Вакуумная установка
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛ ИСТИЧЕСМИХРЕСПУБЛИК 7 14 А ИЙПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ: енов пленок стве дного рфирмы ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) 1. Изготовление тонк в исследовании и в произв Универсальная система кат пыления А 550 ЧЕК. Проспект1,еуЬо 1 Й-Негаеиз 12. С 2. 110(54) (57) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, содержащая последовательно подключенныек откачиваемому объекту посредствомзатвора криогенный насос-ловушку,высоковакуумный и форвакуумный насосы, о т л и ч а ю щ а я с я тем,что, с целью повышения скорости откачки, насос-ловушка закреплен назатворе.11214 Составитель О.ТишинаРедактор Л.Авраменко Техред С Легеза Корректор М,Леонтюк Заказ 7953/29 Тираж 623 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к вакуумнойтехнике.Известна вакуумная установка, содержащая последовательно подключенные к откачиваемому объему посредством затвора криогенный насос, ловушку высоковакуумный и форвакуумныйнасосы 1,Однако такая установка характеризуется недостаточно вЫсокой скоростью 10откачки, так как отверстие, соединяющее рабочую камеру с откачной системой, понижает быстроту действиякриогенного насоса-ловушки из-засвоей ограниченной проводимости, 15Цель изобретения " повьппение скорости откачки.Указанная цель достигается тем,что .в вакуумной установке, содержащей последовательно подключенные к 20откачиваемому объему посредствомзатвора криогенный насос-ловушку,высоковакуумный и форвакуумный насосы, насос-ловушка закреплен на затворе, 25На чертеже изображена предлагаемаяустановка.Вакуумная установка содержит последовательно подключенные к откачиваемому объему 1 посредством затвора З 02 криогенный насос-ловушку 3, высоковакуумный и форвакуумный насосы 4 92 2и 5, Насос-ловушка 3 закреплен на затворе 2.Насос-Ловушка 3 установлен на затворе 2 через теплоизьлятор 6. Через гибкие трубопроводы 7 к насосу-ловушке 3 подводится и отводится хлад- агент. На затворе 2 имеются ограничи,тели 8 и 9.Вакуумная установка работает следующим образом.Запускают форвакуумный насос 5 и после достижения определенной степени вакуума запускают высоковакуумный насос 4, Затем откачивают объем 1 до давления 1-10 ПА, через один из трубопроводов 7 заполняют криогенный насос-ловушку 3 хладагентом. Затем открывают затвор 2, и насос- ловушка 3 вносится в объем 1, понижая давление в нем с высокой скоростью. Теплоизолятор 6 предохраняет запорный орган затвора 2 от переохлаждения. Ограничители 8 и 9 позволяют избежать чрезмерного качания затвора 2, предотвращая касание насоса-ловушки о внутренние поверхности объема 1.Таким образом, предлагаемая установка позволяет повысить скорость откачки за счет повьппение проводимости в процессе высоковакуумной откачки.
СмотретьЗаявка
3562283, 09.03.1983
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7873
ПЕЧЕНКИН ВЛАДИМИР АЛЕКСЕЕВИЧ, БАЖЕНОВ ЮРИЙ ГЕННАДЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: F04B 37/14
Метки: вакуумная
Опубликовано: 30.10.1984
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1121492-vakuumnaya-ustanovka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумная установка</a>
Форвакуумная криогенная ловушка
Номер патента: 868136
Опубликовано: 30.09.1981
Авторы: Закиров, Никонов, Сыровец
МПК: F04F 9/06
Метки: криогенная, ловушка, форвакуумная
...соединенными с входным и выходным патрубками.На фиг. 1 изображена ловушка, продольный разрез; на фиг. 2 - разрез А-,А на фиг, 1.Форвакуумная криогенная ловушка содер. ,жит корпус 1 с входным и выходным натрубкамн,2 и 3 и расположенный в нем сосуд 4 для хладагента, в котором размещен трубчатый элемент, выполненный в виде тороидаль. ных соосных трубок 5, соседние из которых попарно соединены между собой с помощью двух диаметрально расположенных патрубков 6, смещенных относительно патрубков 7 соседней пары на угол, равный 90, причем крайние тороидальные трубки снабжены диа. метральными полыми перемычками 8, соответственно соединенными с входным и выходным патрубками 2 и 3.Ловушка работает следующим образом.В сосуд 4 заливается...
