Устройство для контроля геометрических размеров и дефектов образцов с рассеивающими поверхностями

(504 С О В 21/ ОСУД ОДЕ ТЕНИЯ ВТ.Устроиство ю щ е е с я риемнз ныхстано основного 225009 строчкооб тоящих из ложен непосредст -первого строчкообика,ныи приемник рас ен перед щелью го фотоприем Устройство п а ю щ е е с а пп2-4, о т - тем, что расп сторонам главног)е второстепенныественно подключень ложенные по обеи приемника отдель приемни оответ ТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕ МУ СВИДЕТЕЛЬСТ(54)(57) 1. УСТРОСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ РАЗМЕРОВ И ДЕФЕКТОВ ОБРАЗЦОВ С РАССЕИВА 11 ЩИМИ ПОВЕРХНОСТЯМИ, содержащее осветительное устройство для оптической развертки испытуемого образца по строкам, механизм передачи движения испытуемому образцу относительно линии развертки, примерно перпендикулярно к линии развертки, а также электронную схему обработки данных, о т л и - ч а,ю щ е е с я тем, что, в рассеянном свете, как минимум, находятся одна отображающая оптика и в ее плоскости изображения фотоэлектрическое приемное устройство, распространяющееся вдоль изображения линии развертки и состоящее иэ разборного основного приемника, принимающего отображение линии развертки в его номинальном положении, и из приемника ошибок, причем основной приемник содержит несколько строчкообразных фотоприемников и минимально два фотоприемника в блоке отработки толщины в электронной схеме обработки данных соединены дпя контроля толщины, в то время как приемник ошибок присоединен к электронному блоку для обработки ошибок,части излучения главного приемника второстепенного приемника, которые расположены один около другого.З.Устройство по и.1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что в качеств основного приемника применяют три строчкообразных фотоприемника, сстоящих из установленного в основной части излучения среднего главного приемника и двух соединенныхмежду собой электрически второстепенных приемников, которые расположены один около другого.4,Устройство по п.1,о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что в качеств основного приемника применяют первый строчкообразный фотоприемник с распространяющейся по длине строки щелью и непосредственно за этой щелью второй строчкообразный фотоприемник, причем второй строчкообразный фото- приемник представляет собой главный приемник, установленный в основной части светового потока, а первый строчкообразный фотоприемник служит как второстепенный приемник.5,Устройство по пп, 2 и 4 л и ч а ю щ е е с я тем, ч в1296837 7 Составитель Е, ГлазковРедактор С,Лисина Техред А, Кравчук Корр ект Решетн аказ 76 Подписное изводственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 41 Тираж 678ВНИИПИ Государственногпо делам изобретений113035, Москва, Ж,комитета СССРоткрытийущская наб, д,12968к отдельной схеме анализа наблюдениядопуска на толщину в электронной схеме обработки данных.7.Устройство по пп.2-6, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что строчкообразные фотоприемники расположены вплоскости изображения той же самойотображающей оптики,8.Устройство по пп.2-6, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что главныйприемник расположен в плоскостиизображения первой отображающей оптики, а второстепенные приемники размещены в плоскости иэображения второй отображающей оптики.9.Устройство по п,8, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что оптическая ось первой отображающей оптикисоставляет больший угол с падающимсветом, чем оптическая ось второйотображающей оптики.1 О,Устройство по п.9, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что между оптической осью первой отображающей оптики и геометрическим эталоном поверхности испытуемого образца образуется угол в интервале от 70 до90" .1.Устройство по п,1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что приемникошибок состоит минимально из двухстрочкообразных фотоприемников, одиниз которых - блок сигнализации дефектов, а другой - детектор брака, причем блок сигнализации дефектов расположен в плоскости изображения параллельно основному приемнику, адетектор брака - также параллельноосновному приемнику, но на большемрасстоянии от него,12,устройство по.