Устройство для измерения потенциала заряженных слоев
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
) б Й МИТЕТ СССР Й И ОТНРЫТИй ГОСУДАРСТВЕННЫЙПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИсР, (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОТКНПИАЛА ЭАРЯЗЕННЦХ СЛОЕВ, содераащее коронирующий электрод, измерительный блок, снабженный по крайней мере одним зондом, соединеннве с электроприводом и регистрирующим прибором, а такие соединенный с электроприводом вщиндрический каркас, вдоль осн которого закреплен коронирующий электрод, а боковая новеркность снабнена экранизирующими полоскамн,несущими зонды,о т л н ч аю щ е е с я тем,что,с целью повывения его быстродействия н расаирения ункциональнык возмовиостей, экранирующие полоски размещены вдоль винтовой линии. 2 46) 07.07.85. Бюл. валеного и(72) В.И.фулга, П.АЛ.М.Панасюк 53) 621,317.32(088.8 (56) Патент ФРГ В 250 л, Е 01 я гй 12,Авторское свидетел Ф 1100583, кл. 9 01 2311,977.ьствоСССРй 29/12, 198ВС ВВ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТН АВТОРСНОНУ ССНСВТСНЬСТВУЗаказ 4305/39 Тираж 748 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 1Изобретение относится к электро- измерительной технике и может быть использовано при определении потенциала заряжаемых коронным разрядом тонких диэлектрических пленок, фото полупроводниковых слоев.Цель изобретения -.повышение быстродействия и расширение функциональных возможностей устройства., На чертеже изображено предлагае мое устройство,. общий вид.Устройство включает в себя коронирующий электрод 1, окруженный цилиндрическим каркасом 2, опоясанным винтовой экранирующей полос- , 15 кой 3 с зондом 4, контакты 5, служащие для снятия сигналов с зонда 4, и контакты 6 " для заземленияэкранирующей полоски З.Цилиндрический каркас 2 приводится во враще , ние приводом 7. Исследуемый слой 8 помещается под каркас 2. (Источники питания коронирующего электрода 1 и привода 7 не показаны ), Регистрирующий прибор 9 подключен к контактам 5 измерительного зонда 4, параллельно прибору подключен резистор 10.Измерения потенциала заряженных слоев проводятся следующим образом. 30На коронирующий электрод 1 подается высокое напряжение .и иселедуемый слой заряжается в поле коронного разряда. Одновременно приводится во вращение каркас 2 с зондом 4Поверхностный заряд на слое 8 вызывает в проходящем над ним зондеЭДС электростатической индукции, Ток,проходящий через резистор 10, фиксируется прибором 9, например осциллографом, При вращении цилиндрического каркаса 2 относительно неподвижного исследуемого слоя 8 в первыймомент зонд 4 своей крайней частьюприближается к слою 8, Затем, по,мере вращения, нижняя и ближайшаячасть к слою 8 зонда 4 будет перемещаться вдоль слоя, т,е. вращающийся винтообразный зонд 4 по отношению к слою 8 будет перемещаться линейно вдоль него. Следовательно, наприближающемся к слою зонде 4 всилу электростатической индукциивозникает сигнал, пропорциональныйвеличине заряда в данном месте поверхности слоя. При перемещении зонда вдоль слоя 8 сигнал с зонда 4зависит от колебаний заряда вдольслоя 8. Связанный с зондом 4 прибор 9, например осциллограф, фиксирует кривую, соответствующую распределению заряда вдоль слоя 8.
СмотретьЗаявка
3670866, 05.12.1983
СПЕЦИАЛИЗИРОВАННОЕ КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ БЮРО "ОПТОЭЛЕКТРОНИКА" ПРИ КИШИНЕВСКОМ ГОСУДАРСТВЕННОМ УНИВЕРСИТЕТЕ ИМ. В. И. ЛЕНИНА
ФУЛГА ВЛАДИМИР ИЛЬИЧ, КОВАЛЕНКО ПЕТР АНДРЕЕВИЧ, ПАНАСЮК ЛЕВ МОЙСЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01R 29/12
Метки: заряженных, потенциала, слоев
Опубликовано: 07.07.1985
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1166020-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-potenciala-zaryazhennykh-sloev.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения потенциала заряженных слоев</a>
Предыдущий патент: Способ измерения параметров антенн
Следующий патент: Устройство для контроля электрических параметров импульсных трансформаторов
Случайный патент: Способ подготовки образца для анализа и устройство для его осуществления