Электромагнитный преобразователь для измерения характеристик пленочных структур

аФ Объединенный институт ядерных исследовании Заявител Ь) ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР-повышение помоля. Изобретение относится к неразрушающему контролю и может быть ис-. пользовано для измерения характерис., тики пленочных структур, например пленок в состоянии сверхпроводимости.Известен электромагнитный преобразователь, состоящий из катушки индуктивности, .выполненной на диэлектрическом каркасе и предназначенной для подключения к регулируемому источнику постоянного тока через раз- о делительный дроссель, а к измерительному мосту переменного тока - через разделительный конденсатор 1Недостаток известного электромаг нитногс преобразователя состоит в невозможности контроля сверхпроводящих.объектов, что связано с их нагревом катушкой преобразователя, питаемой постоянным током.Наиболее близким к изобретению2 О по технической сущности является электромагнитный преобразователь для, измерения характеристик пленочных структур, содержащий две пары плоских измерительных катушек индуктив"ности, размещенных на плоском ди"электрическом держателе 2 1.Недостаток известного электромаг"нитного преобразователя состоит внизкой помехоустойчивости, что связано с влиянием вариации температуры на выходной сигнал преобразовате"ля.Кроме того, размещение измеритель.ных катушек в одной плоскости непозволяет исключить влияние контродируемого объекта на измерительныекатушки индуктивности, используемыев качестве компенсационных, чтонеобходимо при измерении абсолютныххарактеристик пленочных структур, ане их изменений,Цель изобретения ехоустойчивости контрПоставленная цель достигается тем,что в электромагнитном преобразователе для измерения характеристикФормула изобретения ИИПИ Заказ 1369/45 Тираж 871 Подписное Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,3 100 пленочных структур, содержащем две плоские измерительные катушки индуктивности, размещенные на держателе, катушки индуктивности размещены в ортогональных плоскс 1 ртях, а держатель выполнен из электрически изолированных друг от друга проводников, имеющих тепловой контакт с обеими катушками индуктивности.На чертеже представлен электромагнитный преобразователь для измерения характеристик пленочных структур,Электромагнитный преобразователь состоит из измерительных катушек 1 и 2 индуктивности, размещенных в ортогональных плоскостях на держателе 3, выполненном из электрически изолированных друг от друга проводников не показаны ), имеющих тепловой контакт с обеими измерительными катушками 1 и 2 индуктивности. Держатель 3 закреплен в диэлектрической оправке 4. Рекомендуется держатель 3 выполнять в виде сетки изпроволоки, а катушки 1 и 2 индуктив". ности закреплять на нем эпоксидным клеем.Электромагнитный преобразователь работает следующим образом.Измерительные катушки 1 и 2 индуктивности включают. в соответствующие плечи моста переменного тока и устанавливают измерительную катушку 1 индуктивности рабочим торцом на контролируемую пленку. Разбаланс моста будет соответствовать характеристикам контролируемой пленки, При этом вариация температуры контролируемой пленки не окажет существенного влияния на величину рвзбаланса моста переменного тока, так как между измерительными катушками индуктивности 0891 4с помощью держателя 3 создан тепловой контакт. В то же время держатель" 3 не влияет на процесс контроля, таккак выполнен из электрически изолированных проводников практически невоздействующих на магнитное полекатушек. Одновременно исключаетсявлияние вторичного магнитного поляконтролируемой пленки на измеритель.- 16 ную катушку 2 индуктивности, что по,вышает точность контроля.Предлагаемый электромагнитныйпреобразователь обладает повышеннойпомехоустойчивостью благодаря подави% лению влияния вариации температурыконтролируемой пленки на результатыконтроля, Это особенно существеннопри измерении характеристик сверхпро.водящих пленочных структур при наличии больших температурных градиентов. 2 Электромагнитный преобразЬвательдля измерения характеристик пленочных структур, содержащий две плоскиеизмерительные катушки индуктивности,размещенные на держателе, о т л и -ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения помехоустойчивости, катушкииндуктивности размещены в ортогональных плоскостях, а держатель выполнениз электрически изолированных друг3от друга проводников, имеющих тепловой контакт с обеими катушками индуктивности.Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизеАвторское свидетельство СССРй 560175, кл, С 01 й 27/90, 1977.2. Патент США й 4 107605,кл. С 01 й 33/12, 1978 :прототип).