Способ измерения величины зазора между прозрачными диэлектрическими поверхностями

Номер патента: 1612201

Авторы: Антонюк, Дмитрук, Поляков, Резунков

ZIP архив

Текст

(5)5:;з СА Н АВТОРС пь ф и ф по чину зазора,лученным значениям ме определяют велиФормула изобретен м по омов ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЦТИЯМПРИ ГКНТ СССР(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕ 11 ИЯ ВЕЛИЧИНЫ ЗАЗОРА МЕЖДУ ПРОЗРАЧНЫМИ ДИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМИ ПОВЕРХНОСТЯМИ (5) Изобретение относится к контрольноизмерцтельцои технике и может быть использовано в оптическом риборостроеции. Целью изобретения является обеспечение возИзобретецие относится к коктрольно-измерительной технике и может быть использовано в оптическом приборостроении,Целью изобретения является обеспеченно возможности измерения величины зазора меньше длины волны и повышение точности измерений.Способ осуществляется следующим образом.Пучок моцохроматического поляризованного излучения нарагляют на поверхности, между которыми измеряют зазор. Поляризацию освещающего пучка ориентиру от под углом -Ьч/4 к плоскости падения. Регистрируют отражецце излучения и, одновременно изменяя угол падения пучка и фиксируя .величину сдвига фаз между Р- и 8-компо-.нентами, определяют угол р, и;,н достижении которого начикает происходить изменение. сдвига фаз с изменением угла падения осве. щающего пучка.Рассчитывают по полученным данным показатель п 1 преломления диэлектрика. После этого освещают поверхность под углом рф, удовлетворяющим соотношению го(ф(п/2, и при этом угле сопротивления величину ф сдвига фаз между Р- и 8-компонентами. Заможцогти измерения величины зазора мень. ше длицы волны и повышение точности измерений. Освещают поверхности, между которыми измеряют зазор, пучком монохромати. ческого плосьополяризованного излучения, плоскость поляризации которого составляет угол и/4 с плоскостью падения. Изменяя угол падеьия и одновременно регистрируя сдвиг фаз между Р- и Ь-компонентами, определяют угол , при котором начкнает изменяться сдвиг фаз, после этого освещают под углом Тф(ро( (л/2), регистрируют сдвиг фази по полученным данным рассчитывают величину зазора,Способ измерения величины зазора меж ду прозрачными диэлектрическими поверх. ностями, заключающийся в том, что освещают зазор пучком монохроматического излучения под углом к поверхности и регистрируют отраженное излучение, по параметру которого судят о величине зазора, отличаюи 1 ийея тем, что, с целью обеспечения возможности измерения зазора меньше длины волны к повышения точности, освещение осуществляют пучком с плоскостью поляризации, ориентированной под углом -д/4 к плоскостипадения, при освещении поверхности одновременно изменяют угол падения пучка излучения и регистрируют сдвиг фаз между Р- и Я компонентами отраженного излучения, фиксируют значение угла рю, при котором возникает изменение Сдвига фаз, и фиксируют каправлецие освещения под углом 1 ф, удовле творяющим соотношению ро(арф(л/2, а в качестве параметра излучения, по которому судят о величине зазора, используют сдвиг фаз между Р- и Я-компонентами.

Смотреть

Заявка

4446762, 11.04.1988

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5827

АНТОНЮК ВЛАДИМИР НИКИФОРОВИЧ, ДМИТРУК ИГОРЬ НИКОЛАЕВИЧ, ПОЛЯКОВ ВИКТОР НИКОЛАЕВИЧ, РЕЗУНКОВ ВАЛЕНТИН КОНСТАНТИНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 7/14

Метки: величины, диэлектрическими, зазора, между, поверхностями, прозрачными

Опубликовано: 07.12.1990

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1612201-sposob-izmereniya-velichiny-zazora-mezhdu-prozrachnymi-diehlektricheskimi-poverkhnostyami.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения величины зазора между прозрачными диэлектрическими поверхностями</a>

Похожие патенты