Регулятор расхода

(19) (И) З(59 б 052 7 ЕНИЯ УДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕ Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) 1, Авторское свидетельство СССР237410, кл ч 05 В 7/00, 19672. Подрешетников В.Аи Плотников В.М. Детали и узлы пневматических релейных устройств. М , "Машиностроение, 1972, с. 43, рис. 24 о, (прототип).(54)(57) РЕГУЛЯТОР РАСХОДА, содержащий корпус с входным и выходным патрубками и установленным внутри между ними эластичным трубчатым затвором, образующим со стенками корпуса управляющую камеру, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения области применения и .повышения надежности регулятора внутри эластичного трубчатог . затвора установлен цилиндрический стержень, при этом . , 3-т, 8 оо; В 1), где 0 - радиальный зазор между эластичным трубчатым затво" ром и цилиндрическим стержнем/ - толщина эластичного трубчатого затвора, Э - внутренний диаметр эластич)ного трубчатого затвора, Е- длина эластичного трубчатогзатвора,.Изобретение относится к арматуростроению, а именно к регуляторамрасхода газа в технологическом оборудовании для производства полупроводниковых приборов,Известен регулятор расхода, 5состоящий из .эластичной трубчатоймембраны и устройства для управления мембраной в виде беличьегоколеса с подвижными кольцами, изме"няющего проходное сечение регулято.ра расхода 1 .Недостатком этого регулятораявляется огрЪличенная область применения ввиду узкого диапазона регулирсвания и малая надежность.Наиболее близким по техническойсущности к изобретению являетсярегулятор расхода, содержащий кор"пус с входным и выходным патрубками с установленным внутри междуними эластичным трубчатым затвором,образующим со стенками корпусауправляющую камеру 2,Недостатком известного регуля"тора является то, что при большихрасходах с его помощью не удается,полностью перекрыть канал для прохода регулируемой среды, так как призначительной деформации мембраны наее поверхности образуются продольныескладки, т,е. остаются утечки,составляющие часть максимального расходасреды через регулятор, Кроме того,фЬти утечки ограничивают область применения регулятора относительно большими расходами и снижают его диапазон регулирования.Целью изобретения является расширение области применения и повышениенадежности регулятора.Поставленная цель достигается тем,40что в регулятор расхода, содержащийкорпус с входным и выходным патруб-,ками и устайовленным внутри между ними эластичным трубчатым затвором,образующим со стенками корпуса управляющую камеру, внутри эластичноготрубчатого затвора установлен цилиндрический стержень, при этомс6- О,2 50Цдгде 6 - радиальный зазор междуэластичным трубчатым затвором и цилиндрическим стерж. немфЭтолщина эластичного трубчатого затвора,"Ф2 - внутренний диаметр эластичного трубчатого затвора,- длина эластичного трубчатого затвора.На чертеже показан регулятор расВНИИПИ Заказ 496 41филиал ППП Патент", г. Регулятор содержит корпусс входным 2 и выходным 3 патрубками и установленным внутри между ними эластичным трубчатым затвором 4, образующим со стенками корпуса 1 управляющую камеру 5, заполненную жидкостью,Внутри эластичного трубчатого затвора 4 установлен цилиндрический стержень б, закрепленный на стойке 7. Управляющая камера 5 содержит управляющий поршень 8. Геометрические параметры регулятора расхода выбраны такимобразом, что 84;6 о,я,ео,где 3 - радиальный зазор межд,.эластичным трубчатым затвором 4 и цилиндрическимстержнем б,толщина эластичного трубчатого затвора 4,2 - внутренний диаметр эластичного трубчатого затво"ра 4 ф- длина эластичного трубчатого затвора 4.Регулятор расхода работает следующим образом.При создании давления в управляющей камере 5 с помощью перемещенияуправляющего поршня 8 во внутрь камеры 5, эластичный трубчатый затвор 4начинает выпучиваться в сторонуцилиндрического стержня б, перекрывая,таким образом, радиальный зазор 3 и уменьшая расход среды.Если геометрические размеры регу"лятора выбраны описанным образом,то при обжатии цилиндрического стержня б эластичный трубчатый затвор 4не собирается в продольные складки,и регулятор расхода надежно перекрывает проходное сечение.При отсасывании жидкости из управляющей камеры 5 путем перемещения управляющего поршня 8 наружу регулятора эластичный трубчатый затвор 4прижимается к стенке корпуса 1;и открывается проходное сечение регулятора.Предлагаемый регулятор расхода позволяет расширить диапазон регулирования в сторону меньших расходов за счет уменьшения утечек в закрытом положении, увеличить соотношение максимального расхода к минимальному, что особенно важно для автоматических регуляторов расхода, используемых для некоторых технологических процессов. Кроме того, такая конструкция позволяет снизить непродуваемые объемы регулятора, что,существенно для чистоты технологических сред полупроводникового производства,Ти аж 842 По писноеужгород, ул. роектнаЫ,.