п.11, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что блок сигнализации дефектов, отделенный дистанционной зоной, следует за основным приемником и детектор бракасвоим направленным в сторону основного приемника краем находится вположении, соответствующем отклонению изображения линии развертки принедопустимой глубине дефектов поверхности, а на выходе блока сигнализации дефектов в блоке анализаошибок введены блок определения площади дефекта для получения сигналаошибок и логическая ячейка ИЛИ,соединенная с детектором брака,13,устройство по п,12, о т л ич а ю щ е е с я тем, что при максимально ожидаемой глубине дефекта 37поверхности образца диапазон детектора брака соответствует отклонениюизображения линии развертки.14,Устройство по пп.11 и 13, о т -л и ч а ю щ е е с я тем, что детектор брака размещается непосредственно при блоке сигнализации дефектов.15.Устройство по пп,2-14, о т -л и ч а ю щ е е с я тем, что в качестве строчкообразных фотоприемников применяются удлиненные фотоэлектрические приемные элементы, выполненные в виде строк.16.Устройство по пп.2-14, о т -л и ч а ю щ е е с я тем, что в качестве строчкообразных,фотоприемников применяются щелевая диафрагма,рядом с ней фокусирующая оптика и вее плоскости изображения - приемныйэлемент с незначительным коэффициентом расширения.17.Устройство по пп.1-16, о т -л и ч а ю щ е е с я тем, что в неговведен приемник сигналов ширины,соединенный с расположенными в цеписигнала на выходе вентильными схемами блока электронной схемы данных.18.Устройство по п.17, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что в качестве вентильной схемы на выходе блокаобработки толщин и блока анализаошибок применяются соответственнорасположенные отдельные логическиеячейки И.19.Устройство по пп.17 и 18, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что в качестве приемника сигналов ширин вплоскости иэображения одной из отббражающих оптик применяется фотоэлектрический приемник сигналов шириндля отображения линии развертки вкаждом возможном отклонении.20.Устройствопо п., о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что передфотоэлектрическим приемным устройством размещен светоделитель, а приемник сигналов ширин размещается вплоскости изображения отделенногохоца лучей за светоделителем.21.Устройство по пп.1 и 20 о т -л и ч а ю щ е е с я тем, что отобРажающая оптика и приемник сигналовширин расположены в его плоскостив рассеянном свете внутри хода лучей в осветительной системе,22.Устройство по пп.19-21, о т -л и ч а ю щ е е с я тем, что приемник сигналов ширин состоит из отображающей оптики для элемента сигналов129 б 837 ширин и расположенного в его плоскости изображения приемного элемента с незначительным коэффициентом расширения.23.Устройство по пп.1-22, о т - л и ч а ю щ е е с я тем, что луч развертки осветительного устройства направлен перпендикулярно на поверхность испытуемого образца,1Изобретение относится к устройству для контроля дефектов и геометрических размеров образцов с рассеивающими поверхностямии предпочтительно с плоской или цилиндрической формой, с помощью которого в процессе проверки одновременно могут определяться длина, диаметр и толщина, соблюдение или превышение диаметров и допуска на толщину испытуемого образ ца, величины ошибок поверхности таких как дыры, трещины, лунки, мест. ные бугры, а также глубина или вы-. сота дыр, лунок и местных бугров, Устройство рассчитано на определение 15 отклонений 8 с 10 мкм = о =нескольких милиметров и может применяться для проверки и контроля образцов, а также для обнаружения специальных дефектв, отклонений допусков и. фор мы технических поверхностей, учитывая автоматизацию этих процессов, Изобретение применяется для контроля образцов с сильно рассеивающими и диф 1 рузно отражающими поверхностями.Известен ряд устройств для оптического контроля размерности поверхности, основывающихся на различных оптических принципах,:причем устрой-ства для оценки света, отраженного 30 от поверхности испытуемого образца, встречаются чаще всего.В описании изобретения к патенту США У 3788741 Н кл. 356-4, 1977 представлен оптический зонд, состоя щий из фокусирующей линзы, полупропускающего зеркала, двух световых фильтров разного цвета, двух детекторов и двух световых источников, Оценка поверхности и глубины дефек та осуществляется с помощью измерения количества света, отраженного от поверхности. 24.