186126
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
86126 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик.Х 1,1963 ( 869387/23-5) 39 Ь, 22/06 аявлено присоединением заявк МПК СО риоритет публиковано 12.1 Х 1966. Бюллетеньата опубликования описания 14.Х,1966 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете МинистровАЛА ВИТЕЛЪНОГО СВЕТ СПОСОБ ПОЛУЧЕ ствнтельный слой, который экспонирунегагив ультрафиолетовым светом от РКв течение 5 - 15 нин, После ии светочувствительный слой обрабасмесью трихлорэтилена и четыреххлотлерода в соотношении 1: 2. Неосвеучастки при этом растворяются, и па бразуется рельефное изображение изобладающего повышенной хпмичейкостью благодаря его структурироод действием ультрафиолетового изсветочув ют через лампы П экспозиц тывают р истого щепные фольге о полимер ской сто вапию п лучения,Способ териала иие в эл получения светочувствительного маможет найти практическое применектронной технике,дмет изобретенн Способ получения светочувствитель20 тернала (фоторезнста) нанесениемлохкку раствора полимера, содержащсибилизатор, отличающийся тем, что,получения материала с повышеннойской стойкостью, в качестве полимера25 зуют хлорсульфированный полиэтнле. ного мана подего сенс целью химиче- испольИзобретение относится к технологии получения светочувствительных материалов для электронной техники.Известны способы получения светочувствительных полимерных материалоЬ, основанные на том, что светочувствительный слой готовят из растворов полимеров (полиэтилена, поливинилхлорида, полиизобутилена, поливинилового спирта и т, д.), содержащих сенсибилизаторы.Предлагаемый способ отличается от известных тем, что в состав светочувствительного слоя входит хлорсульфированный полиэтилен, обладающий после облучения ультрафиолетовым светом высокой химической стойкостью. Способ позволяет получить светочувствительный материал (фоторезист) с повышенной химической стойкостью,Сущность способа состоит в следующем.Готовят 2 о/о-ный расгвор хлорсульфированного полиэтилена в трихлорэтилене с добавкой 2 - 10 о/, от веса полимера сенсибилизатора (кетон Михлсра, бензофенон). Раствор на. носят на поверхность медной фольги и высушивают, После сушки на фольге образуется УДК 771 523 6 678 742 2 (088.8)
СмотретьЗаявка
869387
Ю. С. Боков, В. П. Лаврищев, ТПХ ОГГ
МПК / Метки
МПК: C08J 5/18
Метки: 186126
Опубликовано: 01.01.1966
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-186126-186126.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">186126</a>
Предыдущий патент: Способ стабилизации полиэтилена
Следующий патент: Способ стабилизации поливинилхлорида
Случайный патент: Способ получения лигносульфонатного реагента для буровых растворов