Криогенная ловушка
Номер патента: 659791
Опубликовано: 30.04.1979
Авторы: Закиров, Мухин, Чубаров, Шумаков
МПК: F04F 9/06
Метки: криогенная, ловушка
...корпусе 1 с фланцами 2 и 3, расположенными во взаимно перпендикулярных плоскостях. Охлаждающее устройство выполнено в виде спирали 4, повторяющей форму корпуса 1 и расположенной в последнем с минимальным зазором.Изгиб корпуса 1 ловушки и спирали 4 охлаждающего устройства делает ловушку оптически непроницаемой в молекулярном режиме течения газов, а расположение спирали 4 охлаждающего устройства вдоль всей длины корпуса 1 ловушки исключает пленочную миграцию рабочей жидкости по стенке.При работе ловушки откачиваемый газ и обратный поток рабочей жидкости от диффузионного насоса (на чертеже не показан), проходя через оптически непроницаемый канал с малым сопротивлением, образованный изогнутой спиралью 4, конденсируется на ее поверхности....
Криогенная ловушка
Номер патента: 1708380
Опубликовано: 30.01.1992
Метки: криогенная, ловушка
...ловушки. 1 з.п.флы, 1 ил. .Я действием момента, образованного силой .тяжести, отделяются от наружной. поверхности вымораживающей емкости 3. Процесс СкондЕНСации влаги пРодолжается на остав- Ошихся иглаХ по ходу потока и на поверхно- . (сти, освободившейся от игл. После того, как рвсе иглы окажутся в тупиковом:отводе 2,процесс конденсации происходит каск вобычной лоа 1 нлке. Далее йлл аосстлновлвния работоспособности ловушки после ееотсечки от вакуумируемого объема производят отогрев вымораживающей емкости 3.При достижении температуры, равной точкеКюри, ферромагнитный материал, из.кото-рого выполнены стенки вымораживающейемкости 3; теряет свои магнитные свойстваи оставшиеся на поверхности емкости опор1708380 Составитель...
Форвакуумная криогенная ловушка
Номер патента: 398762
Опубликовано: 01.01.1973
Метки: криогенная, ловушка, форвакуумная
...- увеличение проводимости ловушки и улучшение качества ее работы, а также обеспечение экономии хладагента. Это достигается тем, что сосуд Дьюара охватывает трубу для прохода газа, а ее выступающие из сосуда концы герметично соединены со стенками сосуда.Наружная поверхность трубы омывается хладагентом, что позволяет на этом участке трубы иметь температуру жидкого азота, В верхней части трубы температура меняется от температуры жидкого азота до комнатной температуры, причем испаряющийся хлад- агент (цапример азот) через зазор между горловиной сосуда Дьюара ц трубой газопровода дополнительно охлаждает трубу газопровода и этим уменьшает расход хладагента из сосуда Дьюара,На чертеже схематично показана предлагаемая форвакуумцая...
Форвакуумная криогенная ловушка
Номер патента: 659792
Опубликовано: 30.04.1979
Авторы: Коваленко, Мартыненко
МПК: F04F 9/06
Метки: криогенная, ловушка, форвакуумная
...является улучшение защитных свойств ловушки.Указанная цель достигаетсятрубе размещен испаритель граль которого расположена ососуда Дьюара и его днищаниях, составляющих не менееметра трубы. криогенная ловушка соьюара и трубу 2 для прого газа, установленную Выступающие из сосуда 1 ерметично соединены со В трубе 2 размещен испаритель геттера3, спираль 4 которого расположена от горловины 5 сосуда 1 Дьюара и его днища 6 на расстояниях 1 и 6, составляющих не 5 менее одного диаметра 0 трубы 2.Ловушка работает следующим образом.Ловушку устанавливают в вакуумну 1 олинию, соединяющую реципиент с форвакуумным насосом (нс показан). Перед вклю чением форвакуумного насоса в ловушкузаливают хладагент, например, жидкий азот, и включают...
Предыдущий патент: Электродинамический компрессор
Следующий патент: Объемный насос
Случайный патент: Пластинчатый теплообменник