Способ изготовления акусто-оптических устройств

,ЯО 1127723 А збо В 23 2000 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ность каждого из них связу дия, соединение контактных и механическую обработку п вателя, отличающийся тем, повышения качества соедин использования в качестве аку кристалла галогенидов талли ную поверхность преобразов рительно наносят адгезирую бальта.2, Способ по п. 1, отлич что, с целью повышения над тавливаемых устройств, мех работку пьезопреобразовател до нанесения на его контактну адгезирующего и связующего ющего пов ьезоп что,ения стооп я, на ателя щийающийся тем, ежности изгоаническую обя производят ю поверхность слоев. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ АВТОРСМОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(71) Институт физики АН Латвийской ССР(54) (57) 1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯАКУСТООПТИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ,включающий подготовку . поверхностейакустооптического кристалла и пьезопреобразователя, нанесение, на контактную поверх слоя инрхностей еобразос целью в случае ического контакт- предваслой ко1127723 ВНИИПИ Заказ 8811/10Филиал ППП Патент, г. Изобретение относится к электронномуприборостроению, в частности к соединениюакустооптического элемента с пьезопреобразователем для изготовления акустооптических устройств, и может быть использовано при изготовлении оптических дефлекторов, ультразвуковых линий задержки и других устройств, включающих соединениетвердых тел при помощи металлической прослойки,10Известен способ соединения твердыхтел при помощи металлической прослойки.В качестве металлической прослойки используется индий либо сплавы на основе индия 1.Однако индий не всегда обеспечивает 15необходимую прочность сцепления с соединяемыми материалами,Известен способ изготовления акустооптических устройств, включающий подготовку поверхностей акустооптического крис 20талла и пьезопреобразователя, нанесениена контактную поверхность каждого из нихсвязующего слоя индия, соединение контактных поверхностей и механическую обработку пьезопреобразователя. Согласно известному способу на контактную поверхность 25акустооптического кристалла (моли бденатасвинца) в вакууме наносят адгезируюшийслой молибдена, затем на обе контактныеповерхности наносят проводящий слой золота и связующий слой индия, соединяют30контактные поверхности сваркой и производят шлифовку пьезопреобразователя дотолщины 15 мкм 2.Однако применение молибдена и золотав составе металлической прослойки не обеспечивает надежности адгезионных свойстви достаточной прочности соединения в случае, когда в качестве акустооптическогокристалла используют галогенид, в частности галогенид таллия, обладающий уникальными оптическими свойствами.Вследствие высокой диффузионной и реакционной способности галогенидов таллиямежду их компонентами и молибденом изолотом возникают процессы взаимной диффузии, сопровождающиеся химическимиреакциями, в результате чего прочностьсоединения падает и оно разрушается либопри окончательной механической обработкепоследнего, либо при его эксплуатации,Указанные процессы, кроме того, приводят к возрастанию электрического сопротивления прослойки до значений, превышаюших сопротивление индия, вследствие чегоприменение драгоценного металла золотастановится нецелесообразным.Кроме того, окончательная механическая обработка пьезопреобразователя после его соединения с акустооптическим кристаллом приводит в ряде случаев к разрушению соединения, препятствует достижению его точных размеров.Целью изобретения является повышение качества соединения в случае использования в качестве акустооптического кристалла галогенидов таллия.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления акустооптических устройств, включающему подготовку поверхностей акустооптического кристалла и пьезопреобразователя, нанесение на контактную поверхность каждого из них связующего слоя индия, соединение контактных поверхностей и механическую обработку пьезопреобразователя, на контактную поверхность пьезопреобразователя предварительно наносят адгезируюший слой кобальта.Кроме того, с целью повышения надежности изготавливаемых устройств, механическую обработку пьезопреобразователя производят до нанесения на его контактную поверхность адгезирующего и связующего слоев.Способ осуществляется следующим образом.Проводят окончательную механическую обработку и подготовку поверхностей соединяемых кристаллов. Поверхность акустооптического кристалла промывают дистиллированной водой, этиловым спиртом и изопропиловым спиртом. Окончательно сошлифованный пьезопреобразователь промывают раствором питьевой соды или хромпиком, дистиллированной водой, этиловым спиртом, изопропиловым спиртом. Соединяемые кристаллы помешают на устройстве для соединения в вакуумной камере, В вакууме 1 О торр на соединяемую поверхность пьезопреобразователя наносят слой кобальта толщиной 500 А, а затем слой индия толщиной 000 Я, на соединяемую поверхность акустооптического кристалла наносят индий толшиной 8000 А. Не нарушая вакуум, соединяемые поверхности приводят в контакт и прикладывают нагрузку 0,4 кг/мм . Прочг ность адгезионного соединения при испытании на нормальный отрыв составляет 1,3 кг/ммг. Технико-экономическая эффективность складывается из экономии дорогостоящих кристаллов (например, бромида - йодида таллия и ниобата лития) при уменьшении процента брака при производстве акустооптических устройств на 80%, а также из экономии золота при замене системы Ац."1 г 1 на Со - 3 ю. Тираж 1036 ПодписноеУжгород, ул. Проектная, 4