Датчик свч мощности

СОЮЗ СОЕЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1191 (11) 315 И 6 01 1 21/12 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО.ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71 ) Куйбышевское производственное объединение "Завод им. Масленникова" и Куйбышевский государственный университет(56 ) 1, Гашка К Репшас К. Физическая электроника. Материалы докладов и конференций по внедрению результатов НИР в вузах Литвы. Каунас, 1973, с.162-166,2. Кемарский В.А., Любченко В.Е, Физика и техника полупроводников 1975, т.9, вып.12, с.2306(прототип). (54 )(57 ) ДАТЧИК СЫЧ МО 1 цНОСТИ, содержащий отрезок прямоугольного волновода, внутри которого размецен полупроводниковый элемент с омическими контактами,о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения чувствительности и точности полупроводниковый элемент выполнен из монокристаллической пластины толщиной 1:, равной (0,05-0,1) а и длиной не более 1/2 3 , рабочие поверхности которой выполнены в виде приповерхностных, например легированных слоев толщиной, составляющей (0,02-0,118,соединенных последовательно между собой, при этом удельная проводимость укаэанных приповерхностных слоев превышает не менее, чем в 10 раз удельную провогдимость материала монокристаллической пластины, где С - ширина от.резка прямоугольного волновода, - длина рабочей волны.1062617 Составитель Г. СтепаненкоРедактор Н. ВОБКОВа Техред Л,Иикеш Корректор О. Ви 1 ак Заказ 10212/46 Тираж 710 Подпи сн Ое ВНИП Государствнного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, ИОква, ,К, Раушская наб., д, 45Филиа 1 ППП Пат 11 т р 1. Ужг 0 ОД, улПроектна 1,. 4 Изобретение относится к техникеизмерений на СВЧ,Известен датчик СВЧ мощности,содержащий полупроводниковый чувствительный элемент с двумя контактами, помещенный в волновод 11,Недостатком этого датчика СВЧмощности является низкая чувствительность за счет большой толщины,Кроме того, помещение чувствительного элемента в волновод искажает 10распределение поля и увеличиваетпогрешность измерений.Наиболее близким к изобретениюявляется датчик СВЧ мощности, содержащий Огрезок прямоугольноговолновода, внутри которого размещен полупроводниковый элемент сомическими контактами 2 .Однако известный датчик СВЧ мощности имеет низкую чувствительностьИ ТОЧНОСТЬ,Цель изобретения -. повышениечувствительности и Точности,Поставленная цель достигаетсятем что В Датчике СВЧ мощнОсти 25содержащем отрезок прямоугольногоВОЛ 11 овода, внутри которого размещенполупроводниковый элементс Омическими контактамиПОлупрОВОдниковый элемент выполнен иэ монокристаллической пластины, толщи 1:ОЙ (, р равной (005 в 0,(.1 и ДлинОйне более 1/2 Л, рабочие поверхностикоторой Выполнены в виде приповерхностнь 1 х например легированн 11 х слоевтолшиной, составляю ей О, 02-0,1) 0с(единнных последов атель но между соБО" при этом удельная проводимость, каза 11 ных приповерхностных:слоев преВьюает не менее, чем в 10 раз удельную проводимость материала монокрис фо таллической пластины, где Ф - ширинаотрезка прямоугольного волновода,длина рабочей волны,На чертеже приведена конструкциядатчика СВЧ мощности.Датчик СВЧ мощности содержит отрезок прямоугольного Волновода 1,внутри которого размещен полупроводниковый элемент 2 с омическими контатами 3, причем полупроводниковый элемент 2 выполнен из монокристалличес=кой пластины 4, рабочие поверхностикоторой выполнены в ниде приповерхностных слоев 5.Датчик СВЧ мощности работает следующим образом,Полупроводниковый элемент 2помещают в отрезок прямоугольноговолновода 1 через неизлучающую щельтак, что направление распространенВолны параллельно плоскости рабо нхповерхностей полупроводникового элсмента 2, причем приповерхност,ыслои 5 находятся в псле электромагнитной волны,. а омические контакты3 расположены з;-., пределам:; отрезкапрямоугольного Волновода 1. РрипоВерхностные слои 5 соедн 11 ны междусобой последовательно, и при паДенни электрсмагнитнОЙ ВОлны СВЧна полупроводниковом элементеводится ЗДС, снимаемая с оми,ескнхкОнтактОВ 3, кОтОрая пропорциональна плотности потока СВЧ мощностиНаличие в предлагае 1 лом датчикСВЧ мощности тонких легированньп".слоев и их последовательное соединение дает возможность повьсить чувствительность датчика,. точностьи надежность при это 11 олупроВОдн 11 ковйй элемент такой конструкциидает малое искажение ка;у:И 1- -.олл.