Регулятор расхода с числовым управлением

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКРЕСПУБЛИК 127538 05 В 7/О ЕТЕЛЬСТВУ ТОР СНОМ ческий ин- радиотехопроцессидкостей с, 129,етельство СССР 5 Э 7/00, 1980 ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ(71) Винницкий политехнститут и Винницкий завонической аппаратуры(56) Залманзон Л.А. Мики управление потоками жзов. - М.: Наука, 1984,рис, 5,2 б.Авторское свидУ 954954, кл. С 0(54) РЕГУЛЯТОР РАСХОДА С ЧИСЛОВЫМ УПРАВЛЕНИЕМ (57) Изобретение относится к автоматическому регулированию потока газа в вакуумных системах. Цель изобретения состоит в упрощении конструкции и уменьшении ее габаритов, Регулятор содержит входную камеру 1 и выходную камеру 2 с патрубками 3 и 4. Между камерами установлены перегородка 5 с отверстиями 6 и пластины 7 с отверстиями 8. В каждом отверстии перегородки 5 установлен электрически управляемый клапан 10 нормально закрытого типа, причем сечения отверстий в перегородке и пластинах соот- Ф ветственно одинаковы, Перегородка 5 с отверстиями 6 и пластины 7 с отверстиями 8 образуют регулирующий элемент. 1 ил.Ю27 с Зч гвекно одинаковы. ВНИИПИ Заказ 6559/38 креи 836 Поцглисное Произв -полигр. Пргиер Г о -жгор Оду п о П.Оекткая Изобретение относится к регулированию расхода, а более конкретно кконструкциям регуляторов расхода газав вакуумных системах.Целью изобретения является упро- кщение конструкции устройства.На чертеже изображен один из вариантов конструкции 4-х клапанногорегулятора расхода с числовьи управлением. 1 ОРегулятор содержит входную камеру 1 и выходную камеру 2 с цатрубками 3 и 4, разделенные регулирующимэлементом в виде перегородки 5 с отверстиями 6 и пластин 7 с отверстиями 8. Каждое отверстие регуЛирующегоэЛемента 5 снабжено седлом 9 электрически управляемого клапана 0(1010 ) нормально закрытого типа с пружиной 11 и управляющими электромаг- :нитами 12. Клапаны перемещактся внаправляющей пластине 13,Регулятор работает следующим образом,В соответствии с кодовой командойправления, поступающей на клапаны10, обеспечивается числовое управление устройством, Расход газа определяется проходным сечением отверстий6 клапанов 10 и сечением отверстий ЗО8 в пластинах 7 а также количествомпластин 7 последовательно расположенных во входной камере 1. Ести всеклапаны 10 устройства закрьты, расход газа равен нулю. Младший разрядкоманды управления управляет состоянием клапана 10 имеющего наибольшее число последовательно расположенных пластин 7 с отверстиями 8.,расположенных во входной камере 1 иПоэтому при управляющем коде ",000,когда клапан 10 открыт, я остальныезакрьггы, обеспечивается минимальныйрасход газа, Максимальный расходобеспечивается открытыми клапа.нами 410,-10 при управляющем коде 111.Комбинируя состояние клапанов можноуправлять во всем диапазоне величиной расхода газа от минимального,цомаксимального. Изменяя сечение отвер- ",стий 6 в переГородке 5 и (или) в пластиках 7 можно получить регуляторы расхода с числовым )правлением с различными характеристиками зависимости расхода ст упра:зляюшего кода.Число клапанов мажет быть и другим. Око выбирается в зависимости от диапазона изменения ра.сходя требуемой плавности из екекля ре улируемого потока разряцности цифровойсистемы управления, При восьми клапанах величина ступеньки, на которуюизменяется ра,сход газа, равна 256 ,что практически обеспечивает его плавное регулирование, Конструктивная реализация регулятора ря.сходя зявисит От типа приводя клапана (магкитострикциснкьгй, =лектрострикцьОкттьй электромя нг кьлй и др,. ), В привсдекьОй кспствукции использован эле;Тромагниткый привод,Использование на входе рсгулятора расхоця с числовым управлением ограничителя вхоцксго гстока я нявыхоце откячкого устройства (не показаны) обеспечивает оябогу регулятора в необходимом диапазоне давлений Газяр 1 тс позволяет рясширитьдиапазон регулировгкия потоков, вьбрать необходимый режим расхода иобласть применения,Формула и з о б р е т е п и я Регулятор ряске зя г числовы:,;тпря ВЛЕКИЕМ СОДЕРжаЩИй КСГРПУС РЯЗДЕ .-сккый ня входую ч выходную кямерь перегородкой с отверстями по чи"лу разрядов команды управления, ,в каждом из которых установлен управляемый клапан, с т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения регулятора, в нем установлены пластины с отверстиями, разделяющими входную камеру ка отсеки, число которых соответствует числу упрявляемьгх клагяков, причем сечения отверстий в перегороцках и пластинах ссотвег