Вакуумная установка
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛ ИСТИЧЕСМИХРЕСПУБЛИК 7 14 А ИЙПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ: енов пленок стве дного рфирмы ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) 1. Изготовление тонк в исследовании и в произв Универсальная система кат пыления А 550 ЧЕК. Проспект1,еуЬо 1 Й-Негаеиз 12. С 2. 110(54) (57) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, содержащая последовательно подключенныек откачиваемому объекту посредствомзатвора криогенный насос-ловушку,высоковакуумный и форвакуумный насосы, о т л и ч а ю щ а я с я тем,что, с целью повышения скорости откачки, насос-ловушка закреплен назатворе.11214 Составитель О.ТишинаРедактор Л.Авраменко Техред С Легеза Корректор М,Леонтюк Заказ 7953/29 Тираж 623 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к вакуумнойтехнике.Известна вакуумная установка, содержащая последовательно подключенные к откачиваемому объему посредством затвора криогенный насос, ловушку высоковакуумный и форвакуумныйнасосы 1,Однако такая установка характеризуется недостаточно вЫсокой скоростью 10откачки, так как отверстие, соединяющее рабочую камеру с откачной системой, понижает быстроту действиякриогенного насоса-ловушки из-засвоей ограниченной проводимости, 15Цель изобретения " повьппение скорости откачки.Указанная цель достигается тем,что .в вакуумной установке, содержащей последовательно подключенные к 20откачиваемому объему посредствомзатвора криогенный насос-ловушку,высоковакуумный и форвакуумный насосы, насос-ловушка закреплен на затворе, 25На чертеже изображена предлагаемаяустановка.Вакуумная установка содержит последовательно подключенные к откачиваемому объему 1 посредством затвора З 02 криогенный насос-ловушку 3, высоковакуумный и форвакуумный насосы 4 92 2и 5, Насос-ловушка 3 закреплен на затворе 2.Насос-Ловушка 3 установлен на затворе 2 через теплоизьлятор 6. Через гибкие трубопроводы 7 к насосу-ловушке 3 подводится и отводится хлад- агент. На затворе 2 имеются ограничи,тели 8 и 9.Вакуумная установка работает следующим образом.Запускают форвакуумный насос 5 и после достижения определенной степени вакуума запускают высоковакуумный насос 4, Затем откачивают объем 1 до давления 1-10 ПА, через один из трубопроводов 7 заполняют криогенный насос-ловушку 3 хладагентом. Затем открывают затвор 2, и насос- ловушка 3 вносится в объем 1, понижая давление в нем с высокой скоростью. Теплоизолятор 6 предохраняет запорный орган затвора 2 от переохлаждения. Ограничители 8 и 9 позволяют избежать чрезмерного качания затвора 2, предотвращая касание насоса-ловушки о внутренние поверхности объема 1.Таким образом, предлагаемая установка позволяет повысить скорость откачки за счет повьппение проводимости в процессе высоковакуумной откачки.
СмотретьЗаявка
3562283, 09.03.1983
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7873
ПЕЧЕНКИН ВЛАДИМИР АЛЕКСЕЕВИЧ, БАЖЕНОВ ЮРИЙ ГЕННАДЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: F04B 37/14
Метки: вакуумная
Опубликовано: 30.10.1984
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1121492-vakuumnaya-ustanovka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумная установка</a>
Предыдущий патент: Электродинамический компрессор
Следующий патент: Объемный насос
Случайный патент: Пластинчатый теплообменник