Фоторезист
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИИЗОБВЕТЕН ИЯ Союз Советскнх Социалистических Республик/ритет с присо ооудорстеенный комитетСовета министров СССРоо делам кзооретеннйн открытей 23) П бликовано 250276 Б:оллетень Ие а опубликования описания 20,04.76г(54) ФОТОРЕЗИСТ Изобретение относится к фоторезнстам, применя.емым в коп 1 ровалуых процессах прн получении изделий электронной техники,Известны фоторезисты на основе полимерных ма.териалов растворителя и светочувствительных соеди.5пений, определяющих фотохимические реакции экс.понированных илн незкспонированных участков врастворимости после проявления.10Недостатком существующих фоторезистов являет.ся критичность экспонирования во времени, так какнезначительные отклонения в экспозиции против оптимальной снижают качество и точность воспроизведе.ния элементов изображения. Особенно критичен ковремени процесс зкспон. рования известных фотореэистов на подложках с высоким коэффициентом отражения в области чувствительности фсторезистов(например, на алюминии), а также процесс экспоииро.ваиия через полупрозрачные фотошаблоны (например,фотошаблоны на основе поверхностно-окрашенгэгостекла), когда в процессе экспонирования появляют.ся в виде проявленных учзстков фоторезиста в экспо 2 б нируемой фотошаблонной зоне. Диапазон пропорцио. нальной передачи размеров изображения для подпоже с высокои отражательнон способностью настолькоузок, что в промышленных условиях приводит к значительному количеству брака. Цель изобретения получение таких фоторезистов, которые имели бы расширенный диапазон экспонирования даже на подложках с.высокой отражательной способностью и, следовательно, высокую технологию и позволили бы реализовать качество и точность процессов копирования,Предлагается фоторезист на основе полимерныхматериалов и светочувствительных соединений, гдев состав исходной композиции введен жнрдраствори.мьие краситель желтый, оранжевый, имеющий максимум поглощения в области спектральной чувствительности фоторезиста в количестве 0,5-20% от веса сухих компонентов фоторезиста.,Так как критичность фотореэнстов ко времениэкспонирования определяется количеством отраженного от подложки вторичного светового потока, воз.
СмотретьЗаявка
1951561, 06.08.1973
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1631
БОКОВ ЮРИЙ СЕРГЕЕВИЧ, ГОРОН АЛЛА ГРИГОРЬЕВНА, ЕГОРОВА ВЕРА НИКОЛАЕВНА, КАЛЮЖНАЯ ВЕРА ГЕОРГИЕВНА, КОРСАКОВ ВЛАДИМИР СЕРГЕЕВИЧ, РОМАНОВА ГАЛИНА ПАВЛОВНА, ФЕДОРЕНКО НАДЕЖДА МАКСИМОВНА
МПК / Метки
МПК: G03C 1/06
Метки: фоторезист
Опубликовано: 25.02.1976
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-504171-fotorezist.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Фоторезист</a>
Предыдущий патент: Лентопротяжный механизм аэрофотоаппарата
Следующий патент: Цветной многослойный светочувствительный материал
Случайный патент: Устройство подвеса