Способ неразрушающего контроля диэлектрической проницаемости подложек
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1218343
Авторы: Газаров, Дергачев, Подковырин
Текст
, 12183 К 27 26ЗОБРЕТЕНИЯЕЛЬСТВУ ОПИСАНИ ВТОРСКОМУ С 54)ЛОЖЕК (57) радио изобр области зобретение отнехнических измтения - повьппение контроля. ситс ерен ние ности рощ стр-во, реали 1 аай ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ(56) ТУ 11-81 "Подложка" ОСТ 11027.045-80,Добромыслов В,С., Варибрус С.В,Повышение эффективности контроляпараметров поликоровых подложекдля интегральных схем. - Тр,/Моск.энерг. ин-та 1981, вып, 516, с.83ПОСОБ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ ТРИЧЕСКОИ ПРОНИЦАЕМОСТИ ПОДзующее способ, содержит диэлектрический волновод (ДВ) 1, возбуждающий подложку (П) 2 и ДВ 3, соединенный с индикатором резонансных частот. В П 2 с помощью ДВ 1 возбуждают колебания бегущей волны типа Н Я , где о и с - порядки резонанса но смежным сторонам П 2. С помощью ДВ 3 отводят эл. маги. энергию колебаний, используемую для индикации резонанса и измерения резонансных частот. Измеряют разность частот между соседними резонансами а Е и вычисляют коэф. замедления групповой скорости 7, поверхностной волны Н, образующей колебания н П 2 ло фор-ле ряг = щР = С/аб 2 а + ЬЯ, гле С - скорость света в свободном пространстве, а и Ъ - длина и ширина П 2. Значение диэлектрич. проницаемости П вычисляется по известной зависимости. 1 ил. Я1Составитель Р.Кузнецова Техред О,Неце Корректор СаЧерни Редактор Н.Горват( Заказ 1129/54 Тираж 730 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 1Изобретение относится к радиотехническим измерениям, а именно к неразрушающему контролю диэлектрической проницаемости подложек в миллиметровом диапазоне длин волн,Цель изобретения - повышение точ-.ности и упрощение контроля.На чертеже приведена конструкцияустройства, реализующего способ неразрушающего контроля диэлектричес-,кой проницаемости подложек.Устройство содержит диэлектрический волновод 1, возбуждающий подложку 2, и диэлектрический волновод 3,соединенный с индикатором резонансных частот.Способ неразрушающего контролядиэлектрической проницаемости подложек осуществляют следующим образом.В подложке 2 с помощью диэлектри-.ческого волновода 1, который образует с одним из торцов подложки 2участок распределенной связи, возбуждают колебания бегущей волны типа Н 1 р , где Е и у - порядки резо"нанса по смежным сторонам подложки2. По толщине подложки 2 колебаниеимеет одну вариацию поля, и векторполяризации электрического поляпараллелен плоскостям подложки 2.Колебание типа Н 8 образуется за.счет последовательйого полного отраженйя поверхностного волновогопучка от всех торцов подложки 2.Направление распространения электромагнитной энергии поверхностного волнового пучка показано на чертежестрелками. С помощью диэлектрического волновода 3 отводят электромагнитную энергию колебаний, используемую для индикации резонанса и 218343 2измерения резонансных частот. Измеряют разность частот между соседними резонансами ь Г и вычисляют коэффициент замедления групповой ско рости Чгр поверхностной ВОлны Н,.образующей колебания в подложке 2, по формуле Саа д 2 2 а1 Огде С - Скорость света в свободномпространстве,а и Ь - длина и ширина подложки 2.Значение диэлектрической проницае мости подложки вычисляется по известной зависимости по величине Чри известному значению толщины Й подложки 2. Формула изобретения Способ неразрушающего контролядиэлектрической проницаемости подложек, заключающийся в возбуждении 25 в подложке электромагнитных колебаний, измерении резонансных частоти вычислении диэлектрической проницаемости подложек, о т л и ч а ющ и й с я тем, что. с целью повышения точности и упрощения контроля, в подложке возбуждают электромагнитные колебания бегущей волнытипа Н 18, где о и- порядки резонанса по смежным сторонам подложки, посредством диэлектрического 35волновода, установленного параллельно одному из торцов подложки, и поразности резонансных частот соседних колебаний вычисляют значение 40диэлектрической проницаемости подложки по известной зависимости.
