Фильтр для агрессивных газов

(д 11 4 В 01 Р 46/54 т сится предн хпро ть и имер ет ув к сменным азначено для цессах микроспользовано и в процессах еличить в два 77 Ю ОС ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54) ФИЛЬТР ДЛЯ АГРЕССИВНЫХ ЗОВ (57) Изобретение отно мембранным фильтрам, микроочистки газов в те электроники, но может бь в других областях, напр фильтрации; оно позволя раза эффективную площадь фильтрации. производительность фильтра и обеспечивает высокую коррозионную стойкость в агрессивных средах. Фильтр включает фланцы 1, 2 с уплотнениями 11, 16, стягивающее приспособление в виде съемного бандажа 17, вкладыш в виде полого цилидра 3 на боковых поверхностях которого размещены вход верхнего 13 и выход нижнего 12 каналов. Фильтр снабжен вертикальной разделительной перегородкой 6, прикрепленной и верх ей и нижней противоположным частям ооковой поверхности вкладыша, при этом выход верхнего канала 13 и вход нижнего канала 12 расположены на перегородке 6. Кроме того, фланцы, уплотнения, вкладыш с перегородкой и опорные сетки выполнены из термопластичных фторопластов.1 з.п.ф-лы, 1 ил.динамические сопротивления идентичны, что обеспечивает прохождение через фильтруюшие элементы 9 и 10 одинакового количества газа.Расположение проходных каналов 12 и 13 в периферийной части вкладыша 3 обусловливает равномерное распределение газового потока по поверхности фильтруюшего элемента, что способствует увеличению производительности фильтра.В фильтре для агрессивных газов, предназначенном для микроочистки, предварительная и тонкая очистка предусмотрена в самом фильтруюшем элементе, который состоит из двух дисков: предфильтра на основе ультратонкого стекловолокна и чистого фильтрующего диска из пористого фторопласта с контролируемыми размером пор в диапазоне 0,1 - 0,5 мкм. Вкладыш с разделительной перегородкой и проходными каналами, на торцах которого укреплены фильтруюшие элементы в опорных сетках, обеспечивает одновременную параллельную работу обоих фильтруюших элементов, что и обусловливает увеличение эффективной площади фильтрации, а следовательно, производительности фильтра по сравнению с фильтром одинарным., т.е. фильтром без вкладыша, при том же диаметре фильтруюшего элемента.Предлагаемый фильтр компактен, надежен и стабилен в эксплуатации, имеет высокую эффективность фильтрации и при этом удобен и прост в обслуживании и при замене фильтруюших элементов. Формула изобретения 1.,Фильтр для агрессивных газов, содержащий входной и выходной фланцы с уплотнениями и стягиваюцим приспособлением, вкладыш с одинаковыми по конфигурации верхним и нижним проходными каналами, последовательно установленные в вкладыше и укрепленные в опорных сетках фильтруюшие элементы, отличающийся тем, что, с цельо увеличения плогцади фильтрации и производительности фильтра, он снабжен вертикальной разделительной перегородкой, прикрепленной к верхней и нижней противоположным частям боковой поверхности вкладыша, выполненного в виде полого цилиндра, при этом вход верхнего и выход нижнего каналов размещены на торцах вкладыша, а выход верхнего и вход нижнего каналов - на перегородке.2. Фильтр по п, 1. отличающийся тем, что, с целью обеспечения коррозионной стойкости, фланцы, уплотнения, вкладыш с перегородкой и опорные сетки выполнены из термопластичных фторопластов. И. Всрес Корректор Рошко656 1 одписиоеСССд по делам изобретений и откры гийРдекчскди идо: д 15едприитие, г. Ужгород, мл. Проектная, 4 Изобретение относится к сменным мембранным фильтрам и предназначено для микроочистки газов в процессах микроэлектроники, а также может быть использовано ив других областях.Цель изобретения - увеличение плоша 5ди фильтрации и производительности фильтра при том же диаметре фильтруюшегоэлемента и обеспечение коррозионной стойкости деталей фильтра к агрессивным средам. ОДля обеспечения коррозионной стойкостив агрессивных средах детали фильтра, контактирующие с рабочими газами, выполненыиз термопластичных фторопластов.На чертеже изображен предлагаемыйфильтр, общий вид.Фильтр имеет входной 1 и выходной 2фланцы, вкладьш 3, выполненный в видеполого цилиндра, с полостями 4 и 5, разделенными вертикальной разделительной перегородкой 6. Во вкладыше между опорными сетками 7 и о расположены фильтруюцие элементы 9 и 10, отделяющие полости4 и 5 вкладьша 3 от полостей фланцев.Для герметизации полостей 4 и 5 служатуплотнения 11.На периферийной части вкладыша 3 расположены нижний 2 и верхний 13 проходные каналы, имеюгцие одинаковые конфигурацию и длину и соединякшие соответственно полость 4 вкладыша с полостьювыходного фланца 2, а полость 5 вкладыша -с полостью входного фланца 1. На торцахвкладыша 3 имеются выступы 14, а во фланцах 1 и 2 - соогветствуюцие им впадины 15 для исключения относительного поворота. Между вкладышем 3 и фланцами 1 и2 установлены уплотнения 16, обеспечивающие герметичность полостей фильтра поотношению к окружающей среде.Стягивающим присгособлеием является сьемный бандаж 17. который служитдля соединения деталей фильтра. При работе фильтра газ, поступающий во входной 40флгпец, разделяется надва потока, один изкоторых роходичерез фильтруюший элемент 9 в полость 4 вкладьпа, и затем через проходные каналы 12 поступает в выходной флансц, а другой по каналам 13поступает в полость 5 вкладыша и проходит 45через фильтруюший элемент 10 в выходнойфланец, где оба потока суммируются.Фланцы, вкладыш с перегородкой, опорныс сетки и уплотнения изготовлены из термопластичных фторопластов: литьевого иэластичного, причем фланцы, опорные сетки50и фильтруюшие элементы выполнены междусобой взаимозаменяемыми.Так как конфигурация и длина проходных каналов 12 и 13 одинаковы, их газоСоставителв 11, Ковалева1 ела кто р Л. О гд р ГехрелЗаказ "311,3 ТиражВНИИИ Госулдрствеииого комитета13035, Москва, Ж - 35,Г 1 иазволстпсичо-полиграфическое пр