ZIP архив

Текст

Республик авт. свидетельствависимо 02 аявлено 09.Х 1.1965 ( 1036025/2 присоединением заявкиПриоритет ЧПК Н Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР"бликован Дата опубликования описания 30.1,196 Авторыизобретен А. Г. Лесник и Г, И, Левинститут металлофизики АН УССР Заявитель ОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТНЫХ П Предмет изобрете Известный способ изготовления ферромагнитных пленок, основанный на покрытии подложки промежуточным подслоем, с последующим вакуумным напылением на него ферромагнитного материала в магнитном поле, позволяет получать пленки с достаточно высокой коэрцитивной силой. Кроме того, весьмазатруднено управление параметрами пленокв процессе их изготовления,Предложенный способ позволяет увеличить 10коэрцитивную силу ферромагнитных пленок,а также упростить управление их параметрами. Это достигается в результате использования в качестве промежуточного подслоя термостойкого лака, например кремнийорганического, поверхность которого до напыления нанего ферромагнитного материала подвергаюттермообработке в вакууме.Металлическую отполированную до 12класса чистоты поверхность покрывают подслоем кремнийорганического лака, содержащего 17 О, сухого продукта, разбавленногосмесью, состоящей из трех частей толуола иодной части этилового спирта, до консистенции, содержащей 5 пп сухого продукта, После сушки в течение 12 час при 20 С толщинаподслоя должна составлять около 0,5 лгк. Затем подслой подвергают термообработке ввакууме при 250 - 350 С-, во время которой наего поверхности образуются микронеровности, 30Не вскрывая вакуумной камеры при температуре подложки - 250 С, на подслой напыляют ферромагнитную (например, пермаллое.вую) пленку толщиной 00 - 1000 А в магнитном поле порядка 100 э со скоростью 20 -о40 Л/сек. Наличие микронеровностей повышает коэрцитивную силу пленок, а изменение величины этих неровностей при изменении режима термообработки позволяет весьма просто управлять параметрами пленок. Бракованные ферромагнитные пленки можно снимать с подложек, не повредив при этом поверхности последних в результате растворения лакового подслоя. Способ изготовления ферромагнитных пленок, основанный на покрытии подложки промежуточным подслоем, с последующим вакуумным напылением в магнитном поле на поделай ферромагнитного материала, от.гггчаюгггиггся тем, что, с целью увеличения коэрцитивной силы пленок и упрощения управления параметрами пленок в процессе их изготовления, в качестве материала промежуточного подслоя использован термостойкий лак, например кремнийорганический, который до нанесения на его поверхность ферромагнитного материала подвергают термообработке в вакууме.

Смотреть

Заявка

1036025

МПК / Метки

МПК: C23C 14/00

Метки: 189952

Опубликовано: 01.01.1967

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-189952-189952.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">189952</a>

Похожие патенты