Способ получения слоев двуокиси кремния

Номер патента: 510057

Опубликовано: 25.06.1977

Авторы: Васильева, Дроздов, Репинский, Свиташев

МПК: H01L 21/20

Метки: двуокиси, кремния, получени, слоев, сособ

...слоев двуокиси кремния одинаковой толщины по всей длине изотермического кварцевого реактора.Сущность изобретения заключается в том, что процесс окисления силана ведут в избытке кислорода при мольном отношении кислорода к силану 70: 1, концентрациях силана (0,5 - 2) 10 влголь л, при скорости потока газовой смеси 19 - 20 см сек и температуре 430 - 500 С.Поскольку скорреакции окисленияцентрации кислород ость радикально-цепнои силана зависит от кона, выбираются такие условия, когда изменением этой скорости по длине реактора компенсируют наблюдаемый обычно эффект обеднения газовой смеси по силану.5Согласно предложенному способу слоидвуокиси кремния выращивают в горизонтальном изометрическом реакторе диаметром 45 лл, с зоной равномерной...

Номер патента: 447375

Опубликовано: 25.10.1974

Автор: Лаптев

МПК: C03B 5/24

Метки: выработке, подготовки, процессе, стекломассы, температуры

...температуры питателя стекломассы,внполненная по данному способу, приведена на чертеже .Она имеет датчики 1-3 температуры, установленные у левой и правой сторон и дна питателя 4 стекломассы; регуляторы 5 и 6, управляющие подачей топлива соответственно к горелке 7 одной из сторон питателя и к горелкам 7 и Б одновременно; исполнительные механизмы 9 и 10; регулятор П, изменяющий температуру на выходе в соответствии с заданным значением, устанавливаемым задатчиком 12 путем изменения напряжения на пластинах-электродах 13, установленных с боковых сторон, с помощью, например, магнитйого усилителя 14.3 44При нарушении температурного равновесия питателя стекломассы по сторонам, на входе регулятора 5 появляется разностныи сигнал с датчиков 1 и 2, и...

Номер патента: 1820782

Опубликовано: 27.11.1996

Авторы: Дударчик, Кабаков, Козлов, Красницкий, Турцевич

МПК: H01L 21/205

Метки: двуокиси, кремния, пленок, формирования

...моносилана при осаждении не превышала 50 см /мин, а закиси азота - 3000 см /мин, Величина давлениязпри осаждении составляла 133,3 Па. Температура при продувке реактора и осаждении составляла 800+1 С (пр, 24-7), 650 С (пр,1), 850 С (пр. 3); в примере 8 температура продувки реактора и осаждения составила 680 С, а в примере 9 - 820 С,Всего проведено 10 процентов.Процесс включал следующие стадии:ПР а ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ размещение кремниевых подложек в продуваемом азотом реакторе;- вакуумирование реактора;- продувку реактора закисью азота; - плавное установление потока моносилана, подачу его в реактор, осаждение 31 Ог;- прекращение осаждения, вакуумирование реактора;подача в реактор кислорода (при достижении необходимой температуры) и...

Номер патента: 362673

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Бырев, Гринвальд, Страшно

МПК: B23K 9/10, G01J 5/08

Метки: процессе, температуры

...ли(нзы 7 прое(ц(и(рует(оя (на по(верхвооть фото(пр(ие(мпги(ка так, чтобы ра(вппомерцо ос(вет(ить в(сю его светочув(ст(в(ительпгую плогцад(ку. Ра(в(но(ме(р(наст(ь 0(авещен(ия м(ож(но наблпода(ть пр(и по(м(о(щ(и на(блгодательной о(пти(ческой си(. стем,ы 10 при по(ме(ще(н(и(и (свето(дел(ительгго(й (пласти(ны 11 в пол(оже(н(ие 1.И(зображение С 1 веточ(у(вствительной пл(ощадк(и фот(о(пр(неми(ика,в отраже(п(ных лучах о(п.пическо(Й си(стемой 9 проеци(руетоя ца по(ве(рх(ность объе(кта с(вар(ки,Ра(зме(р освещен(ной п(лопцад(кп 1 фото(п(рпгем(ни(ка 2 и( и(з,с(б(ра(жепгие ее в плос(кост(н зоны 1 с(вар(ки одтпозцачпо определяют разгмер контр(олефир(уе(мо(по уча(ст(ка з(ояьп с(ва(рк(и, так как пло(ск(ость, в которой ца(ход(иться по(верхнс(сть...

Номер патента: 465216

Опубликовано: 30.03.1975

Авторы: Лобанов, Сахненко, Таран

МПК: B01J 1/00

Метки: полунепрерывном, реакторе, температуры

...7 и вторичным прибором 8, измерение вязкости - преобразователем 9 и вторичным прибором 10, измерение уровня - преобразователем 11 и вторичным прибором 12. Контроль температуры хладагента на входе производится преобразователем 13 со вторичным прибором 14, контроль расхода хлад- агента - преобразователем 15 со вторичным прибором 16, скорости вращения двигателя мешалки - преобразователем 17 и вторичным 5 прибором 18 с регулятором. Изменение расхода дозируемого компонента контролируется преобразователем 19 со вторичным прибором 20, снабженным интегрирующим устройством для определения общего количества поданно го в реактор компонента. Регулирование температуры реакционной массы в реакторе при отклонении от заданного значения производят...