Устройство для диффузии и окисления подложек
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИФФУЗИИ И ОКИСЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК, содержащее реактор с нагревателями, соединенный с системой ввода газа-реагента и инертного газа, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности глубины диффузии по подложке, реактор выполнен в виде двух коаксиальных труб, входы которых соединены соответственно с системами подачи инертного газа и газа-реагента, а выходные отверстия соединены между собой, причем на цилиндрической образующей внутренней трубы выполнены отверстия для подвода газа-реагента.
Описание
Известно устройство для диффузии и окисления подложек, содержащее реактор с закрытым наглухо одним из концов, нагревательное устройство, размещенное вокруг реактора, глухую крышку, установленную на стороне наглухо закрытого конца реактора, ускоряющую форсунку с несколькими выхлопными отверстиями, направленными к реактору, газопередающую трубку, проходящую через наглухо закрытый конец реактора, и глухую крышку, один из концов которой введен в полость, образованную глухой крышкой и ускоряющей форсункой.
Недостаток устройства неравномерность притока пара реагента к рабочей поверхности полупроводниковых пластин.
Наиболее близко к предлагаемому устройство для диффузии и окисления подложек, содержащее реактор с нагревателями, соединенный с системой ввода газа-реагента и инертного газа.
Недостаток этого устройства неравномерность глубины диффузии по подложке.
Цель изобретения повышение равномерности глубины диффузии по подложке достигается благодаря тому, что в устройстве для диффузии и окисления подложек, содержащем реактор с нагревателями, соединенный с системой ввода газа-реагента и инертного газа, реактор выполнен в виде двух коаксиальных труб, входы которых соединены соответственно с системами подачи инертного газа и газа-реагента, а выходные отверстия соединены между собой, причем на цилиндрической образующей внутренней трубы выполнены отверстия для подачи газа-реагента.
На фиг. 1 изображена схема устройства и трубчатой диффузионной печи; на фиг.2 разрез печи.
Вокруг кварцевой трубы 1 с трубчатым раскрывом размещено нагревательное устройство 2. В трубу впаяна труба 3 меньшего диаметра, в которую введены подложки, например, из полупроводниковых пластин 4, установленных на лодочке 5. На поверхности трубы 3 по всей зоне равномерного нагрева выполнены отверстия 6 в виде канавок, кружков.
К глухому концу трубы 3 через глухой конец трубы 1 подсоединена газопередающая трубка 7, через которую в трубу 3 поступает аргон с заданным расходом. Раскрыв трубы 1 и трубы 3 закрыт крышкой 8, к которой подсоединена трубка откачки 9. К глухому концу трубы нагревателя 1 подсоединена газопередающая трубка 10, через которую в трубу 1 вводится газ-реагент, состоящий из газа-носителя и парообразной примеси. Газопередающая трубка 10 имеет два отвода, через один из которых подается кислород, через другой аргон.
Вблизи участка соединения с трубой-нагревателем 1 к газопередающей трубке 10 подсоединена трубка 11 с вентилем 12 в средней части. Конец трубки 11 соединен с резервуаром 13, наполненным источником примеси. В резервуар 13 введена газопередающая трубка 14, по которой подается аргон.
Устройство работает следующим образом.
Газ-реагент, поступающий по газопередающей трубке 10 в трубку-нагреватель 1, проходит между стенками двух труб и равномерно разогревается. Затем через отверстия 6 он равномерно течет ко всей рабочей поверхности полупроводниковых пластин 4.
Газ, поступающий по газопередающей трубке 7 в трубу 3, также способствует равномерному притоку газа-реагента к поверхности пластин и выносу из трубы продуктов реакции.
Описанное устройство позволяет повысить процент выхода годных интегральных схем благодаря стабилизации глубины диффузии по всей рабочей поверхности полупроводниковых пластин.
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИФФУЗИИ И ОКИСЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК, содержащее реактор с нагревателями, соединенный с системой ввода газа-реагента и инертного газа, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности глубины диффузии по подложке, реактор выполнен в виде двух коаксиальных труб, входы которых соединены соответственно с системами подачи инертного газа и газа-реагента, а выходные отверстия соединены между собой, причем на цилиндрической образующей внутренней трубы выполнены отверстия для подвода газа-реагента.
