156262

Номер патента: 743574

Опубликовано: 25.06.1980

Автор: Роберт

МПК: C03C 17/06

Метки: металлической, нанесения, окисной, пленки

...- аргон (не считая газовых микрокомпонентов), запускают в систему, после этого устанавливают-а давление порядка 5,6 х 10 мм рт,ст. Затем катодную сборку устанавливают в режим колебательного движения при частоте одного цикла в каждые 20 сек и к катодам подают отрицательное напряжение порядка 2,2 кв, Подачу напряжения к нагревателю лепрерывно регулируют, чтобы поддерживать заданную температуру основания (подложки) постоянной с колебаониями в пределах - 10 С. Процесс нанесения покрытия распылением расчитан яа период времени порядка 22 мин, по истечении которого напряжения катода и нагревателя доводятся до нулевой величины. Затем вакуумную камеру открывают, а стекло с нанесенным покрытием удаляют из нее. Стекло имеет однородное по...

Номер патента: 1805346

Опубликовано: 30.03.1993

Авторы: Баязитов, Саврасов

МПК: G01N 19/04

Метки: адгезии, диэлектрической, металлической, пленки, подложке

...ау = 0,72.10 Па, что составляет 0,36 адгезионной прочности алюминиевого покрытия (Оад = (1,5 - 2).10 Па).Экспериментальная точность предлагаемого способа составляет 0,62-0,64%, что обусловлено в основном ошибками оператора и аппаратурными погрешностями,П р и м е р 1. Измерение адгезии пленки алюминия (которая для большинства оптоэлектронных изделий нормируется как Оад =7=(1,5-2).10 Па), К электростатическому зонду (ЭСЗ), представленному в виде алюминиевого стержня с рабочей площадкой диаметром Э - 2 мм и с покрытием на ней из окиси алюминия толщиной 0,1 мкм с диэлектрической проницаемостью я = 9 и электрической прочностью Епр = 9.10 В/м, определяем максимально возможное значение прикладываемого потенциала Омакс = дЕ, где д 0 - толщина...

Номер патента: 190945

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Иванова, Розин

МПК: H03H 3/02

Метки: металлической, пленки, разделения, электродов

...Каретка программатора продолжает двигаться, и второй щуп при встрече с кулачком также поворачивается на оси и перемещается по образующей. В силу того, что кулачки расположены в шахматном порядке, щупы работают попеременно. Величину хода нижней каретки 5 определяют кулачки левой оси, а величину хода верхней каретки 4 в кулачки правой оси. При движении каретки программатора щупы, опираясь на образующую кулачков, замыкают электрическую цепь, и мгновенно начинает перемещаться соответствующая каретка (4 или 5), Ход каждой каретки равен величине образующей, по которой скользит конец щупа. Следовательно, выставляя любые образующие под щупы, можно обеспечить любой ход каретки координатного механизма, а также стола, который жестко соединен...

Номер патента: 322420

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Войтович, Полищук, Сосницкий

МПК: B05D 3/00

Метки: металлических, пленок, поверхности

...Катодом служит держатель 3 подложки.5 Держатель сделан так, что существует надежный электрический контакт между ним и очищаемой пленкой. Для того, чтобы заряды не скапливались на подложке и эффективно шла очистка, пленка обязана быть катодом, 10 поэтому полученный на подложке рисунок недолжен содержать участков, не связанных с катодом. Если по схеме такие участки необходимы, то предусматривают временные связи их с выводными контактами. При фотолп тографировании следующего слоя эти связивытравливают, Перед очисткой вакуумную камеру 2 обезгаживают и откачивают диффузионным насосом с азотной ловушкой до максимального вакуума (10 -мм рт. ст.), Затем 20 промывают инертным газом и снова откачивают до предельного вакуума. Тщательная...

Номер патента: 544713

Опубликовано: 30.01.1977

Авторы: Соловьева, Фаличева

МПК: C23F 1/02

Метки: металлических, пленок, травления

...в одном и том же электролите. Степень смачивания тампонов, выраженная отношением веса тампона после и до смачивання, должна быть в пределах 1,5 - 2,0.Устройство работает следующим образом.Биполярный блок приводится в соприкосновение со стравливаемой пленкой 4, вручную или механически обеспечивается относительное перемещение блока и пленки, Тампоны блока имеют площади касания с пленкой в виде симметрично расположенных прямоугольников, между которыми заключен участок пленки, шириной ав, При включении тока электрохимическая цепь замыкается по схеме: один полюс источника тока - электрод в тампон 3 - стравлпваемая пленка 4 - тампон 3 - электрод - другой полюс источника тока. Электрохимические процессы идут544713 ной степени смачиванггя...