Способ испытания изделий на герметичность

(5 И 4 б О М 3 40 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ "; К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54) СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ ИЗДЕЛИЙНА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ(57) Изобретение относится к испытаниямизделий на герметичность и позволяетповысить точность испытаний путем микроЯО 1293515 А 1 скопирования поверхности изделия в месте течи. Поверхность изделия 6 сканируют пучком электронов. Одновременно формируют на мониторе 11 изображение поверхности изделия 6 по вторичным электро-, нам, улавливаемым дефлектором 8. Регистрируют с помощью фотоэлектронного умно- жителя 9 с кристаллом-сцинтиллятором 10 в ультрафиолетовом диапазоне излучение проникающего через течь пробного газа, возбужденное первичными электронами, и формируют изображение поверхности изделия 6 в месте течи в увеличенном масштабе. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.1293515 Фор.иула изобретения Составитель Ь. Мактин Редактор Н. Швгкдкая Техрсд И. Берсс Еоррекгор Л. Обр чар Заказ 374,43 Гираж(7 Подписное ВНИИПИ Голдарс 1 венного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4,5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Изобретение относится к испытательной тенике и может быть использовано для испытания изделий на герметицность.Цель изобретения - повышение тоцности испытаний путем микроскопирования поверхности изделия в месте течи.На цертеже представлена схема устройства, реализующего способ испытания изделий на герметичность.Устройство содержит вакуумную камеру 1, в которой смонтированы направляющие 2. На направляющих 2 установлена с возможностью перемещения программно-управляемая каретка 3 с цетырехкоординатным манипулятором 4. Манипулятор 4 связан с пультом 5 управления. В камере 1 также размещено испытуемое изделие 6. На манипуляторе 4 смонтированы электронно-лу цевая пушка 7, дефлектор 8 и фотоэлект. ронный умножитель 9 с кристаллом-сцинтиллятором 1 О. Пульт 5 управления содержит монитор 11, вход которого связан с выходом дефлектора 8. Выход фотоэлектронного умножителя 9 через усилитель 12 и смеси- тель 13 также связан с входом монитора 11.Способ, осу 1 цествляют следующим образом.Изделие 6 помещают в вакуумную камеру . Камеру 1 откачивают до рабочего давления Р=1 10- 1 10 тор. Заполняют изделие 6 пробным газом. При помощи манипулятора 4 дискретно перемещают электронно-луцевую пушку 7 эквидистантно относительно поверхности изделия 6. В момент остановки разворачивают в растр пучок электронов, излучаемый пушкой 7, и сканируют им поверхность изделия 6.Одновременно со сканированием формируют на мониторе 11 изображение поверхности изделия 6 в базовом масштабе по вторичным электронам, улавливаемым дефлектором 8. С помощью фотоэлектронного умножителя 9 с кристаллом-сцинтиллятором 10 регистрируют в ультрафиолетовом диапазоне возбужденное первицными электронами излучение проникающего через течь пробного газа. Так как ультрафиолетовое излуцение возоуждается при малой плотности тока в электронном пуцке, то исклюцаегся термицеский удар и прожиг изделия.По сигналу фотоэлектронного умножителя 9 определяют интенсивность возбужденного излучения, но которой судят о величине негерметицности, а местоположение течи определяют по расположению места излучения, изображение которого формируют на изображении поверхности изделия 6 по сигналу 1 О умножителя 9, усиленному усилителем 12 иналоженному через смеситель 13 на сигнал от дефлектора 8. Кроме того, по сигналу умножителя 9 формируют на мониторе 11 изображение поверхности изделия 6 в месте теци в увеличенном масштабе, определяя таким образом с высокой точностью характер течи и ее геометрические характеристики. 201. Способ испытания изделий на герметицность, закл 1 оцающийся в том, цто изделие помещают в вакуумнук камеру, заполняют его проопым газом, сканируют поверхность изделия пучком электронов, регистрируют 25 возбужденное электронами излучение проникающего через течь 1 робного газа и судят о величине негерметицности по интенсивности возбужденного излучения, а о местоположении течи - по расположению места излуцения на поверхности изделия, отличаюи 1 ииая тем, цто, с цельк повышения тоцности, одновременно со сканированием формируют изображение поверхности изделия по вторичным электронам, регистрацию возбужденного излучения пробного газа осуЩСгетВЛЯ 4 От В УЛЬтРафИОЛЕтОВОМ ДИаПаЗОНЕ И формируют изображение поверхности изделия в месте течи в увелиценном масштабе.2. Способ по и. 1, отличающийся тем, цтосканирование поверхности изделия осущсст.вляют дискретным перемещением источника электронов относительно изделия и развертыванием пучка электронов в растр при неподвижном источнике электронов.