Устройство для климатических испытаний полупроводниковых приборов

предназначена для испытаний приборов одного типоразмера,Наиболее близким техническим решением к предлОженному является устройство для климатических испытаний5полупроводниковых приборов, содержащее рабочую камеру с расположеннымв ней транспортирующим накопительным барабаном с пазами для спутниковносителей и соединенным с приводомтранспортирующей каретки, загрузочный и разгрузочный магазины для загрузки и выгрузки приборов из накопительного барабана, контактноеустройство. для измерения параметровприборовНедостатком данного устройстваявляется то, что его конструкцияне позволяет проводить испытания при 20боров различных типоразмеров, посколь.ку все узлы камеры выполнены такимобразом, что они предназначены дляиспытаний приборов только лишь одного определенного типоразмера 25Кроме того, недостатком данногоустройства является также сложностьего конструкции, обусловленная наличием сложных кинематическихсвязейкаждой каретки с приводом их перемещения,Цель изобретения - расширение сор"тимента испытуемых приборов,Поставленная цель достигается тем,что в предлагаемом устройстве.для кли.матических испытаний,полупроводниковых приборов, например, интегральныхсхем в спутниках-носителях, содержащем рабочую камеру с расположеннымив ней транспортируюшим накопительнымбарабаном с пазами для спутников-носи"телей и соединенным с приводом. транспортирующей каретки, загрузочныйи разгрузочный магазины для загрузкии выгрузки приборов из .накопительного барабана,.контактное устройстводля измерения параметров приборов,одна из кареток снабжена выполненными на ее боковых направляющих выступами с отверстиями, в которых жестко закреплены тяги, соединенные сприводом возвратно поступательногоперемещения кареток, а в боковых направляющих других кареток выполненывырезы, посредством которых эти карет 55ки коаксиально размещены на направляю"щих выступах внутренней каретки иподпружинены относительно их, приэтом каретки установлены с возмож ностью поочередного перемещения относительно друг друга,На фиг, 1 изображено устройстводля климатических испытаний полупроводниковых приборов, общий вид; нафиг 2 - предлагаемое устройство вразрезе, общий вид; на фиг,3 - каретки предлагаемого устройства в разобранном состоянии; на фиг, 4сечение А-А",на фиг 5,8,1 - положениеспутников во время перемещения кареток к контактному устройству; нафиг 6 - сечение Б-Б;на фиг, 7 вид В, на Фиг9 .- сечение Р"Г; нафиг.10 - вид Д; на фиг. 12 - сечениеЕ-Е; на фиг,13 - вид ЖПредлагаемое устройство для климатических испытаний полупроводниковыхприборов, в данномслучае интегральных схем, помещенных в спутник, содержит рабочую камеру 1 см, фиг;1,2), расположенный в ней транспортирующий накопительный барабан 2(фиг 1,2) с пазами 3-5 для приборови соединенные с приводом 6 каретки7 9 (фиг. 1 и 2), имеющие соответствующие им пазы 10-12 (Фиг1,2,3)для приборов с боковыми направляющими 13-15 контактное устройство 6,магазины загрузки 17 и разгрузки 18(Фиг 1 и 2)Каретка 7 снабжена, выполненными на ее боковыхнаправляющих 13 выступами 19 с отверстиями 20, в которых жестко закреплены тяги 21, соединен ные с приводом 6 перемещения кареток, в которые установлены спутники 22 (см, фиг1,2,4). К каретке 7 крепит ся отсекатель 23, удерживающий столб приборов в барабане 2 со время перемещения кареток к контактному устрой ству 16Паз 10 каретки 7 выполнен для прохождения интегральных схем, помещенных в спутники 22 малых габа ритов(28,8 Х 19,5 ми). В боковых направляющих 14 и 15 соответствующих пазов 11 и 12 кареток 8 и 9 выполне ны вырезы 24 и 25 (см Фиг 1, 3),посредством которых каретки 8 и 9 коаксиально размещены на выступах 19 каретки 7 в следующей последователь ности: каретка 8 охватывает 1 аретку 7, каретка 9 охватывает каретку.8 Каретки 8 и 9 подпружинены относительно выступов 19 с помощью двух пар пружин 26 и 27., установленныхв вырезах 24 и 25 (Фиг,4) .