Способ измерения перемещений

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН 11 ОО а 01 В 11 М 59 6 ПО ДЕОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯВИДЕТЕЛЬСТВУ к двтоен с, 150 151 (прототип) . СОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕ- ающийся в том,что формированный пучок света, го на растровое сопряжем к плоскости и регистри-. ь пучка, прошедшего сокоторой судят об отноостранственной фазе об 1 (54) (57) . СП НОЙ, заключ руют коллими "направляют ние под угл Руют мощнос ,нряжение, и сительной п УДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Вильнюсский филиал Экспериментального научно-исследовательскогоинститута металлорежущих станков (53) 531.71531.14: 531. 7171 (0888) (56) 1. Фотоэлектрические преобразователи информации . Под ред. Л.М.Йреснухина. М., 1 Машиностроениеф, 1974,разующих сопряжение растров и определяют контролируемый параметр, о т, л и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью измерения также и измененийзазора между растрами, формируют дополнительный коллимированный пучоксвета, направляют его на тот жеучасток растрового сопряжения, чтои основной, под углом к плоскостисопряжения, отличным от угла, подкоторым направляют основной пучок,оси пучков располагают в плоскости,нормальной к плоскости сопряженияи штрихам первого по ходу пучковрастра растрового сопряжения, регистрируют мощность дополнительногопучка, прошедшего сопряжение, по которой судят от относительной пространственной фазе образующих сопряжение растров, и по значению изменений разности фаз судят об изменении зазора,сгде М- изменение зазора междурастрами;ЬФ- изменение разности фаз,рад.На чертеже изображена схема, поясняющая способ измерения перемещений,Она содержит осветители 1 и 2,растры 3 и 4, фотоприемники 5 и б,блок 7 обработки сигналов.Способ осуществляется следуюшжм.образом.формируют с помощью осветителя1 коллимированный пучок света, наЗО правляют его на растровое сопряжение,образованное растрами 3 и 4, подуглом 90 - с ) к плоскости сопряжения и регистрируют фотоприемником б мощность пучка, прошедшего35 сопряжение, по которой судят об относительной пространственной Фазе(образующих сопряжение) растров 3и 4 и определяют контролируемый па.,раметр в блоке 7 обработки сигналов,4 формируют с помощью осветителя 2 до 0полнительный коллимнрованный пучоксвета, нарпавляют его на тот жеучасток растрового сопряжения, чтои основной, под угломк плоскос 4 тн сопяжения, отличным от угла, подкоторым направляют основной пучок,оси пучков располагают в плоскости,нормальной к плоскости сопряженияи штрихам первого по ходу пучковрастра 3 растрового сопряжения, ре-,50 гистрируют фотоприемником 5 мощностьдополнительного пучка, прошедшегосопряжение, по которой судят от отндсительной пространственной Фазеобразующих сопряжение растров 3 и 4,55 и по значению изменений разностифаз судят об изменении зазора,Таким образом, формирование дополнительного коллимированного пучкасвета, направляемого под углом крастровому сопряжению, и регистрация мощности пучка, прошедшего сопряжение, позволяет измерять такжеи изменение зазора между растрами.Тираж 602 Подписное.Ужгород,ул.Проектная,Ч Изобретение относится к контролно-измерительной технике и можетбыть использовано, в частности, длЗизмерения торцевого биения растроВых мер при сборке и юстнровке измерительных преобраз ователей линейных и круговых перемещений.Наиболее близким по техническойсущности и достигаемому результатук изобретению является способ измерения перемещений, заключающийся в,том, что формируют коллимированный;пучок света, направляют его на раст,.-ровое сопряжение под углом к плоскости сопряжения и регистрируют мощностьпучка, прошедшего сопряжение, по ко.торой судят об относительной пространственной Фазе образующих сопракение растров и определяют контролируемый параметр.11.Недостатком известного устройства является отсутствие информацииоб изменениях зазора межДУ Растрами,что вызывает трудности при сборке июстировке измерительных преобразователей перемещений,Цель изобретения - измерение также и изменений зазора между растрамиЭта цель достигается тем, чтов способе измерения перемещений, заключающемся в том, что формируют коллимированный пучок света, направля-ют его на растровое сопряжение подуглом к плоскости сопряжения и регистрируют мощность пучка,прошедшего сопряжение, по которой судят оботносительной пространственной Фазеобразующих сопряжение растров и определяют контролируемый параметр,формируют дополнительный коллимированный пучок света, направляют егона тот же участок растрового сопряжения, что и основной, под угломкплоскости сопряжения, отличным отугла, под которым направляют основной пучок, оси пучков располагаютв плоскости, нормальной к плоскостисопряжения и штрихам первого по ходупучков растра растрового сопряжения,регистрируют мощность дополнительного пучка, прошедшего сопряжение,по которой судят от относительнойпространственной фазе образующихсопряжение растров, и по значениюизменений разности фаз судят об изменении зазора.Сущность способа заключается вследующем.Направляют на один и тот же участок растрового сопряжения два световых пучка, Один из которых составляет угол о с нормалью ы плоскости сопряжения, а другой - уголд Прошедшее растровое сопряжениеизлучение от каждого из пучков регистрируют, отдельным фотоприемником.ВНИИПИ Заказ 437534Филиал ППП "Патент", г. Если зазор" между, растрами являет.ся неизменным, то при перемещенииподвижного растра в плоскости сопряжения на выходах фотоприемниковформируются периодические сигналыс фиксированной разностью фаз. Приизменении зазора между растрами,имеющими шаг, равный Т, изменятсяначальные фазы выходных сигналов топриемников и, соответственно, раэ10 ность Фаз между этими сигналами.Изменение зазора можно определитьиз выражения