Устройство для зонной плавки с градиентом температуры

Номер патента: 1503597

Авторы: Высоцкий, Майстренко, Пипченко, Свиридов

ZIP архив

Описание

Устройство для зонной плавки с градиентом температуры, включающее корпус, систему параллельных ИК-ламп накаливания и кассету с полупроводниковыми подложками, установленную с возможностью возвратно-поступательного движения относительно ИК-ламп и соединенную с приводом, отличающееся тем, что, с целью повышения качества устройства за счет повышения однородности температуры в плоскости подложек, оно дополнительно содержит второй привод и пластину, установленную с возможностью возвратно-поступательного движения относительно корпуса и связанную с вторым приводом, причем первый привод закреплен на пластине, а второй - на корпусе, а амплитуды движения кассеты и пластины различаются на полуцелое число расстояний между ИК-лампами.

Заявка

4289976/25, 27.07.1987

Краснодарское отделение с опытным производством Всесоюзного научно-исследовательского института источников тока

Высоцкий И. Н, Майстренко В. Г, Пипченко Б. Б, Свиридов А. Л

МПК / Метки

МПК: H01L 21/268

Метки: градиентом, зонной, плавки, температуры

Опубликовано: 20.12.2005

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1503597-ustrojjstvo-dlya-zonnojj-plavki-s-gradientom-temperatury.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для зонной плавки с градиентом температуры</a>

Похожие патенты