Номер патента: 1016571

Авторы: Левченко, Манянин, Прокопенко

ZIP архив

Текст

(50 Г 04 Г 9/О Й САНИЕ ИЗОБРЕТЕН мому вате фузи объему вакуум-проводльно установленными н онным и форвакуумным и форбаллоном, о т л и ч с я тем, что, с целью расш пазона работы и повышения ности, форбаллон устаяовл диффузионным насосом, а.в вод снабжен затворами, ра ми на входе и выходе форб подсоединенным к вакуумраллельно первому по ходу емого газа затвору обводны Ьопроводом с регулирующим лабо- Атом одер"ваеЭф ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНР Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ1016571 Составитель О, ТишинаТехред О.Неце Корректор Г, Решетник Редактор Р, Цицика Заказ 335 М 37 Тираж 665 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5 Филиал И 1 П "Патентф, гУжгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к вакуумнойтехнике,Известна вакуумная система, содер- .жащая подсоединенный к откачиваемомуобъему вакуум-провод с последовательно установленными на нем диффузионным и форвакуумным насосами и форбаллоном 1 .Согласование рабочих характеристик форвакуумного и диффузионногонасосов в значительной мере усложняется при откачке паров, например, криогенных жидкостей с изменяющимися скоростями испарения, а также при проверке на течь вакуумных систем,15В этом случае возможны режимы,когда быстрота откачки установленного форвакуумного насоса при опре;,.деленном давлении перед диффузионным насосом меньше необходимой быстроты откачки, вызванной испарениемоткачиваемой жидкости, Известная схема не позволяет обеспечить возможность включения диффузионного насоса на давление, превышающее его начальное давление в 5-10 раз,В известной системе согласование режимов достигается за счетустановки более мощного форвакуумного насоса, а также за счет установки диффузионных насосов с большим начальным давлением.Целью изобретения является рас"ширение диапазона раЬотй и повышениеэкономичности. 35Указанная цель достигается тем,что в вакуумной системе , содержащей йодсоединенный к откачиваемомуоЬъему вакуум-провод с последовательно установленными на нем диффузионным и Форвакуумным насосами иФорбаллоном, форбаллон установлен. перед диффузионным насосом, а вакуум-провод снабжен затворами, расположенными на входе и выходе форбаллона, и подсоединенным к вакуумпроводу параллельно первому по ходу откачиваемого газа затвору обводным трубопроводом с регулирующимвентилем,На чертеже изображена схема рписываемой вакуумной системы.Вакуумная система содержит подсоединенный к откачиваемому объему1 вакуум, провод 2 с последовательно установленными на нем диффузионным и форвакуумным насосами 3 и 4и форбаллоном 5 . Форбаллон 5 установлен перед диффузионным насосом 3,а вакуум-провод 2 снабжен затворами6 и 7, расположенными на входе и выходе форбаллона 5, и подсоединеннымк вакуум-проводу 2 параллельно первому по ходу откачиваемого газа затвору 6 обводным трубопроводом 8 с регулирующим вентилем 9.Кроме того, вакуумная системаснабжена вентилями 10-12;Описываемая система работаетследующим образом,Сначала форвакуумным насосом 4производится предварительная откачка диффузионного насоса 3 и форбаллона 5, Затем при закрытом затворе7 откачивается объем 1. При достижении насосом 4 предельного давлениязакрываются вентили 10 и 11, и открывается вентиль 12, затвор 7 и регулирующий вентиль 9.Вентиль 9 открывается так, чтона входе в диффузионный насос 3поддерживается постоянное давление,равное начальному,После того, как в объеме 1 будетдостигнуто давление, равное начальному, открывается затвор 6, и откачка производится обычным образом,Описываемая система позволяет расширить диапазон использования диф"фузионных и форвакуумных насосов иприменять их при откачке объемов сдавлением, превышающим начальное давление диффузионных насосов,

Смотреть

Заявка

3311479, 29.06.1981

ДОНЕЦКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ АН УССР

ЛЕВЧЕНКО ГЕОРГИЙ ГЕОРГИЕВИЧ, МАНЯНИН ГЕННАДИЙ НИКОЛАЕВИЧ, ПРОКОПЕНКО АЛЕКСАНДР КИРИЛЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04F 9/02

Метки: вакуумная

Опубликовано: 07.05.1983

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1016571-vakuumnaya-sistema.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумная система</a>

Похожие патенты