Термопарный вакуумметр

СОЮЗ СОВЕТСКИХШЮЪЮВЯЕСиНПРЕСПУБЛИК 05 А ОЮ И 1)ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯИ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГосудАРстВенн 11 Й комитет сссРпо делдм изовРетений и отнРытий(71) Московский ордена Трудового Красного Знамени физико-технический институт(56) 1. Востров Г,А., Розанов Л.Н. Вакуумметры. Л., ".Машиностроение",1967, с 80, рис. 3-19.2, Авторское свидетельство СССР В 544882, кл. С О 1 Ь 21/14, 1975,(54)(57) ТЕРМОПАРНЫЙ ВАКУУММЕТР, содержащий нагреватель, соединенный с термопарой, подключенной одним концом З(511 С 01 Ь 21/14// С 01 Ь 21/10 к одному входу дифференциального усилителя непосредственно, а другим,концом к другому его входу через источник опорного напряжения, и амперметр, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью расширения диапазонаизмеряемых давлений путем повышениячувствительности при низких давлениях, в него дополнительно введеныуправляемыч источник тока, подключенный через амперметр к нагревателюи соединенный управляющим входом свыходом дифференциального усилителя,и источник тока смещения; подключенный непосредственно к нагревателю исоединенный встречно-параллельно суправляемым источником тока,эких давограничеостью в ьш ь мых давл тельност Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения давления газовв вакуумных установках.Известны термопарные вакуумметры, 5 содержащие нагреватель, соединенный с термопарой, источник тока через амперметр, подключенный к нагревателю, и вольтметр, подключенный к термопаре 13. ОНедостатком таких устройств является трудоемкость процесса измерения давления, обусловленная ручной регулировкой тока через нагревательв зависимости от показаний вольтметра. 5Известен термопарный вакуумметр, содержащий нагреватель, соединенный с термопарой, подключенной к дифференциальному усилителю одним концомк одному его входу непосредственно, 20 а другим - к другому его входу через источник опорного напряжения и амперметр 2).Область измерения ни лений известного вакуумме 1 ра на 25 его низкой чувствительн этой области, вследствие бол ого начал " ного тока, протекающего в нагревателе.Целью изобретения является расширение диапазона измеряе ений путем повьппения чувстви и при . низких, давлениях.Поставленная цель достигается тем, что в термопарный вакуумметр, содержащий нагреватель, соединенный с термопарой, подключенной одним концом к одному входу дифференциального усилителя непосредственно, а другим концом к другому его входу че 40 рез источник опорного напряжения, и амперметр, дополнительно введены управляемый источник тока, подключенный через амперметр к нагревателю, и соединенный управляющим входом с45 выходом дифференциального усилителя, и источник тока смещения, подключенный непосредственно к нагревателю и соединенный встречно-параллельнос управляемым источником тока.На чертеже приведена блок"схема термопарного вакуумметра.Термопарный вакуумметр содержит нагреватель 1, соединенный с термопарой 2, подключенной к дифференциальному усилителю 3 одним концом к одному его входу (инвертирующему) неИ 1 ИИПИ Заказ 6758 28Филиад ШШ %абсент , г,Упосредственно, а другим концом к другому его входу (неинвертирующему) через источник 4 опорного напряжения, Управляемый источник 5 тока подключен через амперметр 6 к нагревателю 1, а управляющим входом непрсредственно - к выходу усилителя 3. Источник 7 тока смещения подключен к нагревателю 1 и встречно-параллельно к управляемому источнику 5 тока.Устройство работает следующим образом.При изменении давления газа напряжение на термопаре 2 сравнивается с опорным напряжением источника 4. Разница напряжений между ними усиливается усилителем 3, поддерживая напряжение на термопаре 2 постоянным за счет управления током накала нагревателя 1 с помощью источника 5 тока. Ток через нагреватель 1 приэтом описывается зависимостью"нД/ ЬЛгде р - давление газа в вакуумметре;1- ток, протекающий через нагреватель;1 О- начальный ток, протекающийчерез нагреватель при давле"нии меньшем 10мм.рт.ст.; Н и с - постоянные, зависящие отрода газа.Источник 7 тока смещения пропускает через нагреватель постоянный ток, равный 1, . Таким образом, измеряемый ток, регистрируемый амперметром 6 нах ится и ависимости 1 где 1 - измеряемый ток Ток, измеряемый амперметром 6,служит мерой давления газа,Введение источника 7 тока смещения позволяет увеличить крутизнухарактеристики преобразования вакуумметра, а следовательно, чувствительность и нижнюю границу измеряемыхдавлений приблизительно доОмм, рт. ст,Применение управляемого источника позволяет расширить рхк диапазон измеряемых давлен автоматической установки н ого тока накала нагревателя Кроме того, предлагаемое ус допускает использование в н бхое д йст м теп етрическ преобразователеивакуумметров разлгальванической свягревателем,так и беПрописное ичныхзью электрически типов: как с термопары с н Тираж 822 д, ул,П