Способ контроля оптических деталей

СОЮЗ СОВЕТСНИХааициРМепикРЕСПУБЛИК 0 01 8 11 ЗОБРЕТЕк ЕЛЬСТВУ ВТОРСНОМУ С и а гов расного Знадых матеР телконниям.с о Теорая шко тнчаф1 н рантика оптиаборатории,1974, с.85-86 лЪ= --Ь 2ь е СОБ КОНТРОЛЯ О ючающийся в то нохроматическо ль, получают и ну, измеряют умя интерференц которому судят ТИЧЕ м, чт нзл терф асст онным о клИ от плоскостност тролируемой дет аЪ - отклонениеЭ " диаметр коли фи - показат; где ренЯи преломлолирумонония. я яате- Сдетали;тичес- а ель риала контр длина волны кого излуче ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ,мени институт сверхтвериалов АН Украинской С(прототип).54)(57) СПОДЕТАЛЕИ; эаклнаправляют мочение на детационную картиние между двполосами, по.80.1 013754 А ости детали, о.т л и ч а юй с я тем, что, с целью расйи я функциональных возможностей чет контроля также и неплоскос и деталей, излучение последова но направляют в центр и на край ролируемой детали, и по рассто между интерференционными поло-полученным при отражении луч ентраи от края Е контроли ой детали, определяют величину оскостности из соотнсяаения1013754 Лфкл= гнЕ,Составите Техред Ж. Редактор Т. Киселева Заказ 2999/48 Тираж 600 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москвд, Ж, Раушская наб д, 4/5Филиал ППП фПатент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и можетбысть использовано, в частности, для.контроля клиновидности и плоскостности оптических деталей из стекла,кварца и других материалов.Известен способ контроля клинообразных пластин, заключающийся втом, что монохроматическое излучение направляют на пластину, получаютв .отраженном свете интерференционные полосы, по расстоянию между которыми судят о ее клиновидности 1 .Недостатками способа являются не,воэмбжность определения плоскостности поверхностей пластины и невозможность контроля пластин, поверхностикоторых имеют отклонения от плоскостности.Наиболее близким по техническойсущности к изобретению является способ контроля оптических деталей,заключающийся в том, что направляютмонохрояатическое излучение на деталь,получают интерференционную картину,измеряют расстояние между двумя ин- ,25терференционными полосами, по которо-.му судят о клиновидности детали 2Недостатком известного способаявляется невозможность контроля не"плоскостности оптических деталей. 30Целью изобретения является расширение функциональных возможностей засчет измерения также и неплоскостности деталей.Указанная цель достигается за счетз 5того, что согласно способу контроля.оптических деталей излучение последовательно направляют в центр и накрай контролируемой детали, и по рас",стояниям между интерференционными 40полосами, полученным при отражениилучей от центра Р и от края Ря контролируемой детали, определяют величи"ну неплоскостности из соотношенияй 4 )где ЬЪотклонение от плоскостности;Э " диаметр контролируемой детали; 50и - показатель преломления материала контролируемой детали;Ъ - длина волны монохроматического излучения,На чеРтеже представлена схема Устройства, реализующего способ контроляоптических деталейСпособ осуществдяется следующим образом.Световой поток от источника 1 света (лазера) проходит через телескопическую систему 2 и направляется на поверхность контролируемой детали 3, Отрааившись от обеих поверхностей контролируемой детали 3, два пучка интерферируют и образовывают интерференционные полосы равной толщины на экране 4. Расстояние между полоса" ми не зависит от места их наблюдения. Наложение интерферирующих лучей обеспечивается очень малым углом падения их на контролируемую поверхность детали 3 и.достаточно большой шириной их пучка.В начале лучи направляют в центр контролируемой детали 3 и измеряют расстояние между полосами интерференции, Это расстояние определяется величиной клина детали и равно 2 . Тогда величина клиновидности д% детали на ее диаметре Э определяется по фор- муле где о - показатель преломления материала детали,Затем лучи направляют на крайконтролируемой детали 3. Расстояниемежду полосами интерференции в этомслучае Р определяется не толькоклиновидностью контролируемой детали,3, но и неплоскостностью ее поверхностей, Отклонение от плоскостности,поверхностей, контролируемой детали3 определяется по формуле Такий образом, при направлении лучей на различные участки поверхности оптической детали, находящиещ ся на разном удалении от ее центра, расстояние между образукщимися при этом интерференционными полосами изменяется, причем минимальное расстояние соответствует 1 , а максималэ ное Йй,придавая указаннйй смысл ЮО и Ий устраняют необходимость точного определения центра и края на контролируемой детали, что в итоге позволило контролировать не только клиновидность, но и неплоскостность детали, определяемую по указанной выше зависимости.ль Н. ЗахаренкоКастелевич Корректор Е.Рошко