Устройство по пп.1-23, о т - л и ч а ю щ е е с я тем, что в качестве осветительного устройства применяются источник света для точечного излучения и отклоняющий блок для отклонения светового пучка по строкам вдоль линии развертки испытуемого образца,2Известно устройство (патент ВБ) содержащее лампу, цилиндрическую линзу и ряд световодов, причем световолокна объединены в пучки и связаны с фотоэлементом. Концы свето- водных кабелей расположены в виде строки по направлению отражения света. Оценка поверхности также осуществляется сравнением интенсивности отраженного света отдельных фотоэлементов, которые могут по разному комбинироваться с точки зрения электротехники.Известно устройство (патент ФРГ 2 б 21238, кл, С 01 В 11/04, 1978) для определения размерности цилиндрических предметов, состоящее из двух приводимых в движение роликов, крепления для инфракрасного диода и двух фототранзисторов. Во время проверки цилиндрический предмет перемещается на приводимых в движение роликах между инфракрасным диодом и фототранзисторами и в зависимости от их диаметра выключает их так, что интенсивность света является мерой диаметра.Однако известные устройства не рассчитаны на проверку предметов с сильно рассеивающими поверхностями, на обнаружение ошибок поверхности и определение их глубин, а также геометрических размеров предметов.Цель изобретения - создание устройства, при помощи которого с высокой точностью измерения производится бесконтактный контроль дефектов и их геометрических размеров во время одного и того же процесса проверки с обеспечением при этом высокой производительности. Устройство применяется в автоматически работающих контролы.о-измерительных установках.3 .129 б 8В основу изобретения положена задача, создать устройство, с помощью которого с высокой эффективностью и без повреждения образца, осуществляется его контроль.В устройстве дпя контроля дефектов и геометрических размеров испытуемых образцов с рассеивающими поверхностями, состоящем из осветительного устройства для оптической раз вертки образца по строкам, механизма передачи движения для осуществления относительного движения между линией развертки и испытуемым образцом примерно перпендикулярно к диафрагме развертки, а также из электронных схем обработки эта задача решается тем, что в рассеянном свете находятся, как минимум, менее одна отображающая оптика и в ее плос 20 кости изображения фотоэлектрическое приемное устройство, распространяющееся вдоль изображения линии развертки и состоящее из разборного основного приемника, принимающего 25 отображение линии развертки в его номинальном положении, и из приемника ошибок, причем основной приемник содержит несколько строчкообразных фотоприемников и минимально за двумя приемниками в одном из блоков для обработки толщины в системе обработки данных следует совместная логическая операция ИЛИ для контроля толщины, в то время как приемник ошибок присоединен электронный блок для обработки ошибок, В качестве основного приемника имеются два строчкообразных фотоприемных устройства, состоящих из главного приемника, собирающего основную часть излучения,. и вторичного приемника, которые размещаются один около другого. В качестве основного приемника применяют три строчкообразных фотоприемных устройства, состоящих из среднего главного приемника, собирающего основную часть излучения, и двух вторичных приемников, соединенных между собой электрически размещенных один около другого, Кроме того, в качестве основного приемника может служить и первое строчкообразное фотоприемное устройство с распространяющейся по длине строки щелью и непосредственно за этой щелью второе строчкообразное фотоприемное устройство, причем второе Фотоприемное устройство представляет собой глав 3ный приемник, собирающий основнуючасть светового потока, а первоефотоприемное устройство рассматривается как вторичный приемник,Возможно расположение главногоприемника непосредственно передщелью первого строчкообразного фотоприемного устройства. Находящиесяпо обеим сторонам главного приемникавторичные приемники могут соответственно подключаться к отдельной схеме анализа в общей системе электронных схем обработки, предназначеннойдля контроля несоблюдения (превышения и неиспользования) допуска натолщину. Строчкообразные фотоприемные устройства расположены в плоскости изображения той же самой отображающей оптики или главный приемникнаходится в плоскости изображенияпервой, а вторичный приемник - вплоскости изображения второй отображающей оптики. При этом оптическаяось первой отображающей оптики должная составлять больший угол с направлением падающего света, чем оптическая ось второй отображающей оптики,Этот угол должен составлять от 70до 90 , Приемник ошибок состоит минимально из двух строчкообразных Фотоприемных устройствпричем блок сигнализации дефектов размещается вплоскости изображения паралллельноосновному приемнику, а детектор брака - также параллельно к нему, нона большем расстоянии к основномуприемнику. Блок сигнализации дефектов отделяется от основного приемника дистанционной зоной. Детектор брака своим направленным в сторону приемника краем находится в положении,соответствующем отклонению изображения линии развертки при недопустимойглубине дефектов поверхности. На вы-.