Способ определения отклонений в периодических структурах

Номер патента: 122213

Авторы: Корнилов, Хрюкин

ZIP архив

Текст

СССР ИЗОБРЕТЕНИЯУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ТОРС Корнилов и В. С. Хрюкин ИОДИЧЕСКИ ОТКЛОНЕН РУКТУРАХ СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИ а613779/26 в Комитет по делам изпри Совете Министров СССР тенин Заявлено 12 декабря 1958 г. зи открытийОпубликовано в Бю ллетене изобретений17 за 1959 г периодипомощью ется в ма- томатизаференцированные по переднему фронту импульсы В с блока я запускают блок 10, на выходе которого образуются имтельностью, соответствующей допуску шага. Эти импульсы Проди ормирова ульсы с д Известны визуальные способы определения отклонении вческих структурах. Наблюдение и контроль в них ведется смикроскопа. Основной недостаток подобных способов заключалой точности, малой производительности и невозможности авции контроля отклоненийБ предлагаемом способе указанные недостатки устранены тем, что подлежащая контролю периодическая структура, например сетка лампы, пропускается между источником света и проектором, Увеличенное с гомошью проектора изображение структуры проходит перед диафраг. мой с двумя параллельными щелями. Изменение светового потока в щелях диафрагмы преобразуется в электрические импульсы, которые воздействуют на индикаторное устройство, позволяющее определить отклонение в периодических структурах. С целью повышения точности контроля в диафрагме можно сделать не две, а три щели,Сущность предлагаемого способа поясняется чертежом, где изображена скелетная схема устройства по описываемому способу.Периодическая структура, например спираль л б. в. 1, продвигается между источником света 2 и проектором 8 с помощью механизма протягивания спирали 4, Увеличенное проектором изображение структуры проходит перед диафрагмой б. Диафрагма имеет две щели, расположенные на расстоянии, равном изображению шага структуры минус половина изображения допуска шага структуры. Изменение светового потока в щелях диафрагмы вызывает периодическое изменение электрического сигнала на выходе преобразователей б и 7, в качестве которых могут использоваться фотоумножители. С преобразователей электрические сигналы подаются соответственно на блоки формирования импульсов 8 9Л 1 122213 совместно с импульсами, формируемыми блоком 9, подаются в блок совпадений 11В случае несовпадения импульсов, т. е. при отклонении шага структуры выше номинала, один из импульсов попадает на каскад совпадения импульсов 12 и далее на индикатор И и вызывает срабатывание исполнительного устройства.Для более точного задания допуска в диафрагме 5 делают три щели. Расстояние от крайней до средней щели равно изображению шага структуры плюс половина допуска. В этом случае на схему совпадения подаются три импульса.Описываемый способ позволяет вести автоматический контроль за отклонениями в периодичеоких структурах Предмет изобретения обретений и открытий при Совете Министров СС Коыитет по делан1 адактор В, М. Парнес Поди. к пеи. 28.Х.59 г пригн 1090 Цена 25 коп.Инфоргидцпонно-ИЗдаСбъе, 0,17 п. л. делам изобретений и открыгий при Совете Министров СС Москва, Петровка, 14. ипография Комитета 1. Способ определения отклонений в периодических структурах, использующий оптическое и электронное устройства, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью автоматизации контроля отклонений и повышения его точности, увеличенное с помощью проектора изображение структуры проходит перед диафрагмой с двумя щелями, расстояние между которыми равно изображению шага структуры минус половина допуска; изменение светового потока в щелях преобразуется в электрические импульсы, подаваемые на схему совпадений, причем один из импульсов имеет длительность, соответствующую допуску; при несовпадении импульсов один из них попадает на индикаторное устройство.2. Способ по п, 1, о тл н ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности задания допуска, в диафрагме делается три щели, причем рассточние от крайней до средней щели равно изображению шага структуры плюс половина допуска.

Смотреть

Заявка

613779, 12.12.1958

Корнилов А. П, Хрюкин В. С

МПК / Метки

МПК: G01B 9/04

Метки: отклонений, периодических, структурах

Опубликовано: 01.01.1959

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-122213-sposob-opredeleniya-otklonenijj-v-periodicheskikh-strukturakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения отклонений в периодических структурах</a>

Похожие патенты