353ПО Поис, пр. Сапунова, 2 потрафя 3ние...
Полупроводниковый преобразователь давления
Номер патента: 479015
Опубликовано: 30.07.1975
Авторы: Лазарев, Малый, Сбродов, Чепурнов
МПК: G01L 11/00, G01L 7/08
Метки: давления, полупроводниковый
...более 20 - 25 мкм расположены две тонкие слаболегированные пластины 2 и 3 полупроводника противоположных типов проводимости. Пластина 2 полупроводника Р-типа проводимости имеет две сильнолегированные области 4 и 5 и-типа (сток; исток), нанесенные методом диффузии и имеющие металлический контакт с соответствующими электродами. Пластина 3 полупроводника п-типа выполнена аналогично, только имеет области истока 6 и сток 7 Р-типа проводимости. Эти пластины закреплены на изоляционном основании 8. Электроды двух диффузионных областей 4 и 7 (стоков) подсоединены через соответствующие резисторы 9 "и 10 к источнику питания Е,. Электроды. двух других диффузионных областей 5 и 6 (истоки) различных полупроводниковых пластин соединены между собой и...
Микроэлектронный преобразователь давления
Номер патента: 491059
Опубликовано: 05.11.1975
Автор: Ваганов
МПК: G01L 23/18
Метки: давления, микроэлектронный
...обладает малыми габаритами при высокой чувствительности и повы щенной термостабильности. Изобретение технике, в части образователям дИзвестны ми тели давления, лупроводниково ния, с изготовле относитсяости к микроавления,кроэлектронные преобрсодержащие мембрануо материала, напримернными на ней тензорези к измерительн электронным п азоваиз покрем- стораМикроэлектронный преобразователь давления, содержащий мембранч из полупроводними.Известные микроэлектронные преобразователи давления недостаточно чувствительны и термостабильны.С целью увеличения чувствительности, уменьшения геометрических размеров и улучшения температурной стабильности предлагаемый преобразователь снабжен изготовленными в мембране тензотранзисторами, коллекторные области...
Управляемый многофазный вентильный преобразователь, питающий индуктивную нагрузку в режимах глубокого регулирования
Номер патента: 589852
Опубликовано: 30.10.1980
Автор: Спевакова
МПК: H05H 7/04
Метки: вентильный, глубокого, индуктивную, многофазный, нагрузку, питающий, режимах, управляемый
...выпрямленным напряжением,все вентили преобразователей поджигают с одинаковым углом регулиро вания А= О, выходное напряжениеустройства 14 при этом равно нулю.Для уменьшения выпрямленного напря-жения преобразователя устройство514 воздействует на устройство 13 управления, обеспечивая одинаковоеувеличенив угла регулирования вентилей 2, 4, 6, 7, 9 и 11, Угол регу;лирования этих вентилей может изме- г 9няться от 4 . =. О до А .в . 180- 8,г) гг скгде д - угол, соответствующий времени восстановления управляющей способности вентилей.На Фиг.2 представлены кривые изменения во времени токов и напряженийэлементов схемы, характеризующих работу вентильного преобразователя приувеличении угла регулирования Вентилей 2, 4, б, 7, 9 и 11 до50 эл, гоалусов...
Преобразователь разности давлений
Номер патента: 939981
Опубликовано: 30.06.1982
Авторы: Панфилов, Петров, Родичев, Слюсарев, Шарапов
МПК: G01L 7/06
...сапфире (КНС) или металлопленочные элементы.При колебаниях температуры в рабочем диапазоне температур йТ=Тр-Тпреобразование давления резистивнымчувствительным элементом 2 в выходной электрический сигнал происходитс определенной погрешностью Ь Р.,которая аппроксимируется, по экспериментальным данным, и имеет знакплюс или минус в зависимости от типачувствительного элемента, топологии39981 ти С и С , те. к усложнению технологического процесса изготовления.Исходя из равенства АРР-ьРимеет место выражение, по которому вы;5 бирается соотношение объемов Ч и Ч,на основании полученных экспериментальных зависимостей ай 1 т 10 При равенстве 5 эф -- 5 =5 иэх эф:". эфС 4 =С =С возможно более простое выра жениеЬт эФа = сс.в то же время установка...
Предыдущий патент: Устройство для натяжения металлической мембраны
Следующий патент: Датчик давления с частотным выходом
Случайный патент: 265133