Устройство для измерения малых зазоров между двумя поверхностями, одна из которых прозрачная

-28 Бюл. В 40овышения квалифик народного хоз Л-Л.Ю. Маче видетельство СССР 01 В 11/14 1981.(54)(57) УСТРОЙСТВО МАЛЫХ ЗАЗОРОВ МЕЩЦУ ЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХОб Об ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(71) Институтции специалистства ЛитССР(56) АвторскоеФ 954812, кл. НОСТЯМИ, ОДНА ИЗ КОТОРЫХ ПРОЗРАЧНАЯсодержащее оптически связанные источник света, светоделитель, светофильтр и фотоприемник и регистратор, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью повышения точности измерений, оно снабжено пьезовибратором, связанным с непрозрачнойповерхностью, и блоком формированиясигналов, включенным между фотоприемником и регистратором и содержащим последовательно связанные управляемый усилитель и два канала -информационный и эталонный.как об абсолютной величине зазора,так и об амплитуде эталонного калибровочного сигнала, получаемогос помощью пьезовибратора 7. Световой поток светоделителем 2 направляется через светофильтр 3, пропускающий лучи лишь определенной частоты, на вход фотоприемника 4, которыйколебания интенсивности интерференционной картины преобразует в колебания электрического сигнала.Цалее электрический сигнал поступает на вход фильтра 9, который непропускает сигнал с эталонной частотой, а пропускает все частоты полезного информационного сигналана вход эталонного фильтра 10, навыходе которого появляется калибровочный сигнал с эталонной частотой,соответствующей частоте колебанийпьезовибратора 7. Сигнал, прошедший через фильтр 9,.несет информацию об абсолютной величине зазораи поступает на один вход управляемого усилителя 12. Сигнал, прошедший через фильтр 10, несет информацию об изменении величины амплитудысигнала эталонных колебаний, которыйдалее детектируется детектором 11и поступает на другой вход усилителя 12. Управляемый усилитель 12усиливает информационный сигнал,прошедший через фильтр 9, и одновременно производит его калибровкус помощью эталонного калибровочногосигнала, поступающего с выходаамплитудного детектора 11. Такимобразом, при изменении коэффициентапередачи всей системы автоматическиподдерживается калибровка информационного сигнала. Например, еслиувеличивается коэффициент передачисистемы вследствие, например, увеличения напряжения питания или режима работы фотоприемника 4, то всоответствующее число раз увеличивается амплитуда информационногосигнала, свидетельствующего о величине зазора, и амплитуда эталонного(калибровочного) сигнала, последнеена столько же раз уменьшает коэффициент усиления в усилителе 12,Откалиброванный сигнал поступаетна регистратор 13, по осциллограммекоторого определяют измеряемый зазор,30 1 1188539Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и можетбыть использовано для измерения малых зазоров между двумя поверхностями, в частности для измерения 5динамического неконтакта между маг"нитной головкой и поверхностьюдиска в устройствах магнитной записи и дисковых накопителях ЭВМ.Цель изобретения - повышение 10точности измерений.На чертеже изображена блок-схема устройства для измерения малых зазоров между двумя поверхностями, одна из которых прозрачная.Устройство содержит оптическисвязанные источник 1 света, светоделитель 2, светофильтр 3 и Фотоприемник 4, светоделитель устанавливается перед исследуемым зазором,образованным прозрачной поверхностью 5, обращенной в сторонупадения светового потока, и непрозрачной поверхностью 6, жестко25связываемой с пьезовибратором 7,подключенным к источнику 8 питания,блок формирования сигналов, содержащий последовательно связанные измерительный канал в виде фильтра 9информационной частоты, эталонныйканал в виде фильтра 10 эталоннойчастоты и детектора 11 и управляемый усилитель 12, подключенный входами к выходам каналов, выход управ 35ляемого усилителя 12 связан с регистратором 13, а вход каналов свя зан с выходом фотоприемника 4.Устройство работает следующимобразом.40Излучаемый источником 1 света световой поток проходитчерез светоделитель 2 и направляется на зазор, образуемый поверхностями 5 и 6. Непрозрачная поверхность6 соединена с пьезовибратором 7,подключенным к источнику 8 питания,который сообщает эталонные периодические механические колебания поверхности 6, тем самым периодически(частота колебаний 20 + 30 КГц) меняя величину зазора. Отраженныйот поверхностей 5 и 6 световойпоток после интерференции междуплоскостями 5 и 6 нест нформациюВНИИПИ Заказ 6733/41 Тираж 650 Подписное