Способ контроля адгезии покрытия к подложке
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК А 1 245 1)4601 М 190 ЗСР(р ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ДЗИИ кон- вер- по- кроОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР О ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ АДГЕПОКРЫТИЯ К ПОДЛОЖКЕ(57) Изобретение относится к методамтроля трибологических характеристикдых материалов, в частности адгезикрытия к подложке при изготовлении м схем. Цель изобретения - повышение производительности контроля, которая достигается тем, что из партии исследуемых образцов выбирают эталонное покрытие и определяют его адгезию к подложке путем воздействия индентора на покрытие при максимальной нагрузке и перемещении индентора при условии, что на покрытии не образуется разрушающий след, а остальные образцы партии испытывают при выбранной по эталону рабочей нагрузке. Если на покрытии при этом образуется разрушающий след, то такое покрытие бракуется, а пригодными к эксплуатации считаются покрытия, которые не разрушаются при рабочей нагрузке.1245954 Фор.мула изобретения Составитель 1. Кудревпев Техред И. Верее Корректор М. Левчик Тираж 778 Г 1 одписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж в -35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Редактор Н. ЯцолаЗаказ 3991/35 Изобретение относится к методам контроля трибологических характеристик твердых материалов и может быть использовано для оценки качества адгезии покрытия к подложке при изготовлении микросхем.Цель изобретения - повышение производительности контроля адгезии покрытия к подложке.Эта цель достигается тем, что рабочую нагрузку на индентор выбирают равной величине нагрузки, при которой индентор на эталонном покрытии не оставляет разрушающего следа.Предлагаемый способ осуществляют следующим образом.Из партии образцов, представляющих собой покрытия на твердых подложках, выбирают эталонное покрытие, Затем к эталонному покрытию прижимают индентор, сообщают ему поступательное перемещение и измеряют силу трения между индентором и подложкой, Нагрузку на индентор постепенно увеличивают, а рабочую нагрузку выбирают равной величине нагрузки, при когорой индентор на эталонном покрытии не оставляет разрушающего следа. Определение величины адгезии исследуемых покрытий на других образцах партии осуществляют при нагрузке, равной рабочей в той же последовательности как и эта- ЛОННОЕ ПОКРЫТИЕ.Если на покрытии образуется разрушенный след, то такое покрытие бракуется и считается непригодным к эксплуатации.Отсутствие разрушенного следа свидетельствует об удовлетворительном качестве адге О зии к подложке Способ контроля адгезии покрытия кподложке, заключающийся в том, что индентор прижимают рабочей нагрузкой к покрытию на подложке, сообщают индентору поступательное перемещение, измеряют силу трения между индентором и покрытием, по величине которого судят об адгезии покры О тия к подложке, отличающийся тем, что, сцелью повышения производительности, рабочую нагрузку выбирают равной величине нагрузки, при которой индентор на эталонном покрытии не оставляет разрушающего следа.
СмотретьЗаявка
3557181, 16.02.1983
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8246
МОНТВИЛЛО БРОНИСЛАВ КАЗИМИРОВИЧ, ПОЛИЩУК ТАТЬЯНА АЛЕКСАНДРОВНА, ПЕТРОВ СЕРГЕЙ МИХАЙЛОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01N 19/02
Метки: адгезии, подложке, покрытия
Опубликовано: 23.07.1986
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1245954-sposob-kontrolya-adgezii-pokrytiya-k-podlozhke.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля адгезии покрытия к подложке</a>
Предыдущий патент: Образец для испытания материалов на коррозионное растрескивание
Следующий патент: Способ определения коэффициента трения
Случайный патент: Способ вытеснения нефти из пластов вязкопластичными системами