(32 х 32 мм), а паэ 12 каретки 9 - дляпрохождения интегральных схем, поме-,щенньгс в спутник 29 больших размеров (51 ю 51 мм),Пазы 10-12 кареток 79 в моменткоаксиального размещения последнихсоответствуют пазам 3,.4 н 5 барабана 2, образуя единый транспортныйтракт, Так, паз 1 О соответствует пазу 3 барабана 2, паз 11 соответствует пазу 4 барабана 2, а паз 12 соответствует вазу 5 барабана 2.В основании барабана 2 установлены диск 30, плита 31, в которой закреплены отсекатели 32-34Каретка 9в боковых направляющих 15 имеет про 20ушину 35 с отверстиями 36 и 37,Сквозь отверстия 36 каретки 9 проходят тяги 21, которые затем соединяются с приводом б перемещения кареток(см. фиг, 1,2;3,4), Сквозь отверстия. 37 проходят неподвижно закрепленные на плите 38 камеры 1 две оси39, вдоль которых перемещается каретка 9 см, фиг.1,4).В магазине загрузки 17 выполнены 30пазы 40 42 а в магазине разгрузки 18выполнены пазы 43-45, аналогичиепазам 3-5 в транспортном накопительном барабане:2, При этом паз 40 магазина загрузки 17 и паз 43 магазинаразгрузки 18 соответствуют пазу 3 барабана 2 и пазу. 10 каретки 7,паз 41магазина загрузки 17 и паз 44 магазина разгрузки .18 соответствуют пазу4 барабана 2 и пазу 11 каретки 8, 40(см фиг,1, 2). Магазин разгрузки 18 крепится кпластине 46, вдоль которой кареткиперемещают спутники на позицию контактирования и затем, при обратном ходекареток, на позицию разгрузки,Пластина 46 имеет под отсекателями 32"34 отверстия 47 49 по формеспутников и крепится к плите 38, накоторой закреплено контактное устройство 16. В пластине 46 над магазином1 разгрузки 18 установлены заслонки 50и 51, в каждой из которых выполненыотверстия 52 и 53 по форме отверстий48 и 49 пластины 46,О. 6При испытании ИС в спутниках малыхразмеров заслонки 50 и 51 установле"ны так, что они перекрывают пазы 44и 45 магазина разгрузки 18 и отверстия 48 и 49 пластины 46 (см, фнг,1,2,5,7).При испытании ИС в спутниках сред"них размеров заслонка 51 установленатак, что она перекрывает паз 45 магазина разгрузки 18 и отверстия 49 пластины,46, а заслонка 50 установлена так,что ее отверстие 52 совмещено с пазом 44 магазина разгрузки 18 и отвер-стием 48 пластины 46 (см, фиг,8,11),При испытании ИС в спутниках больф.ших габаритов заслонка 51 установлена так, что ее отверстие 53 совмещено с пазом 45 магазина разгрузки 18и отверстием 49 пластины 46 (см,фига 11,13),Работа предлагаемого устройствапроисходит следуюшим образом,Приборы, представляющие. собой интегральные схемы в спутниках носителях, ориентированно эагружаюгся всоответствующий определенному размеру спутника паэ магазина загрузки 17Из магазина загрузки 17 приборы поступают в один из пазов 3 5 транспортирующего накопительного барабана.2. При этом приборы попадают в паэбарабана, который соответствует размеру спутника с размещенной в нем ИСТак, ИС в спутниках малых размеровпопадают из паза 40 магазипа загрузки 17 в паз 3 барабана 2, ИС в спутниках средних размеров иэ паза 41 магазина загрузки 1 в паэ 4 барабана2; ИС в спутниках больших размеровпопадают иэ и;.за 42 магазина загрузки 17 в паз 5 барабана:2,После заполнения на позиции за.