Патенты с меткой «напускаемых»

Номер патента: 282684

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Катрич, Косик, Михаил, Способ

МПК: G01F 1/64, G01L 27/00

Метки: газа, ерения, малых, напускаемых, потоков

...току пучка/, /г= -де У - количестьо вво г - ток пучка ноно д - заряд иона. Предлагаемый спосо л потоки порядка 10 4тмых частиц; б позволястторсек ерять Предмет изобретения Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано, в частности, при градуировке вакуумных манометров.Известные способы измерения регулируемых малых потоков газа, напускаемых в вакуумный объем, не позволяют точио измерять малые потоки газа в области сверхвысокого вакуума,По предлагаемому способу для,повышения точности измерения газ перед напуском ионизуют и формируют в однородный ионный пучок, а затем вводят ионный пучок в вакуумный объем, где его нейтрализугот на металлической мишени, и по току ионного пучка судят о величине газового потока,В...