Способ изготовления эмиттеров горячих электронов

Номер патента: 1177657

Опубликовано: 07.09.1985

Авторы: Казначеева, Мурадян, Татаринова

МПК: G01B 7/06

Метки: индикации, металлических, напыленных, пленок

...относится к измерительной технике и может быть использовано в областях, где возможно появление напыленных металлических пленок в результате воздействия ионной бомбардировки, пробоев вакуума и работы накаленных катодов.Цель изобретения - повышение разрешающей способности обнаружения напыленной пленки, .что позволяет улучшить характеристики электро- вакуумных приборов и установок,На фиг. 1 приведена схема устройства, с помощью которого реализуется предлагаемый способ; на фиг,2 - хахарактеристики автоэлектронных токов (Фаулера-Нордгейма) с аномальными участками после выдержки напыленной пленки в остаточном вакууме; на фиг.3 - то же, для случая, когда насьпцение пленки осуществляется за счет контакта напыленной пленки с атмосферой...

Номер патента: 322420

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Войтович, Полищук, Сосницкий

МПК: B05D 3/00

Метки: металлических, пленок, поверхности

...Катодом служит держатель 3 подложки.5 Держатель сделан так, что существует надежный электрический контакт между ним и очищаемой пленкой. Для того, чтобы заряды не скапливались на подложке и эффективно шла очистка, пленка обязана быть катодом, 10 поэтому полученный на подложке рисунок недолжен содержать участков, не связанных с катодом. Если по схеме такие участки необходимы, то предусматривают временные связи их с выводными контактами. При фотолп тографировании следующего слоя эти связивытравливают, Перед очисткой вакуумную камеру 2 обезгаживают и откачивают диффузионным насосом с азотной ловушкой до максимального вакуума (10 -мм рт. ст.), Затем 20 промывают инертным газом и снова откачивают до предельного вакуума. Тщательная...

Номер патента: 743574

Опубликовано: 25.06.1980

Автор: Роберт

МПК: C03C 17/06

Метки: металлической, нанесения, окисной, пленки

...- аргон (не считая газовых микрокомпонентов), запускают в систему, после этого устанавливают-а давление порядка 5,6 х 10 мм рт,ст. Затем катодную сборку устанавливают в режим колебательного движения при частоте одного цикла в каждые 20 сек и к катодам подают отрицательное напряжение порядка 2,2 кв, Подачу напряжения к нагревателю лепрерывно регулируют, чтобы поддерживать заданную температуру основания (подложки) постоянной с колебаониями в пределах - 10 С. Процесс нанесения покрытия распылением расчитан яа период времени порядка 22 мин, по истечении которого напряжения катода и нагревателя доводятся до нулевой величины. Затем вакуумную камеру открывают, а стекло с нанесенным покрытием удаляют из нее. Стекло имеет однородное по...

Номер патента: 1696111

Опубликовано: 07.12.1991

Авторы: Мазур, Руфанов, Шпортко

МПК: B22D 11/06

Метки: металлических, пленок

...расплава на образующую диска; Л- толщина пленки, мм; т- время работы плунжерного устройства, с; б - диаметр камеры плунжерного устройства, мм; Н -3 рабочая высота камеры плунжерного устройства, мм; 0 - диаметр кристаллизатора, мм; т - . ширина пленки, мм. 1 табл. В работе использован рабочий элемент, изготовленный из меди. Рабочий элемент охлаждают воздухом через форсунки. Посредством дозатора порцию металла впрыскивают графитовым плунжером.Таблица показывает изменение толЩины пленки в зависимости от угла подачи расплава на образующую рабочего элемента, его числа оборотов и времени работы дозатора. При углах подачи расплава 80 повышается качество пленки, что обусловлено действием центробежных сил и противодействующими силами инерции...

Номер патента: 190945

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Иванова, Розин

МПК: H03H 3/02

Метки: металлической, пленки, разделения, электродов

...Каретка программатора продолжает двигаться, и второй щуп при встрече с кулачком также поворачивается на оси и перемещается по образующей. В силу того, что кулачки расположены в шахматном порядке, щупы работают попеременно. Величину хода нижней каретки 5 определяют кулачки левой оси, а величину хода верхней каретки 4 в кулачки правой оси. При движении каретки программатора щупы, опираясь на образующую кулачков, замыкают электрическую цепь, и мгновенно начинает перемещаться соответствующая каретка (4 или 5), Ход каждой каретки равен величине образующей, по которой скользит конец щупа. Следовательно, выставляя любые образующие под щупы, можно обеспечить любой ход каретки координатного механизма, а также стола, который жестко соединен...