ходе блока сигнализации дефектовимеется логическая ячейка ИЛИ для сопряжения сигнала блока определенияплощади дефекта и сигнала ошибок,Ширина детектора брака соответствуетотклонению изображения линии развертки и при максимально ожидаемой глубине дефекта на поверхности испытуемого образца. Детектор брака размещается непосредственно около блокасигнализации дефектов. Строчкообразные фотоприемные устройства составляются из удлиненных, выполненныхв виде строк фотоэлектрических приемных элементов, 5 1Целесообразно выполнить строчкообразные Фотоприемные устройства в виде щелевой диафрагмы, следующей за ней фокусирующей оптики и расположенного в ее плоскости изображения приемного элемента, Электронные схемы обработки содержат вентильную схему, которая проявляется в цепи сигнала после каждого выходного сигнала и второй вход которой связывается со схемой сигнализации ширин. На выходе блоков обработки толщин и ошибок в качестве вентильной схемы соответственно размещаются логические ячейки И. Для сигнализации ширин в плоскости изображения одной из отображающей оптики имеется фотоэлектрический приемник сигналов ширин, принимающий изображение линии развертки в каждом возможном положении отклонения. Данный приемник сигнализации ширин может находиться и в плоскости изображения отделенного светоделителем хода лучей. Приемник сигналов ширин и принадлежащая к нему отображающая оптика находятся в отраженном рассеянном свете внутри осветительного хода лучей, причем приемник сигналов ширин может состоять из отображающей оптики и приемного элемента с незначительным коэффициентом расширения.Луч развертки осветительного устройства перпендикулярно направлен на поверхность испытуемого образца. Указанное осветительное устройство может г.редставлять собой точечный источник света в сочетании с отклоняющим блоком для строчкообразного отклонения света вдоль линии развертки образца.Преимущества изобретения заключаются в том, что с высокой точностью измерения и производительностью в процессе контроля образцов бесконтактно получают ряд данных таких, как длины испытуемого образца, отклонения допуска толщины, а также относительно дефектов поверхности таких как трещины, лунки, дыры, местные бугры и др, причем одновременно определяются их размеры по площади, высоте и глубине. По сравнению с другими известными решениями изобретение позволяет провести очень экономичный контроль, так как процессы контроля проходят одновременно.На фиг,1 схематически показано предлагаемое устройство для контро 296837ля дефектов и геометрических размеров образцов; на фиг.2 - то же, дляконтроля геометирческих размеров сдвумя отдельно расположенными отображающими оптиками; на фиг,З - строчкообразное фотоприемное устройствос щелевой диафрагмой, фокусирующейоптикой и приемным элементом с незначительным коэффициентом расширения 10 (вариант); на фиг,4 - устройство,вид сбоку; на 1 иг.5 - приемник, регистрирующий боковые поверхности вквазипараллельно падающему светурассщнном свете; на фиг.6 - основ ной приемник, одна из модификаций;на фиг.7 - то же, измененная модификация; на Фиг.8 - то же, другаямодификация; на фиг.9 - Фотоэлектрическое приемное устройство, моди-, 20 фикация.Устройство состоит из источникасвета (не показан), испытуемогообразца 1 с механизмами 32 передачи движения в виде роликового под шипника, отображающей оптики 3 фотоэлектрического приемного.устройства 28 и электронных схем 24 обработки. Светоделитель 10 и приемниксигналов 11 могут отсутствовать.30 Система электронных схем 24 обработки состоит из блока 25 анализаошибок и блока 26 обработки толщин.