Способ получения покрытий

Номер патента: 317720

Автор: Токаев

ZIP архив

Текст

3 Л 20 СПИ САНИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Респубтик1265395/22-1 аявлено 21 т/111.1968 с присоединением заявки 3 Ч риоритетгубликовано 19.Х.1971, Бюллетень М Котеитет по делает изобретений и открыти при Совете Министров СССРК 621.793.16(088,8) Дата опубликования сания 27,Х 11.1971 Лвторизобретени(фцЯм 1:1:-ОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ изобретенг ПредметСпособ получения 25 новления, напримердипешш водородомподложки, от,гггчопо интенсификации про ществляют атомарн покрытий галоидопро а нагрето гг 1 ггйся тем цесса, восст ым водородо путем восстаизводных соеповерхности что, с целью ановление осум. Изобретение относится к способам получения покрытий путем осаждения из газопаровой фазы.Известен спосоо получения покрытий путем восстановления галоидопроизводных соединений водородом на нагретой поверхности подложки.Однако такой способ обладает недостаточной производительностью и требует применения мощного нагревательного оборудования.Предлагаемый способ отличается от известного тем, что восстановление осуществляют атомарным водородом,Это позволяет интенсифицировать, а также упростить процесс осаждения за счет исключения дополнительного нагревательного оборудования.При осуществлении способа источником тепла для нагрева поверхности подложки служит рекомбинация атомов водорода.Ввиду большой активности атомов водорода и отсутствия стадии диссоциации скорость реакции увеличивается, что интенсифицирует процесс. Температуру поверхности подложки регулируют изменением ее расстояния до среза сопла атомно-водородной горелки, из которой атомарный водород подают к поверхности подложки, Одновременно к поверхности подложки подводят струю легколетучего галоидного соедипения, в качестве которого используют, например металлоорганические и другие химические соединения. Процесс осуществляют в когролируемой атмосфере при перемещении 5 горелки по всей покрываемой поверхности.Путем регулирования скорости перемещения горелки получают покрытия различной толщины.П р и м е р. На поверхность графитовой под ложки, находящейся в атмосфере аргона, подают струю атомарного водорода. В результате рекомбинации атомов водорода графит нагревается до 500 в 6 С. Одновременно в зону соприкосновения струи водорода с поверх ностью графита подают струю газообразногогексафторида вольфрама, В результате взаимодействия гексафторида вольфрама с атомарным водородом на поверхности подложки осаидается слой металлического вольфрама.20 Скорость осаждения 0,5 - 2 плг/пас.

Смотреть

Заявка

1265395

Ю. Н. Токаев

МПК / Метки

МПК: C23C 10/06

Метки: покрытий

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-317720-sposob-polucheniya-pokrytijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения покрытий</a>

Похожие патенты