грузки одного из пазов 3-5 барабана 2 приборами определенного типоразмера происходит поворот барабанана один шаг при помощи привода шагового вращения 54, и на позицию загрузки приходят следующие свободныепазы. Таким образом, по мере поворота, барабана 2 загруженные в его пазы 3-5 приборы перемещаются в зонуконтактирования, Время с момента загрузки прибора до подачи его на пози"цию контактирования равно времени выдержки приборов в устройстве для климатических испытанийДостигнув позиции контактирования,паз 3 барабана 2 совмещается с пазом10 каретки 7, паз 4 барабана 2 совме"щается с пазом 11 каретки 8, паз 5барабана.2 совмещается с пазом 12каретки:9, После этого производитсяподача приборов в спутниках к кон.тактному устройству,При испытаниях приборов в спутни-.ках малыхразмеров подача их к контактному устройству происходит следую.10щим образом. Интегральные схемы вспутниках 22 малых размеров находятсяв пазу 3 барабана 2, При совмещениипаза 3 барабана 2 с пазом О каретки 7. прибор переходит в каретку 7 иудерживается в ней отсекателем 32. Затем включают привод 6 перемещения кареток,перемещающий в сторону контактного устройства 16 тяги 21, на которых перемещаются одновременно все трикаретки вдоль осей 39, При перемещении кареток спутник 22 снимается кареткой 7 с отсекателя 32 и попадаетна поверхность пластины . 46, вдолькоторой каретками перемещается на позицию контактирования, а оставшиесяспутники в пазу 3 барабана 2 удержи-;ваются отсекателем 23 (фиг.5), инакоеперемещение трех кареток продолжаетсядо тех пор, пока торцовая поверхность каретки 9 не достигнет плиты38, В этот момент каретка 9 останавливается. При этом привод б продолжает перемещать в том же направлениитяги 21, которые перемещают каретки7 и 8, заставляют сжиматься прущлну3526 в вырезе 25 каретки 9; Перемещениекареток .7 и 8 происходит до тех пор,пока торцовая поверхность каретки 8не достигает плиты 38. В этот моментостанавливается каретка 8, Привод бпродолжает перемещать тяги 21, которые перемещают каретку 7, заставляясжиматься пружину 27 в вырезе 24 каретки 8. При этом происходит перемещение каретки 7 до тех пор, пока ее торцовая поверхность не достигнет плиты 38, При этом каретка 7 подаетприбор к контактному устройству 16(смфиг.б).В этот момент выключается прйвод 6 перемещения каретоки производится замер электрических параметров прибора.При обратном ходе кареток, в положении разгрузки, паз 1 О каретки557 совмещается с отверстием 47 пласти ны 46 и пазом 43 магазина разгрузки,18, После совмещения спутник 22 изкаретки 7 через магазин разгрузки 18 выгружается в соответствующий бункерна фиг. не показано), а следующий спутник 22 из паза 3 барабана 2 загружается в паз 10 каретки 7 и удерживается в ней отсекателем 32., Затем включается привод 6 и выше описанные операции повторяются,Подача к контактному устроиству 16интегральных схем в спутниках 28 средних габаритов происходит следующим образом (см Фиг,8 и 9).Интегральные схемы в спутниках средних размеров находятся в пазу 4 барабана 2, При совмещении паза 4 барабана 2 спазом 11 каретки 8 прибор переходитв каретку 8 и удерживается в ней отсекателем 33. Затем включают привод б, заставляющий двигаться в сторону. контактного устройства 16 тяги 21, на которых перемещаются одновременно три каретки вдоль .осей 39.При перемещении кареток спутник 28 снимается кареткой 8 с отсекателя 33, попадает.