Блок 25 анализа ошибок состоИт изблока 20 определения площади дефекта, логической ячейки 29 ИЛИ и вентильной схемы 31; блок обработки толшин - из двух формирователей 27 импульсов и вентильной схемы 30. Устройство показывает бесконтактный ме О тод проверки для определения отклонений геометрических размеров и ошибок поверхности, который предпочтительно может йрименяться в случаеплоских или цилиндрических испытуе мых образцов 1 с диффузно отражающейповерхностью. С помощью системы цилиндрических линз пучок лучей (элементы Формирования пуска лучей непоказаны) фокусируется на поверхности образца 1 и образует линию 2 развертки или с помощью вращательно-симметричной отображающей оптикиформируется фокусПоследний отклоняется блоком отклонения, на- пРимеР вращающимся зеркалом, многогранником, электро- или акустооптическим отклоняющим элементом,вдоль линии 2 на поверхности испытуемого образца 1, В качестве источника50 света можно применять лазер, свет которого модулируется по частоте с помощью модуляционного устройстваЛиния 2 развертки при помощи находящейся в рассеянном свете отображающей оптики 3 изображается на фотоэлектрическом приемном устройстве 28, состоящем из строчкообразных фотоприемных устройств, Последние подразделяются на основной приемник 5 для измерения толщины испытуемого образца 1, а также на приемник ошибок, содержащий блок 17 сигнализации дефектов и детектор 18 брака. Основной приемник 5 состоит из главного 7 и вторичного 8 приемников (на фиг, 6-8 показаны возможные формы исполнения основного приемника 5) . Самый простой вариант состоит из узкого главного приемника 7 и более широкого второстепенного приемника 8. Предполагается, что допуск на толщину изменяется только по одному направлению и в связи с этим изображение 4 линии 2 развертки тоже может перемещаться только в одном направлеНа фиг7 и 8 показывается главный приемник 7, находящийся между двумя второстепенными приемниками 8. Таким расположением обеспечивается определение отклонений допуска на толщину по обоим направлениям. На фиг.8 показывается модификация изображенного на фиг.7 варианта исполнения, в которой во избежание мертвых зон между стыками строчкообразных фотоприемных устройств главный приемник 7 был установлен в другой плоскости, Главный приемник 7 размещается в плоскости изображения отображающей оптики 3 так, чтобы при испытуемом образце 1 с шириной, соответствующей допуску, изображение 4 линии 2 развертки отображалось на него. В этом случае вторичный приемник 8 не получает светового излучения от изображения 4 линии 2 развертки. С помощью двух формирователей 27 импульсов и вентильной схемы 30, вход с отрицанием которых относится к второстепенному приемнику 8, блок 26 обработки толщин определяет единичный сигнал, соответствующий годному сигналу. При превышении допуска на толщину испытуемого образца 1 изображение 4 линии 2 развертки уходит на второстепенный приемник 8. Если имеется толь 5 10 20 25 30 35 40 ко Один Второстепенный риемннк 8 тогда предполагается, что допуск н толщину может изменяться по одному направлению, Блок 26 обработки толщин регистрирует сигнал брака дпя толщины. Как показано на фиг.2, имеется возможность размещения главного 7 и второстепенного 8 прпемников в плоскостях изображения двух отдельных отображающих оптик 12 и 13, Целесообразно, чтобы между главным приемником 7 с принадлежащей к нему оптикой и плоскостью падающего света образовался большой угол, предпочтительно в диапазоне от 70 до 90, так как благодаря этому получается очень узкое изображение 4 линии 2 развертки и обеспечивается улучшение разрешающей способности.На фиг.3 представлено, что строчкообразное фотоприемное устройство может состоять из щелевой диафраГмы 14, фокусирующей оптики 15 и приемного элемента 16 с незначительным коэффициентом расширения. Данная модификация предназначена для измерения толщин. Благодаря наличию щелевой диафрагмы сохраняется строчкообразный характер фотоприемного устройства. Фокусирующая оптика 15 служит для фокусировки на приемный элемент 16 светового потока, проходящего через щелевую диафрагму 14. Исходя из этого, данная модификация обеспечивает оценку наличия или отсутствия изображения 4 линии 2 развертки в соответствующем месте, Принцип определения глубины дефектов поверх-. ности демонстрируется на фиг,4, С помощью отображающей оптики 3 линия 2 развертки изображается на главном приемнике 7, если поверхность испытуемого образца не имеет ошибок. В случае дефектов поверхности таких как сколы, лунки и т.п. соответствующая часть изображения 4 линии развертки 2 уходит в зависимости от глубины дефекта поверхности и находится или в блоке 17 сигнализации дефекта или в детекторе 18 брака.