Устройство контроля профиля поверхности

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСИИХРЕСПУБЛИК 4(51) С 0 15 02 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ ехничесН АВ ГОРСКОМУ СВИДЕТ(71) Новосибирский электроткий институт(56) 1. Авторское свидетельство СССУ 412467, кл. О О 1 В 7/28, 1974.2, Дубицкий Л.Г. Радиотехническиметоды контроля иэделий, М., Машгиз1963, с. 188 - 189 (прототип). 54)(57) УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ПРОФИЛЯОВЕРХНОСТИ, содержащее шаблон,лектрод, расположенный по поверх,ЯО 1138644 А ности шаблона, размещаемой к контролируемой поверхности, и измеритель емкости, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точность и производительности контроля, измеритель емкости выполнен в виде им пульсного .СВЧ-рефлектометра и согла" сованного сопротивления, электрод выполнен в виде изолированного провода, один конец которого соединен с одним из входов импульсного СВЧ- рефлектометра, другой - с согласованным сопротивлением, а другие входы импульсного СВЧ-рефлектометра и согласованного сопротивления соответственно предназначены для соединения ЕО с объектом.1138644 Редактор С,Саенко Составитель И,ДавыдовТехред С.йовжий Корректор М,ЛеонтикЮаВЗаказ 10674/30 Тираж 651 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к контроль- согласованным сопротивлением, ано-измерительной технике и может другие входы импульсного СВЧ-рефлекбыть использовано для контроля про- . тометра и согласованного сопротивлефиля поверхности крупногабаритных ния соответственно предназначены дляиэделий, соединения с объектом.Известен емкостной преобразователь На чертеже; изображено.предлагаедля контроля профиля поверхности, мое устройство контроля профиля посодержащий. набор электродов, распо- верхности.ложенных над контролируемой поверх- Устройство содержит электрод, выностью, и измеритель емкости, между 1 О полненный в виде изолированного прокоторыми размещен коммутатор 111, вода 1, расположенный на поверхносОднако необходимость поочередного ти шаблона 2, размещаемой к поверхпереключения емкостей для их измере- ности изделия 3, и образующий с нимния снижает точность и увеличивает двухпроводную линию, измеритель 4время контроля. 15 распределенной емкости, выполненныйКроме того, необходимо сравнивать в ниде импульсного СВЧ-рефлектометра,полученное распределение значений состоящего из генератора 5 короткихемкостей с заданным, что также уве импульсов и стробоскопического осличивает время контроля. циллографа 6. Один из концов изолиНаиболее близким к изобретению по 2 О роваиного провода 1 соединен с однимтехнической сущности и достигаемому яз входов импульсного СВЧ-рефлекторезультату является устройство конт метра, другой - с согласованным сороля профиля поверхности, содержащее противлением 7, а другие входы имшаблон,электрод, расположенный по пульсного СВЧ-рефлектометра и соповерхности шаблона, размещаемой к 25 гласованного сопротивления 7 соедиконтролируемой поверхности, и измерй- няются с изделием 3,тель емкости 2 3. Устройство работает следующим обНедостатками известного устройст разомва являются низкие точность и произ- Провод 1, расположенный на шабловодительность контроля,так как конт- ЗО не 2 с заданным профилем, и поверхроль профиля производится по отдельность изделия 3 образуют двухпроводным точкам и возможны пропуски де- ную линию с определенным волновым софектовнаходящихся между электро противлением. При отклонении профиляповерхности изделия 3 от шаблона 2Цель изобретения - повьппение точ- З 5 волновое сопротивление линии станоности и производительности контроля, вится неоднородным. При подаче вПоставленная цель достигается . двухпроводную линию коротких импультем, что в устройстве контроля про-, сов в местах неоднородностей вознифиля поверхности, содержащем шаблон, кают отражения этих импульсов, велиэлектрод- расположенный по поверх-1 О . чина которых пропорциональна величиЭности шаблона, размещаемой к конт- не отклонения профиля изделия 3 отролируемой поверхности, и измери- шаблона 2,тель емкости, последний выполнен в Таким образом, контроль профилявиде импульсного СВЧ-рефлектометра производится непрерывно по всему кони согласованного сопротивления, 45 туру двухпроводной линии за аремяэлектрод выполнен в виде изолирован- распространения импульса от генератоного провода, один конец которого ра 5 до согласованног ро согласованного сопротивлесоединен с одним из входов импульс- ления 7, что повьппает точность и проного СВЧ-рефлектометра, другой . - с изводительность контроля.