Способ изготовления испаряемых молибденовых анодов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(22) Заявлено 06.03.73 (21) 1890426/26-21 с присоединением заявки Ме Н 05 с 3/14 С 23 с 13/1 осударственнми иомите Совета Министров СССР ло делам изобретений) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИСПАРЯЕМЪХ МОЛИБДЕНОВЫХ АНОДОВобретения редмет олибдео испаолнениеленты, обеспепри поденовую иях. Способ изготовлен новых анодов для э 5 рения молибдена, вк тела анода прокатно отличающийся т чения постоянной ско стоянной мощности 0 ленту прокатывают иия испаряемых м лектроннолучевог лючающий вып й молибденовой ем, что, с целью рости испарения нагрева, молиб двух направлен Изобретение относится к технике вакуумного напыления тонких пленок, в частности пленок молибдена.Известен способ изготовления испаряемых молибденовых анодов для электроннолучевого испарения молибдена, включающий выполнение тела анода прокаткой молибденовой ленты. Однако известный способ не обеспечивает постоянной скорости испарения при постоянной мощности нагрева, т. к. молибден изменяет микро- и макрорельеф своей поверхности благодаря высокой поверхностной подвижности атомов при высоких температурах.Поэтому при испарении молибдена из поликристаллической ленты кристаллики молибдена, лежащие на поверхности, начинают при высоких температурах расти в длину. Получаются игольчатые кристаллы молибдена с правильной огранкой. Иголки торчат из пластины молибдена в направлении прокатки ленты и значительно увеличивают ее поверхность, Из-за этого для поддержания постоянной скорости испарения молибдена необходимо в несколько раз повысить мощность.Цель изобретения - обеспечение постоянной скорости испарения при постоянной мощности нагрева,Предлагаемый способ отличается тем, что молибденовую ленту прокатывают в двух направлениях, Такая прокатка не оставляет в ленте избранного направления, поэтому рекристаллизационные процессы не приводят к росту игольчатых кристаллов. Поверхность ленты остается гладкой и скорость испарения постоянной при постоянной мощности нагрева.Аноды, изготовленные по предложенномуспособу, использовались в испарителе молибдена с электронным нагревом, состоящим из )О анода и накаливаемого катода, Катод выполнен из вольфрамовой проволоки диаметром 0,3 мм и длиной 70 мм. Анод сделан из молибденовой ленты, прокатанной в двух направлениях. Его размеры ОМК 1. Расстоя ние между анодом и катодом 10 мм, На анодподают положительное напряжение 2,0 - 2,5 кв. Катод накаливают током 10 а. Ток эмиссии катода 700 ма, В таком режиме молибден испаряется со скоростью 1 мг/сек см.20
СмотретьЗаявка
1890426, 06.03.1973
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3562
РОДИОНОВ СТАНИСЛАВ НИКОЛАЕВИЧ, ЛИХТМАН АЛЕКСАНДР ЕФИМОВИЧ, ГЛУШКО АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ, СЕЙДМАН ЛЕВ АЛЕКСАНДРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H05K 3/14
Метки: анодов, испаряемых, молибденовых
Опубликовано: 05.08.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-480204-sposob-izgotovleniya-isparyaemykh-molibdenovykh-anodov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления испаряемых молибденовых анодов</a>
Предыдущий патент: Устройство для изготовления металлизированных монтажных отверстий в печатной плате
Следующий патент: Держатель для печатных плат
Случайный патент: Стенд для испытания распылителя форсунки