Мтейтйчгхвдчеонд -влггтенл

Номер патента: 398864

Автор: Явич

ZIP архив

Текст

ОПИСАНИЕ 398864ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик. Кл. б 01 п 25/5 с присоединением заявки-асударственный камитеСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий оритет УДК 531.714.2 (088,8 лубликовано 27.1 Х.1973, БюллетеньДата опубликования описания 8,1.1974 Автор зобретени Б,С.Яв я " " у-ц-А" зико-техническии институт им, А,аявител ЕДЕЛ ЕНИЯ КОНЦЕНТРА В ВОДОРОДЕПОСОБ ВЛАГ лмет изобрсте Изобретсние относится к технологии полупроводниковых материалов и веществ высокой чистоты, к процессам, для проведениякоторых необходима атмосфера водорода сминимальным содержанием кислорода ивлаги.Известен способ определения концентрациивлаги в водороде путем нагрева в анализируемой среде индикаторного образца, выполненного в виде циркониевой проволоки. 1Предлагаемый способ отличается от известных тем, что по длине индикаторного образцасоздают тем ературный градиент в интервалетемператур 900 - 1400 С и по положению границы раздела исходный материал - окисел 1судят о концентрации влаги в водороде.Это позволяет ускорить процесс определения концентрации влаги в водороде и повысить точность анализа.Сущность способа заключается в следующсм,Индикаторный образец изготовляют изкремния и располагают на нагревателе таким образом, чтобы при нагреве по его длинеустанавливался температурный градиент интервала 900 в 14 С.Далее через систему пропускают водород,предварительно очищенный от примесей, Затем следует нагрев в течение 5 - 15 чин. При высоких температурах нагрева происходит взаимодействис кремниевого образца с парами воды, причем более горячая часть образца травится вследствие образования летучей моноокисп кремния ЯьО, а более холодная покрывается конденсированной пленкой двуокиси кремния ЯО. В результате после охлаждения на поверхности образца обнаруживают границу между травленным и окисленным участками. Положение этой границы в температурном градиенте одьсозначно определяет кошьеььтрацию волы в водороде при неизменности остальных параметров процесса. Способ определения концентрации влаги в водороде путем нагрева в анализируемой среде индикаторного образца, выполненного из материала, способного образовывать конденсированные окислы, отличающийся тем, что, с цслью повышения точности анализа, создают температурный градиент по длине индикаторного ооразца, выполненного из кремния, в интервале температур 900 - 1400 С и по положению границы раздела исходный материал - о кисел судят о концентрации влаги в водороде.

Смотреть

Заявка

1622534

Б. С. Явич Физико технический институт А. Ф. Иоффе

МПК / Метки

МПК: G01N 25/58

Метки: влггтенл, мтейтйчгхвдчеонд

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-398864-mtejjtjjchgkhvdcheond-vlggtenl.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Мтейтйчгхвдчеонд -влггтенл</a>

Похожие патенты