Способ получения отверстий в стеклоизделии

(19) (И) 84 С 03 0 РЕТЕНИЯ ОПИСА ОМУ СВИ ЬСТВ Н АВТОР и на об амаловой приоизи кие операции водятся с ис Остальное.я фоторезиста. равит СУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИИ ГКНТ ССОР(56) Авторское свидетельство СССРВ 325224, кл . С 03 С 15/00, 970.Авторское свидетельство СССРВ 703513, кл. С 03 С 15/00, 1977Изобретение относится к собработки стеклообразных матдля получения отверстий разликонфигурации. В настоящее время при изготовлении и эксплуатации опытных иаучно-иссле-. довательских установок, различных приборов и электронных устройств с применением стекла возникает необходимость получить в стеклянных изделиях отверстия, проемы, окна, не прибегая к высоким температурам (близк м к температуре плавления стекла) и механическим воздействиям, например, сверлению и таких агрессивных веществ, как плавиковая кислота Тав настоящее время проиэпользованием различных(54)(57) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОТВЕРСТИЙСТЕ 1 ПОИЗДЕПИИ с использованием ак тивного агента, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью упрощения способа и обеспечения возможности изготовления отверстий в стеклянныхиэделиях, в которых использован алю"миний и лаки на основе высокомолекулярных соединений, в качестве активного агента применяют 15-краунили18-краунили дибенэо-краун эфир, которые наносят в виде расплава на часть поверхности стеклоизделияохлаждают до тверцого состояния и механически продавливают или прорезаютотверстие через слой краун-эфира. Известен травильиый раствор,меняемый в полупроводниковом прводстве, который включает, вес.Х:НГ 15-185-18 1, 5-деФинилтио. -карбазон 0,0015-0,0035Вода 63 у 9 699Наиболее близким к изобретениюпо технической сущности и достнга"емому результату является способ получения отверстий в стекле, включающий очистку поверхности стекла, нанесения. слоя фоторезиста, получениена нем контура рельефа, травление врастворе, включакц(ем, вес,Х:НР. В 9-32ЫН,(.У 19-32и удаление сло1010815Известные способы имеют существенные недостатки.1. В составе всех травителей входитт сильная кислот а НР, что требу етбольшой осторожности при хранении ииспользовании травильных растворов, .2. Для изготовления отверстий встеклянных иэделиях для электроники,в которых имеются алюминиевые деталии используются лаки на основе высокомолекулярных соединений (например,нафтохинондиазидсульфоэфирный лак)применять эти травильные растворынельзя, так как алюминий достаточнобыстро растворяется в них, а лак, используемый в фоторезистах, разрушает"ся.3, Сложность способа получения отверстий заключающаяся в необходимостинанесения защитных покрытий, а затемв удалении их.Дель изобретения - упрощение способа и обеспечение воэможности изготовления отверстий в стеклянных изделиях, в которых использован алюми-;ний и лаки на основе высокомолекуляр-ных соединений,Дель достигается тем, что в спо-.собе получения отверстий в стеклоизделии с использованием активного агента, в качестве активного агента используют 15-краунили 18-краун или дибензо-краунэфир, которыйнаносят в виде расплава на часть поверхности стеклоизделия, охлаждаютдо твердого состояния и механическипродавливают или прорезают отверстиячерез слой краун-эфира. Механическое продавливание или про резку отверстия в стекле через слой краун-эфира осуществляют с помощью стальных, медных или алюминиевых стержней или скальпелем для получения отверстий нужного размера и конфигурации. В способе используют краун-эфиры, которые имеют активные, отрицательно заряженные центры,образуемые кислородными атомами, Краун-эфиры, в з ависимости от химической структуры, могут быть жидкими или твердыми веще ст вами.П р и м е р ы. 1. Краун эфир дибензо-храуи(при комнатной температуре - твердое вещество ) ра сплав ляют при 160 С и покрывают им нужную поверхность стекла. Тотчас же начинают охлаждение краун-эфира воздухомпри температуре 18-30 С. По достижении краун-эфира парафинообразного состояния стальной иглой или скальпелем(через слой краун-эфира) производится продавливание отверстия в стекле.Усилие при получении отверстий в стекле толщиной 1-2 мм спицей Ф 2 мм изакруглении острия -0,5 мм составляет около 1 кг, Длительность всего процесса составляет около 5 мин. Отверстие имеет диаметр спицы. Края ровные,радиальные трещины отсутствуют.2, Краун-эфир 15"краун(при комнатной температуре - жидкость) помещают на поверхность стекла, выдерживают 1-2 мин и охлаждают сухимльдом до (5" 10 С) или парами жидкогоазота в течение 10-20 мин, Затем через слой застывшего краун-эфира продавливают стекло стальной или алюминиевой спицей (скальпелем), Можно поместить стекло с нанесением краун-эфиром в морозильную камеру, увеличиввремя выдержки до 2 ч С камеры=фС), что позволяет заменить использование сухого льда или жидкого азота,3. Краун-эфир 18-краун-б, нагревают до 60-70 ОС и помещают на поверхность стекла, Стекло помещают в холодильник и выдерживают при С-(4-6 ОС)в течение 1-1,5 ч, Затем через слойзастывшего краун-эфира продавливаютстекло стальной спицей или прорезаютотверстие скальпелем.Таким образом, предлагаемый способ позволяет при невысоких температурах (ОС) и небольших механических усилиях (1-5 кг) получать отверстия (окна, проемы) в стекле толщиной 05-3 мм за, непродолжительноевремя. Необходимое для получения одного отверстия (Ф 1-3 мм) количество краун-эфира составляет 0,5-2 г.Краун"эфир может быть использованмногократно (более 100 раз), Послеудаления слоя краун-эфира свойствапластичности стекла. исчезают эа 1520 с. В настоящее время некоторыекраун-эфиры (например, дибензоВкраун-б и 18-краун) выпускаютсяотечественной промавленностью, Поэтому предлагаемый способ может бытьлегко реализован практически.