Диапазон блока 17 сигнализации дефектов выбран так, чтобы он соответствовал максимальному уходу соответствующей части изображения 4 линии 2 развертки для допустимой ещеглубины дефекта поверхности, Детектор 18 брака непосредственно следящий за блоком 17 сигнализации дефектов, регистрирует все глубины дефек 9 12 тов, превышающие заданный размер и приводящие к повышению брака. Следящий за детектором 18 брака и блоком17 сигнализации дефектов блок 25 анализа ошибок сразу же выдает сигнал брака в момейт попадания светового потока на детектор 18 брака, это значит, что на поверхности испытуемого образца 1 находится дефект, глубина которого превышает максимально допустимую величину. Если имеется дефект незначительной глубины, тогда соответствующие световые пучки направляются только на блок 17 сигнализации дефектов. Он выполнен как матричные приборы с зарядовой связью и электрическим образом подключен к блоку 20 определения площади. Последний определяет площадь дефекта благодаря единичным элементам матричных приборов с зарядовой связью, подвергнутым освещению. Если эта площадь в сочетании с глубиной дефекта превышает заданную величину, тогда генерируется сигнал брака. Возможно также обнаружить место дефекта путем определения одного или нескольких единичных элементов матричного прибора с зарядовой связью, подвергнутых освещению, Глубокие дефекты, как трещины, глубокие дыры и т.п., при которых из-за затенения кромками дефектов не возникает изображения на Фотоэлектрическом приемном устройстве 28, регистрируются как прерывание изображения 4 линии 2 развертки и обнаруживаются как соответственный де. фект с помощью блока 25 анализа ошибок. Если по обеим сторонам основного приемника 5 размещаются по одному блока 17 сигнализации дефектов и одному детектору 18 брака, то также возможно оценичь местные лунки и вершины поверхности испытуемого образца, так как изображение 4 линии 2 развертки может сдвинуться по обеим сторонам в направлении главногоприемника 7. Во избежании получения светочувствительных зон на стыках между отдельными строчкообразными фотоприемными устройствами имеется также возможность разместить их в двух расположенных близко друг за другом плоскостях, чтобы строчкообразные фотоприемные устройства перекрывались. На Фиг.9 представлен возможный вариант модификации фотоэлектрического приемного устройства. В96837 10 ления интенсивностью осветительного устроиства.При применении модулированного света, например лазерного света, в сочетании с отклоняющим блоком все строчкообразные фотоприемные устройства выполнены как отдельные элементы. Исходя из того, что линия 2 развертки и, следовательно, в данном случае также ее изображение 4 состоит из последовательно по временивозникающих световых точек, возможнопутем подсчета генерированных световыми точками импульсов детектора 18 брака дать информацию о площади иместе дефекта и на приемнике 11 сигналов ширин - о начале и конце, атакже о длине испытуемого образца 1 С целью определения площади и места дефекта представляется более целесообразным использовать не только 5 10 15 20 25 случае неточного позиционирования или разных длин испытуемого образца 1 необходимо оснастить блоки 25 и 26 электронной схемы 24 обработки начальным и конечным сигналами, управляющими вентильными схемами 30 и 31 так, чтобы сигнал дефекта действительно указывал на дефект, а не на начало или конец испытуемого образцаВ показанном на Фиг,1 устройстве находящийся в ходе лучей светоделитель 10 отражает часть света ча приемник 1 сигналов ширины, который поставляет соответствующий начальный и конечный сигналы. В сочетании с вентильнымн схемами 30 и 31 на выходе блока 25 анализа ошибок и блока 26 толщины эти сигналы приводят к тому, что обрабатывается только свет, отраженный испытуемым образцом 1,Целесообразное исполнение приемника 11 сигналов ширин представлено на фиг.5. Светоделитель 21, фокуси- у рующая оптика 22 и приемный элемент 23 размещаются в ходе лучей света, рассеянного квазипараллельно к лучу развертки. Благодаря этому почти полностью предотвращается затенение рассеянного света дефектами поверхности. Относительно площади приемниксигналов ширин построен таким образом, что общее изображение 4Флинии 2 развертки отображается на него независимо от того, отклоняется ли линия 2 развертки или нет, Кроме того, имеется возможность использования сигнала, полученного от приемника 11 сигналов ширин, цля управ 11 1296837 12импульсы детектора 18 брака, но и ют осуществить более точное опредеискаженные импульсы основного прием- ление этих данных, независимо от ника 5, в особенности, главного глубины дефекта и ширины линии 2 приемника 7, потому что они позволя- развертки,