Способ получения растра пучка заряженных частиц

О П И 3 А"Н И Е н 11 469 Б 9 Союз Советских Социалистических Республик(53) УДК 621.384(088.8 ликовано 30.04,75. Бюллетень16 по делам изобретений и открытий. Ма 1) Заявитель ПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РАСТРА ПУЧКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ осУдаРственный комитет (23) Приоритовета Министров СССР Изобретение относится к области электро- вакуумных приборов и может быть применено для получения растра в электронно-лучевых приборах.Известны электронно-оптические способы фокусировки и развертки электронного зонда, которые реализуются в системах с пространственно разделенными электронно-оптическими элементами, При этом, если фокусирующий элемент - линза предшествует отклоняющей системе перед плоскостью изображения, то в системе нельзя получить малый рабочий отрезок и большое уменьшение источника, как это имеет место в кинескопах. Если же линза расположена между отклоняющей системой и плоскостью изображения, то размытие зонда и искажения растра, обусловленные, главным образом, сферической аберрацией, ухудшают качество растра и сильно ограничивают поле зрения. В фокусирующе-отклоняющих системах передающих телевизионных трубок, где фокусирующая система расположена над отклоняющей системой, на краю поля зрения возникает изменение нормальной составляющей скорости электронов в несколько вольт.Цель изобретения - уменьшение диаметра зонда и дисторсии раствора в плоскости изображения, а также повышения мобильности управления раствором.Для этого фокусировку и развертку пучка осуществляют одновременно, причем через квадрупольный дублет одновременно пропускают постоянный ток для фокусировки пучка и переменный ток - через первый квадруполь 5 для развертки пучка и через второй квадруполь для свертки растра.На чертеже изображена одна из возможныхсхем прибора, осуществляющего предлагаемый способ.О Схема содержит первый квадруполь 1, второй квадруполь 2 электронную пушку (источник электронов) 3, меридиональные обмотки 4 квадруполей, сагиттальные обмотки 5 квадруполей, магнитопроводы 6 квадруполей, 5 плоскость изображения 7, электронный пучок8, главную траекторию 9 электронного пучка.При подаче на квадруполи 1 и 2 постоянного напряжения пучок 8, выходящий из электронной пушки 3, фокусируется квадруполь- О ным дублетом в плоскости изображения 7.При этом главный луч пучка совпадает с оптической осью фокусирующего дублета. Плоскость чертежа является рассеивающей плоскостью для квадруполя 1 и собирающей пло скостью для квадруполя 2. При подаче наодну или обе пары катушек квадруполя отклоняющего тока, что соответствует уменьшению тока в одной катушке и одинаковому увеличению тока в противоположной катушке той 0 же пары, фокусирующие свойства квадруполяСоставитель Н, Алн 1 оваТскред Е. Гвд,руинна Корре.-,ор Н, Стелв 1 ак Реда то Е. 1 следа твд. Ъ:.оо Тира.к 833 Полисвое ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по дсл.л ИЗОпрстси 5 и Оскрап ийТнпографи.", пр. Сапунова, 2 в параксиальном приближении не меняются. Поэтому, подавая переменный отклоняющий ток на обмотки квадруполя 1, получают в плоскости изображения 7 сфокусированный сканирующий пучок. При этом формат растра, определяемый амплитудой переменного отклоняющего тока в квадруполе 1, изменяется совместным фокусирую щим действием постоянных полей квадруполей 1 и 2. Это изменение исправляют подачей на катушки 4 и 5 квадруполя 2 помимо фокусирующего постоянного тока переменных отклоняющих токов с соответственно выбранными амплитудами. Выбором соотношения амплитуд отклоняющих токов, подаваемых на обмотки квадруполей 1 и 2, осуществляют управление растром, а именно форматом растра и сверткой растра, Например, получают свертку растра в действительной точке оси пространства изображения, или получают телескопическую развертку, при которой главная ось траектории 9 пучка в пространстве изображений в каждый данный момент времени остается параллельной оси системы. Независимо от характера развертки электронный пучок остается сфокусированным в плоскости изображения 7. Практически способ может быть осуществлен как в системе из двух магнитных квадруполей, так и в системе из электростатических квадруполей.Совмещение фокусировки и отклоненияобеспечивает получение зонда и растра с параметрами лучшими, чем в системах, где фокусировка и отклонение пространственно разделены как для коротких, так и для длинных 10 рабочих отрезков. Предмет изобретенияСпособ получения растра пучка заряженных частиц, основанный на фокусировке и 15 развертке пучка с помощью квадрупольныхэлектронно-оптических элементов, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью уменьшения диаметра зонда и дисторсии растра в плоскости изображения, а также повышения мобильности уп равления растром, фокусировку и разверткупучка осуществляют одновременно, причем через квадрупольный дублет одновременно пропускают постоянный ток для фокусировки пучка и переменный ток - через первый квад руполь для развертки пучка, а через второйквадруполь для свертки растра.