СмотретьЗаявка
3717547, 22.03.1984
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8828
ГАЗАРОВ ВАЛЕРИЙ МИХАЙЛОВИЧ, ДЕРГАЧЕВ ВЛАДИМИР ФЕДОРОВИЧ, ПОДКОВЫРИН СЕРГЕЙ ИВАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01R 27/26
Метки: диэлектрической, неразрушающего, подложек, проницаемости
Опубликовано: 15.03.1986
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1218343-sposob-nerazrushayushhego-kontrolya-diehlektricheskojj-pronicaemosti-podlozhek.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ неразрушающего контроля диэлектрической проницаемости подложек</a>
Устройство для определения частот резонансных колебаний вращающегося вала
Номер патента: 1315826
Опубликовано: 07.06.1987
Авторы: Барков, Боярчук, Красюк, Маслий, Попов, Серга
МПК: G01H 13/00
Метки: вала, вращающегося, колебаний, резонансных, частот
...следующим образом.Полигармонический сигнал с выхода датчика 1 вибрации поступает на первый вход частотного детектора 2, которьп выделяет составляющую вибрации ротора оборотной частоты. Этот сигнал преобразуется аналого-цифровым преобразователем 5 в цифровой код, 26 Тактовые импульсы ТИ 1 формируются блоком 1,1 управления по значению кода текущей частоты И, вращения. Интервал между импульсами ТИ 1 является величиной переменной и зависит от темпа набора оборотов турбомашиной, т,е. определяется длительностью интервала времени, за который приращение частоты вращения составит заранее заданную (фиксированную) величину дщ.Тактовые импульсы ТИ 2 формируются блоком 11 управления по заднему франту импульсов ТИ 1.В зависимости от значения кодов на...
Способ измерения диэлектрической проницаемости подложки
Номер патента: 1800335
Опубликовано: 07.03.1993
МПК: G01N 22/00
Метки: диэлектрической, подложки, проницаемости
...Соответствие между частотой полюса ГР и величиной диэлектрической проницаемости е рассчитывают теоретически или устанавливают эмпирически с помощью набора подложек с известной диэлектрической проницдемостью.Положительный эффект при осуществлении изобретения достигается благодаря тому, что вместо измерения резонансной частоты одиночного резонатора, то есть нахождения координаты плоской вершины достаточно широкого пика прохождения СВЧ мощности, измеряется частота ГР чрезвычайно узкого полюса затухания СВЧ мощности, проходящей от одного металлического проводника к другому.1800335 Составитель В.ТюрневТехред М.Моргентал Корректор С.Шекмар РедакторЗаказ 1160 Тираж ПодписноеВНИИПИ Г(нудзрсвенного комитега по изобретениям и открытиям при...
Устройство для измерения диэлектрической проницаемости материалов на сверхвысоких частотах
Номер патента: 115514
Опубликовано: 01.01.1958
Авторы: Шестопалов, Яцук
МПК: G01R 27/26
Метки: диэлектрической, проницаемости, сверхвысоких, частотах
...устройство пригодно для измерения твердых и жидких диэлектриков. При измерении в сантиметровом диапазоне можно пользоваться образцами относительно небольших геометрических размеров. Предмет изобретения Устройство для измерения диэлектрической проницаемости матс- риалов на сверхвысоких частотах, состоящее из волновода, в который помещается:испытываемый диэлектрик, и измерителя длины волны в волноводе, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения полосы частот, при которых можно определять диэлектрические свойства материалов, и упрощения расчетов, в качестве волновода грименена спиральная замедляющая система,Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Иинистров СССР Редактор Л. И. Ситников...
Устройство для измерения резонансных частот механических колебаний
Номер патента: 324506
Опубликовано: 01.01.1972
Автор: Авнерс
МПК: G01H 13/00
Метки: колебаний, механических, резонансных, частот
...фиг. 2 показана схема соединения детектора с осциллоскопом. Возбудитель механических колебаний исследуемого прибора состоит из двух жестко соединенных оснований 1 и 2. Основание 1 имеет хвостовик 3 для соединения с источником механических колебаний, С основаниями посредством стяжных стержней связаны платформы 4 и 5, под которыми расположены пьезоэлектрические пластинки 6 и 7 с электрическими выводами 8 и 9, изолированные от оснований прокладками 10 и 11,Выводы пьезоэлектрических пластинок связаны с входами осциллоскопа, причем одна пластинка соединена с входом вертикального отклонения луча, вгорая - с входом горизантальной развертки.Работает устройство следующим образом.Датчик вибрации ввинчивает хвосговиком в 30 платформу .источника...
Устройство для определения частот резонансных колебаний вращающегося вала
Номер патента: 1101686
Опубликовано: 07.07.1984
Авторы: Боярчук, Грязев, Квашин, Красюк, Турчин, Цыбулько
МПК: G01H 13/00
Метки: вала, вращающегося, колебаний, резонансных, частот
...между выходом детектора и первым входом индикатора, преобразователем частота-кодФвключенным между датчиком оборотови вторым входом индикатора, подключенными параллельно к выходу аналогоцифрового преобразователя гальванически связанными буферным регистром исхемой сравнения кодов, подключенным к последней триггером, соединеннойс ним схемой И, второй вход которойподключен к третьему выходу схемысравнения, а выход - к входу индикатора, и блоком управления, подключенным раздельными выходами к входамбуферного регистра и схемы сравне.ния кодов, а входом - к выходу преобразователя частота-код.На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства.Устройство содержит размещаемый1на контролируемом валу датчик 1 вибрации, подключенный...
Предыдущий патент: Преобразователь емкости и сопротивления в интервал времени
Следующий патент: Устройство для компенсации паразитной угловой модуляции в генераторах амплитудно-модулированных колебаний
Случайный патент: Штамповочный молот