Дозатор пара

. РЕСЯУБЛИН 1 Г 13/00 госудАРстеенный комитет сссРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ЗОБРЕТДЕТЕЛЬСТВ У ОПИСАНИЕН АВТОРСКОМУ СВИ И ство СССР 00,1967 г. транзистотова Я.А.,(54) ДОЗАТОР ПАРА(57) Изобретение может быть исполь зовано в технологии полупроводник вых элементов и позволяет получит пар высокой чистоты и заданное на.ЯО,ы 1247660 циальное давление, а также экономию электроэнергии. Устройство содержит систему 1 регулирования подачи газа и кварцевую трубу 2, на торце 6 ко торой установчен увлажнитель 3, выполненный в виде газовой горелки из кварцевого стекла. К входам газовой горелки по кислородной трубке 5 и размещенной в ней водородной трубке 4 подаются водород, кислород и инертные газы через систему 1 регулирования, в атмосфере которых происходит окисление полупроводниковых пластин в кварцевой трубе 2Для стабилизации окислов можно вводить добавки других газов, (1 ил).Изобретение относится к дозиро ванию паров воды и может быть ис; польэовано в технологии полупроводниковых элементов.. Целью изобретения является полу. чение пара высокой. чистоты, заданного парционального давлейия и экономия электроэнергии,Н,чертеже.робрйжен дозаторпара:, Устройство содержит систему 1рйулирования,подачи газа, кварцевуютрубу 2 и увлажнитель 3, которыйь 6 .4выполнен ввйде,газовой горелкииз кварцевого стекла, в которомводородная трубка 4 размещена внутри кислородной 5, а газовая горелкаустановлена на торце 6 кварцевойтрубы 2.,Дозатор пара работает следующимобразом,Перед началом проведения процес"са доэироващя контролируется температура в рабочей зоне и температура в области выходного отверстия газовой горелки. Затем открывают краны рабочего и инертногогаза горелки для продувки системыв течение 10-20 мин, открывают водородный кран и по ротаметру устанавливают расход.На выходе газовой горелки водород самовозгорается и в кварцевуютрубу 2 поступает водяной пар, Скорость газа, выходящего через выходное отверстие газовой горелки 5должна удовлетворять следующему не.равенству:- )ЯБгде М - объем вытекающего газа,8 - сечение выходного отверстиягазовой горелки,Ч." скорость. отрыва факела.Иэ экспериментальных данных ско". рость. отрыва факела должна быть9.м/с и регулироваться объемомвыходящего газа или выходным сечением газовой горелки.. При меньших скоростях потока водородное пламя приводит к деформацигазовой горелки в связи с размягче.нием кварца.. Время окисления в парах воды15 мин или более, Затем перекрывается водородный кран и окислениепродолжается в сухом кислороде.ВНИИПИ .Заказ 4111/38 1247660 Дозатор пара, содержащий системурегулирования подачи газа, кварцевую трубу и увлажнитель, о т л ич а ю .щ и й с я тем, что, с цельюполучения паров высокой чистоты, и О заданного парциального давления иэкономии электроэнергии, увлажнительвыполнен в виде газовой горелки из.кварцевого стекла, в который водородная трубка размещена внутри кисло-,Я родной, а газовая горелка .установлена на торце кварцевой трубы. Тираж 705." Подписноегужгород, ул. Проектная, 4 Произв,-полигр. пр-тие,Кварцевая кассета с полупроводни.ковыми пластинами находятся в рабочей зоне с заданной температурой.Процесс окисления полупроводни"ковыЫ пластиннаходящихся на кас"сете, в кварцевой трубе 2 проводит"ся при температуре в рабочей зонев пределах от 800 до 1250 С.Система подачи газов позволяет 10 вводить добавки других газов, например НС 1,для стабилизации окислов,П р и м е р. Газовая горелка икварцевая труба изготавливаются изтруб плавленного кварца (фиг. 1) пу тем получения спая кварцевого стекла - кварцевое стекло с применениемпропановой горелки.Диаметр трубы 100 мм и длина2000 мм, диаметр трубки подачи во" 20 дорода и азота 7-10 мм и длина300 мм с выходным отверстием диаметром 2 мм, диаметр трубки для подачикислорода 8"25 мм и длина 100 мм,выходное отверстие диаметром 3 мм, 25 а входное отверстие выполнено изтрубки аналогичной трубке для подачи водорода. Водород, кислород и инертные газы подаются через систему ротамет-, ров и кранов к входам газовой горелки.Входы газовой горелки соединяются фторопластовыми трубками через пе реходные устройства герметичным уплотнением с системой регулирования подачи газа.За счет снижения трудоемкости обслуживания и сокращения подготовительных операций экономия времени, составит 25 мин на каждом процессе окисления. Формула из обретения