на поверхность пластины 46, по которой перемещается на позицию контактирования, а оставшиеся спутники в пазу 4 барабана 2 удерживаются отсекателем 23 ,Ьиг.2), В тот момент, когда торцовая поверхность каретки 9 достигнет плиты 38, эта каретка останавливается, При этом привод 6 продолжает перемещать в тсм же направлении тяги 21, которые перемещаюткаретки .7 н 8, заставляя сжиматься пружину 26 в вырезе 25 каретки 9, Перемещение кареток 7 и 8 происходит до тех пор, пока торцовая поверхность каретки 8 не достигнет плиты 38, при этом каретка 8 подает прибор к контактному устройству 16, каретка 8 останавливается. Привод б продолжает, перемещать тяги 21, которые перемещают каретку 7, заставляя сжиматься пружину 27 в вырезе 24 каретки 8, Перемещение каретки 7 происходит до тех пор, пока ее торцовая поверхность не упрется в спутник 28, дополнительно Фиксируя его на позиции контактирования (фиг. 9). После этого включают привод 6 и производят замер электрических параметров прибора. При обратном ходе кареток в положение разгрузки паз 11 каретки 8 совмещается с отверстием 48 пластины 46 . отверстием 53 заслонки 51 и пазом 44 магазина/разгрузки 18. После совмещения спут" ник 28 из каретки 8 через магазин разгрузки 18 выгружается в соответствую91 О 1щий бункер (на фиг. не показано),аследующий, спутник 28 из паза 4 барабана 2 переходит в паз 11 каретки 8 иудерживается в ней отсекатепем 33.Затем включается привод 6 ивышеописанные операции повторяются.Подача к контактному устройству16 интегральных схем в спутниках 29больших габаритов происходит. следующим образом,Интегральные схемы в спутникахбольших габаритовнаходятся в пазу 5барабана 2. При совмещении данного паза 5 с пазом 12 каретки 9 прибор переходит в каретку 9 и удерживаетсяв ней отсекателем 34. Затем включаюг .привод 6, заставляющий двигаться,в сторону контактного устройства .16тяги 21, которыми перемещают одновременно три каретки вдоль осей 39 Приперемещении каретак спутник 29 снимается кареткой 9 с отсекателя 34 и понадает на поверхность пластины 46, покоторой каретками перемещается на позицию контактирования, а оставшиесяспутники .в пазу 5.барабана 2 удерживаются отсекателем 23 фиг.11). Этонеремещейие продолжается до тех пор,пока каретка 9 своей торцовой поверхностью не достигнет плиты 38,подаваяприбор к контактному устройству 6,Каретка 9 останавливается, При этомпривод 6 продолжает перемещать в томже направлении тяги 21, которые перемещают каретки 7 и 8, заставляя сжиматься пружину 26 в пазу 25 каретки 9. Перемещение хареток 7 и 8 про 85501 Оисходит до тех пор, пока торцоваяповерхйость каретки 8 не упрется вспутник 29, дополнительно фиксируя5его на позиции контактирования, Привод 6 продолжает перемещать тяги 21,которые .перемещают каретку 7,. заставляя сжиматься пружину.27 в пазу каретки 8. Перемещение каретки 7 происходит до тех пор, пока каретка не упрет-,ся в торец выреза 24 каретки 8. Каретка 7 останавливается. После этоговыключается привод 6 и призводитсязамер электрических парметров при 15. бора. При обратном ходе кареток в положение разгрузки паз 12 каретки 9совмещается с отверстием 49 пластины. 46 и отверстием 53 заслонки 51, испутник 29 через паэ 45 магазина раз 2 цгрузки 18 выгружается в соответствующий бункер (на фиг. не показано), аследующий спутник 29 из паза 5 барабана 2 переходит в паз 12 каретки 9 иудерживается в ней отсекателем 34.25 Включается привод 6 и вышеописанныеоперации повторяются,Преимуществом предлагаемого устройства для климатических испытаний полупроводниковых приборов по сравнению3 О с известными является его универсальность, т.е. конструкция предлагаемого устройства обеспечивает возможностьиспытания приборов различных типоразмеров без переналадки устройства. Кроме того, предлагаемая конструкция35