Рисунки
Заявка
2469895/21, 04.04.1977
Проектно-технологический и научно-исследовательский институт научно-производственного объединения "Темп"
Лизин А. И, Романова Т. В, Жидков Ю. П
МПК / Метки
МПК: H01L 21/223
Метки: диффузии, окисления, подложек
Опубликовано: 10.02.1996
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-646705-ustrojjstvo-dlya-diffuzii-i-okisleniya-podlozhek.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для диффузии и окисления подложек</a>
Юсоб закрепления труб в отверстиях трубныхрешеток
Номер патента: 242618
Опубликовано: 01.01.1969
Авторы: Антонов, Коварский, Поль, Сигал
МПК: F16L 13/14
Метки: закрепления, отверстиях, труб, трубныхрешеток, юсоб
...например теплообменников пу тем раздачи их в радиальном направлениинабором кольцевых элементов, перемещаемых поступательно движущимся распорных органом, отличаюи 1 ийся тем, что, с целью ускорения процесса и упрощения технологии, набо 10 ром кольцевых элементов участок трубы,охватываемый трубной решеткой, упруго уплотняют по кромке и средней части отверстия, что уменьшает влияние температурной деформации, а выступающие концы труб раз дают для увеличения прочности и герметичности соединения. Известны опособы закрепления труб в отверстиях трубных решеток, например, теплообменников путы раздачи их в радиальном направлении набором кольцевых элементов, перемещаемых поступательно движущимся оаспорным органом.Описываемый способ отличается от...
Способ крепления трубы в отверстии детали
Номер патента: 1274817
Опубликовано: 07.12.1986
МПК: B21D 39/06
Метки: детали, крепления, отверстии, трубы
...Й( -- е, кольцевой выступ трубы в канавке не является шпанкой, труба 1 и деталь 2 могут прокручиваться относительно друг друга при превышении крутящего момента над моментом сопротивления кручению, обусловленным в последнем случае только контактными напряжениями по боковым стенкам канавки 4.При необходимости повышения предела работоспособности соединения в нем выполняется требуемое количество (п) канавок и, соответственно, шпонок. Кроме того, в устройствах, работающих при больших угловых скоростях вращения соединения вал - втулка (для уменьшения его дисбаланса и утем равномерного углового расположения шпонок относительно оси вращения), канавки выполняются развернутыми вокруг оси относительно друг друга преимущественно на угол...
Устройство для контроля за прохождением пузырьков газа через активную зону ядерного реактора
Номер патента: 1492984
Опубликовано: 07.01.1991
Автор: Щекотов
МПК: G21C 17/02
Метки: активную, газа, зону, прохождением, пузырьков, реактора, ядерного
...задержки,4которь 1 й н простейшем случае пред 14929845 1 О 15 20 25 30 35 40 45 50 ставляет собой реле с задержкой нвсрабатывание, и соответственно каличие сигнала на соответствующем влоде схемы И 9. Отсутствие сигнала навьмоде блока 4 анализа динамики движения пузырьков газа обуславливаетотсутствие сигнала на другом входесхемы И 9, а следовательно, нв выходе схемы И 9 сигнал отсутствуети индикатор 10 показывает отсутствиепрохождения пузырьков газа, захваченных теплоносителем в газовой подушке его циркуляции по контуру,через активную зону.При появлении в активной зоне негерметичного по газу твэла иэ негоначинает выходить гаэ, который принодит к росту пузырьков газа и их двн"жению вместе с теплоносителем черезактивную зону ядерного...
Способ крепления трубы в отверстии детали
Номер патента: 1782690
Опубликовано: 23.12.1992
МПК: B21D 39/04
Метки: детали, крепления, отверстии, трубы
...деиствдиального натяжения трубыкрепления, прижимающего ее к исти деталиВ предложенном техническом решениина поверхности отверстия детали выполняют три канавки, при этом крайние канавкивыполняют коническими, обращенными навстречу одна другой своими вершинами, устанавливают трубу в отверстие детали ипроизводят раздачу участков трубы сначалав крайние канавки, а затем, после заполнения крайних канавок, производят раздачуучастка трубы в среднюю канавку, Посредством раздачи участка трубы в среднюю ка. навку создают осевое натяжение трубы научастках между средней и крайними канавками, приводящее к радиальному натяжению участков трубы, расположенных наконических поверхностях крайних канавок,чем обеспечивается их плотное прилеганиек...
Способ закрепления труб в отверстиях трубной решетки
Номер патента: 1212656
Опубликовано: 23.02.1986
МПК: B21D 39/06
Метки: закрепления, отверстиях, решетки, труб, трубной
...разрез А-А на .Фиг.1.Соединение состоит из трубной решетки 1 с развальцованными в ней труЬами 2 и втулками 3 с пазами 4 по,наружной поверхности втулки 3.Способ закрепления труб 2 вотверстиях решетки 1 заключается в том, что каждую трубу устанавливают в отверстие решетки, предварительно развальцовывают, затем вставляют втулку 3, на наружной поверхно.ти которой выполнены пазы 4. Материал втулки обладает коэффициен 1том линейного расширения и пределом текучести более высоким, чем у материала трубы. Затем втулку развальцовывают совместно с трубой, проводят термодиффузионную обработку, после чего втулку удаляют, например, высверливанием. Пазы на поверхности втулки дают возможность использовать сверло меньшего диаметра, чем наружный диаметр...
Предыдущий патент: Система управления рабочим органом газотурбинного двигателя
Следующий патент: Способ получения кальцинированной соды
Случайный патент: Способ высушивания органов животных и человеческого тела