Ерения малых потоков газа, напускаемых
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СПИ САНИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ 1"ВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства Ъ 3 аявлено 19.17.1969 ( 1324882/18-1 л. 42 е, 23/05 421, 14/1 енпсм заявки ге с прпсоеди Приоритет Опу оликов МПК Ст 01 т 1/ОО6 01/ 27/00УЛК 681. 21.8(088 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРно 28.1 Х.1970. Бюллетень М 30 та опубликования описания 17.Х 11.1970;г 1;,",Щ 1 йгвМхайл. вд, й1эта;е Авторыпзобрс гсшгя П. Катрич, Н. А, Косик и И, Ф аявптель СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПОТОКОВ ГАЗА, НАПУСКАЕМЬ Ь ВАКУУМНЫЙ ОБЪЕМного сорта напускаем ого газа (например, молибден для водор чине газового ,потока судят по ионов равен нулю а), О вели- току пучка/, /г= -де У - количестьо вво г - ток пучка ноно д - заряд иона. Предлагаемый спосо л потоки порядка 10 4тмых частиц; б позволястторсек ерять Предмет изобретения Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано, в частности, при градуировке вакуумных манометров.Известные способы измерения регулируемых малых потоков газа, напускаемых в вакуумный объем, не позволяют точио измерять малые потоки газа в области сверхвысокого вакуума,По предлагаемому способу для,повышения точности измерения газ перед напуском ионизуют и формируют в однородный ионный пучок, а затем вводят ионный пучок в вакуумный объем, где его нейтрализугот на металлической мишени, и по току ионного пучка судят о величине газового потока,В процессе формирования однородного ионного пучка все примеси (нейтроны и другие заряженные частицы) удаляются, например, с помощью магнитного сепаратора и системы дифференпиальной откачки и в вакуумный объем вводятся только ионы.Нейтрализация ионов в вакуумном объеме осуществляется на металлической мишени, для которой коэффициент захвата ионов данСпособ измеренгия малых потоков газа, напускаемых в вакуумный объем, отгачаюгиийся тем, что, с целью повышения точности измерения, газ перед напуском ионизуют и формируют в однородныи ионный пучок, а затем вводят ионный пучок в вакуумный объем, где его нейтрализуют на металлической мишени, и по току ионного пучка судят о величине газового потока.
СмотретьЗаявка
1324882
Н. П. Катрич, Н. А. Косик, Ф. Михаил, СПОСОБ ИЗЛ
МПК / Метки
МПК: G01F 1/64, G01L 27/00
Метки: газа, ерения, малых, напускаемых, потоков
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-282684-ereniya-malykh-potokov-gaza-napuskaemykh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Ерения малых потоков газа, напускаемых</a>
Предыдущий патент: Устройство для определения энергии рассеяния и пластических деформаций
Следующий патент: 282685
Случайный патент: Полиспаст